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公开(公告)号：CN116540504A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310807886.X
申请日：2023-07-04
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种基于连续谱光源的可变波长超分辨激光直写光刻系统，属于超精密光学成像与刻写技术领域，包括光源与刻写模块，其中光源为连续谱光源；光源与刻写模块之间还设有用于形成多个分光路的分光模块、设于相应分光路上的光束调节组件，以及用于将多个分光路汇合为刻写光束组合的合束模块；光束调节组件包括滤波模块，和能量调节模块或波相差调节模块中的一种或串联设置的两种组合。与现有技术相比，本发明提供一种多路单独滤波及调制的光源调制光路，可同时实现多通道不同波长的光束调制，多光束可互相配合，通过不同轴汇合或同轴重合方式，实现多通道超分辨光刻或基于边缘抑制的超分辨光刻。
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公开(公告)号：CN116540503A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310797264.3
申请日：2023-07-03
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种激光直写样品的固定装置及工作方法，固定装置包括样品台框架，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架上的适配常规刻写模式的第一固定组件，或适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，或适配光纤端面刻写模式的第三固定组件；第一固定组件为边沿限位式定位槽结构；第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤夹持定位。与现有技术相比，本发明提供了一种结构简单，普适性高，易于操作的一种激光直写样品的固定装置及其工作方法，以实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，适配多种加工场景，可广泛应用于激光直写光刻领域。
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公开(公告)号：CN116540504B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202310807886.X
申请日：2023-07-04
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种基于连续谱光源的可变波长超分辨激光直写光刻系统，属于超精密光学成像与刻写技术领域，包括光源与刻写模块，其中光源为连续谱光源；光源与刻写模块之间还设有用于形成多个分光路的分光模块、设于相应分光路上的光束调节组件，以及用于将多个分光路汇合为刻写光束组合的合束模块；光束调节组件包括滤波模块，和能量调节模块或波相差调节模块中的一种或串联设置的两种组合。与现有技术相比，本发明提供一种多路单独滤波及调制的光源调制光路，可同时实现多通道不同波长的光束调制，多光束可互相配合，通过不同轴汇合或同轴重合方式，实现多通道超分辨光刻或基于边缘抑制的超分辨光刻。
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公开(公告)号：CN116540503B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310797264.3
申请日：2023-07-03
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种激光直写样品的固定装置及工作方法，固定装置包括样品台框架，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架上的适配常规刻写模式的第一固定组件，或适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，或适配光纤端面刻写模式的第三固定组件；第一固定组件为边沿限位式定位槽结构；第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤夹持定位。与现有技术相比，本发明提供了一种结构简单，普适性高，易于操作的一种激光直写样品的固定装置及其工作方法，以实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，适配多种加工场景，可广泛应用于激光直写光刻领域。
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公开(公告)号：CN109992848B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201910195091.1
申请日：2019-03-14
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F30/17 , G06F30/20 , G06F30/23 , G06Q10/04 , G06F111/04
Abstract: 本发明公开了一种基于负理想解贴近距离的压力机上横梁稳健优化设计方法。包括以下步骤：考虑压力机上横梁所受载荷的随机性与其材料属性的区间不确定性，基于6σ稳健性设计原则建立包含随机‑区间混合不确定性变量的上横梁稳健优化设计模型；基于双层嵌套遗传算法对该优化模型进行直接求解；内层对每一设计向量利用Kriging预测模型进行区间稳健性分析，采用蒙特卡洛方法计算目标函数和各约束性能函数的均值和标准差；外层利用内层计算结果，基于约束性能函数总可行稳健性系数和负理想解贴近距离对所有设计向量进行分类、排序与寻优。本发明符合工程实际，且避免了主观干扰，具有很好的工程实用性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107292090B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201710397857.5
申请日：2017-05-31
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F17/10
Abstract: 本发明公开了一种高速压力机结构方案综合评价方法，首先确立高速压力机结构方案的综合评价指标体系，给定各项评价指标所需接近或避开的目标值以及其权重，将各候选方案的评价指标值表示为实数、区间数或三角模糊数，然后将各候选方案中的偏离型和固定型评价指标进行等效变换后加权规范化，将效益和成本型评价指标直接进行加权规范化，根据各评价指标的类型来确定正负理想解，计算各方案分别到正负理想解的距离，根据各方案到正负理想解的距离求得相对贴近度，相对贴近度最大的候选方案即为最佳方案。本发明基于TOPSIS法，结合区间可能度和相对偏好关系对高速压力机结构方案进行综合评价，可有效地获得综合性能优且结构工艺性好的最佳方案。
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公开(公告)号：CN109063234B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201810623163.3
申请日：2018-06-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F30/23 , G06F30/17 , G06N3/12 , G06F111/10 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种考虑多类型不确定性的高速压力机施力部件可靠性设计方法。包括以下步骤：考虑高速压力机施力部件的随机、区间与模糊不确定性，选择三种不确定性影响下可靠度最小值作为可靠性指标，建立随机‑区间‑模糊混合可靠性设计模型；根据熵守恒原则和“3σ准则”，获得简化的随机‑区间可靠性设计模型；采用拉丁超立方采样和协同仿真技术构建功能函数和目标函数的Kriging模型；将简化的可靠性设计模型的优化求解与可靠性分析解耦，形成双环路优化求解；内环利用自适应步长迭代法进行可靠性分析，获得可靠性指标最小值；外环利用遗传算法进行设计向量寻优，并根据可靠性分析结果判断设计向量可行性，当达到最大进化代数或收敛阈值时，输出最优解。
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公开(公告)号：CN107292090A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201710397857.5
申请日：2017-05-31
Applicant: 浙江大学
IPC: G06F19/00
CPC classification number: G16Z99/00
Abstract: 本发明公开了一种高速压力机结构方案综合评价方法，首先确立高速压力机结构方案的综合评价指标体系，给定各项评价指标所需接近或避开的目标值以及其权重，将各候选方案的评价指标值表示为实数、区间数或三角模糊数，然后将各候选方案中的偏离型和固定型评价指标进行等效变换后加权规范化，将效益和成本型评价指标直接进行加权规范化，根据各评价指标的类型来确定正负理想解，计算各方案分别到正负理想解的距离，根据各方案到正负理想解的距离求得相对贴近度，相对贴近度最大的候选方案即为最佳方案。本发明基于TOPSIS法，结合区间可能度和相对偏好关系对高速压力机结构方案进行综合评价，可有效地获得综合性能优且结构工艺性好的最佳方案。
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公开(公告)号：CN109992848A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910195091.1
申请日：2019-03-14
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于负理想解贴近距离的压力机上横梁稳健优化设计方法。包括以下步骤：考虑压力机上横梁所受载荷的随机性与其材料属性的区间不确定性，基于6σ稳健性设计原则建立包含随机‑区间混合不确定性变量的上横梁稳健优化设计模型；基于双层嵌套遗传算法对该优化模型进行直接求解；内层对每一设计向量利用Kriging预测模型进行区间稳健性分析，采用蒙特卡洛方法计算目标函数和各约束性能函数的均值和标准差；外层利用内层计算结果，基于约束性能函数总可行稳健性系数和负理想解贴近距离对所有设计向量进行分类、排序与寻优。本发明符合工程实际，且避免了主观干扰，具有很好的工程实用性。
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公开(公告)号：CN109063234A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810623163.3
申请日：2018-06-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种考虑多类型不确定性的高速压力机施力部件可靠性设计方法。包括以下步骤：考虑高速压力机施力部件的随机、区间与模糊不确定性，选择三种不确定性影响下可靠度最小值作为可靠性指标，建立随机‑区间‑模糊混合可靠性设计模型；根据熵守恒原则和“3σ准则”，获得简化的随机‑区间可靠性设计模型；采用拉丁超立方采样和协同仿真技术构建功能函数和目标函数的Kriging模型；将简化的可靠性设计模型的优化求解与可靠性分析解耦，形成双环路优化求解；内环利用自适应步长迭代法进行可靠性分析，获得可靠性指标最小值；外环利用遗传算法进行设计向量寻优，并根据可靠性分析结果判断设计向量可行性，当达到最大进化代数或收敛阈值时，输出最优解。
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