公开(公告)号：CN102778586B

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201210287128.1

申请日：2012-08-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 熊斌 ,  徐铭 ,  徐德辉 ,  姚邵康 ,  马颖蕾 ,  王跃林

IPC: G01P15/125 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明提出一种差分电容微加速度传感器及其制作方法，该方法利用体硅工艺完成可动质量块和弹性梁的制作，通过干法刻蚀完成结构制作的同时也完成器件结构的释放；可动电极与可动质量块具有相同的形状和大小，避免重复光刻，工艺大大简化；设计的弹性梁在敏感方向刚度小，敏感垂直方向刚度大，具有较高的选择性和防串扰能力；利用圆片级低温真空对准键合技术将器件简单可靠地封装起来，便于大规模制造。此外，本发明的微加速度传感器采用了变面积式工作原理使得可动质量块在运动时仅受到滑膜阻尼，提高了灵敏度。

公开(公告)号：CN102778586A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201210287128.1

申请日：2012-08-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 熊斌 ,  徐铭 ,  徐德辉 ,  姚邵康 ,  马颖蕾 ,  王跃林

IPC: G01P15/125 ,  B81C1/00 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明提出一种差分电容微加速度传感器及其制作方法，该方法利用体硅工艺完成可动质量块和弹性梁的制作，通过干法刻蚀完成结构制作的同时也完成器件结构的释放；可动电极与可动质量块具有相同的形状和大小，避免重复光刻，工艺大大简化；设计的弹性梁在敏感方向刚度小，敏感垂直方向刚度大，具有较高的选择性和防串扰能力；利用圆片级低温真空对准键合技术将器件简单可靠地封装起来，便于大规模制造。此外，本发明的微加速度传感器采用了变面积式工作原理使得可动质量块在运动时仅受到滑膜阻尼，提高了灵敏度。