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公开(公告)号：CN111399346A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010290425.6
申请日：2020-04-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于等离子体约束的LPP-EUV光源系统，包括泵浦激光脉冲源、带有光学窗片的真空室、凸透镜、靶材、磁镜装置和椭球面镜。由泵浦激光脉冲源产生泵浦激光脉冲，泵浦激光脉冲通过光学窗片进入真空室，再经凸透镜聚焦而作用于靶材。泵浦激光脉冲作用于靶材而产生等离子体，等离子体被约束在磁镜装置中而产生EUV辐射，所产生的EUV辐射经椭球面镜反射而聚焦。本发明利用磁镜装置中非均匀磁场对等离子体的约束作用，提升LPP-EUV光源的功率输出能力并抑制LPP所产生的碎屑污染，从而保障EUV光刻系统的高效稳定运行。
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公开(公告)号：CN104638503B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510080857.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多脉冲组合泵浦的LPP‑EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP‑EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP‑EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率，从而提高LPP‑EUV光刻光源的功率输出能力。
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公开(公告)号：CN108306169B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201810002931.3
申请日：2018-01-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 一种基于偏振编码技术的宽带高增益再生放大器，包括：激光源、种子光注入和放大光倒出装置，以及由第一凹面全反腔镜和第二平面全反腔镜构成的再生腔；所述的种子光注入和放大光倒出装置包括第一偏振片、法拉第旋光器和第一λ/2波片；在所述的再生腔内，沿着光传输方向依次放置有电光普克尔盒、第二偏振片、偏振编码器、增益介质；所述的偏振编码器包括沿光传输方向依次放置的第二λ/2波片和旋光晶体，所述的增益介质包括沿光传输方向依次放置的第一激光晶体和第二激光晶体，该第一激光晶体的光轴和第二激光晶体的光轴互相垂直，且均垂直于激光的传输方向。本发明基于旋光效应和激光晶体的偏振相关增益特性可以实现宽带宽、高增益脉冲放大。
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公开(公告)号：CN111082292A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911247861.9
申请日：2019-12-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种准连续或连续啁啾脉冲放大的光纤激光系统，包括依次连接的高重频种子源、脉冲展宽器、啁啾脉冲放大器、高功率准直器和高功率脉宽压缩器，采用重复频率为数百MHz至GHz的飞秒或皮秒振荡器作为种子源，采用脉冲展宽器将脉冲展宽到百皮秒至几十纳秒，然后通过多级放大技术将高重频种子脉冲放大到千瓦及万瓦级的输出，最后通过脉宽压缩器将脉冲压缩至飞秒或皮秒级。本发明具有可以实现高功率、高重复频率、大能量的超快激光输出，准连续或连续啁啾脉冲放大等特点，适宜发展高功率、高重复频率、大能量的超快激光器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108306169A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201810002931.3
申请日：2018-01-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 一种基于偏振编码技术的宽带高增益再生放大器，包括：激光源、种子光注入和放大光倒出装置，以及由第一凹面全反腔镜和第二平面全反腔镜构成的再生腔；所述的种子光注入和放大光倒出装置包括第一偏振片、法拉第旋光器和第一λ/2波片；在所述的再生腔内，沿着光传输方向依次放置有电光普克尔盒、第二偏振片、偏振编码器、增益介质；所述的偏振编码器包括沿光传输方向依次放置的第二λ/2波片和旋光晶体，所述的增益介质包括沿光传输方向依次放置的第一激光晶体和第二激光晶体，该第一激光晶体的光轴和第二激光晶体的光轴互相垂直，且均垂直于激光的传输方向。本发明基于旋光效应和激光晶体的偏振相关增益特性可以实现宽带宽、高增益脉冲放大。
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公开(公告)号：CN103901699B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201410056863.0
申请日：2014-02-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于脉冲分割的飞秒激光脉冲宽度压缩装置，特点在于其构成是在激光脉冲行进的光路上包括依次的第一色散补偿装置、脉冲分割装置、第二色散补偿装置、光谱展宽装置、脉冲合束装置和第三色散补偿装置。本发明适用于将能量远大于10mJ的，乃至焦耳量级的飞秒激光脉冲压缩至仅包含数个光周期的宽度的飞秒激光脉冲。
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公开(公告)号：CN105372798A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510898112.8
申请日：2015-12-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B17/06
CPC classification number: G02B17/0668
Abstract: 一种大能量反射式光衰减器，主要由高反镜、楔板、白片、平移台、扩束透镜、垃圾桶构成。本发明具有制作简单，操作方便的特点，可以有效地衰减数十焦耳量级的大能量重复频率的入射激光脉冲，不同波长的脉冲的衰减系数差别不大，衰减过程不会引入材料色散，不会对脉冲引入波前畸变，可减少对后续脉冲压缩和聚焦的影响。
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公开(公告)号：CN104638503A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510080857.3
申请日：2015-02-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多脉冲组合泵浦的LPP-EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP-EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP-EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率，从而提高LPP-EUV光刻光源的功率输出能力。
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公开(公告)号：CN103928837A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410160166.X
申请日：2014-04-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高功率激光分离啁啾脉冲多程放大系统，由激光种子脉冲源、脉冲展宽器、DPA再生腔、双通DPA模块和脉冲压缩器构成。激光种子脉冲源输出种子脉冲，首先经脉冲展宽器展宽为啁啾脉冲，然后通过DPA再生腔和双通DPA模块对其进行功率放大，最终利用脉冲压缩器对放大后的啁啾脉冲进行压缩。该系统通过在CPA框架内串联多级DPA模块的方式，且DPA模块具有多程脉冲放大的功能，可提高其脉冲功率放大能力且有效抑制非线性效应的影响。
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