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公开(公告)号：CN118092315A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311690838.3
申请日：2023-12-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明属于光学加工技术领域，具体为一种光学加工中区域密度自适应路径规划方法，步骤如下：首先根据实际表面去除量分布高低，确定各个区域最优的路径疏密间距，进而输出疏密调控后的点云数据；基于点云数据进行三角化成图，再对于三角化图进行优化删减，最终对于该三角化图进行路径织构，对织构完成的路径进行圆滑处理后即可用于后续实际加工中。本发明优势在于突破现有定式化路径规划模式，形成了根据实际面形误差分布自适应最优路径织构方法，加工中可同步兼顾中频误差抑制、机床运行平稳、加工效率及精度提升全方面加工特性，提升设备加工综合能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117046851A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310957263.0
申请日：2023-08-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升熔石英元件损伤阈值的激光清洗方法，包括：首先用光学显微镜和荧光共聚焦显微镜检测表面及亚表面污染缺陷的分布和深度；随后采用应力双折射仪进行不同清洗深度热应力的测定；再通过特定参数进行近无热应力的激光清洗，从而去除元件表面及亚表面污染和结构缺陷，此过程可以实现不破坏元件粗糙度的均匀清洗；最后采用去离子水对熔石英元件进行超声清洁。本发明操作简单且成本低廉，仅需激光清洗即可实现缺陷及污染的有效去除，从而实现近无应力条件下，不破坏粗糙度的均匀清洗，并显著提升熔石英元件的损伤阈值。本方法拓展了激光加工的应用场景，对提高强激光系统元件的损伤阈值有重大意义。
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公开(公告)号：CN115857431A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211385938.0
申请日：2022-11-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G05B19/408
Abstract: 本发明涉及一种新型混沌光学加工误差的统计感知与抛光参数自适应决策方法，包括以下步骤：S1、针对子孔径超精密抛光，混沌误差是由复杂误差源影响下抛光工具每个驻留时间位置的去除函数引起，建立基于统计学意义上的混沌误差感知模型；S2、建立抛光工具头混沌误差率C提取方法，使混沌误差感知模型用于实际抛光加工指导；S3、根据混沌误差感知模型与抛光工具头混沌误差率C提取方法，结合智能化数学手段建立抛光参数自适应决策模型，实现高精度高效率抛光加工。有益效果是效率高、一致性和确定性好、抛光过程定量控制。
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公开(公告)号：CN114800140A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210433643.X
申请日：2022-04-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种配备机器人使用的双转子研磨抛光工具，包括机器人本体，双转子研磨抛光工具头。所述的双转子研磨抛光工具头包括工具头连接固定法兰盘、伺服电机、同步带轮、伸缩气缸、直线导轨、角接触球轴承、燕尾槽滑台、公转轴、自转轴、公转法兰连接座、公转滑动支架、自转轴连接座、自转轴承座、研磨抛光盘连接夹头和研磨抛光盘。本发明可完成光学元件的研磨、抛光和高精度修形，因为使用的机器人具有相对结构简单、操控性能稳定、低廉、灵活，适合多工位加工，不用频繁的移动加工元件，提高了光学元件表面的面形和加工周期。
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公开(公告)号：CN114434256A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210088103.2
申请日：2022-01-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于射流抛光利用稀疏双步距路径去除中频误差的加工方法，步骤为：首先确定出中频误差的周期结构，并测量得到射流抛光去除函数；对中频误差和去除函数进行二维傅里叶变换，同时为了控制加工误差以中频误差波谷位置为加工路径初始位置对其进行二维傅里叶变换；通过复数频谱最优化得出加工路径初始位置与最终位置间补偿距离、相邻路径间最优步距和相应加工系数；通过得到的加工参数规划出稀疏双步距栅格路径；最终控制工业机器人加工。本发明不需要任何附加成本，仅需改变相邻路径之间的步距和各路径对应加工系数至理论分析得到的最优值，便可高效消除工件表面周期结构状中频误差幅值，且对元件低频、高频误差无影响。
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公开(公告)号：CN112059815A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010843847.1
申请日：2020-08-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于光学抛光领域，具体为一种固定式磨头结构及其无边缘误差加工方法。该磨头采取固定式磨头结合多层弹性垫实现工具可以完全伸出边缘的能力同时保证对复杂表面的贴合；工具采取仅自转方式、结合恒定压力进行定量修形。加工通过采集得到的去除函数结合Preston方程生成路径上各点的实际去除函数；然后基于实际去除函数求解驻留时间，最后生成控制程序对工件进行抛光。本发明中，固定式磨头能够伸出边缘解决方程超定问题，同时基于实际去除函数精确求解加工驻留时间，从而彻底解决小磨头边缘效应的顽疾，相比传统小磨头，该磨头制造成本及对机床控制精度要求无任何增加，这为全口径加工提供了一种更优的解决方案。
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