公开(公告)号：CN207007876U

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201720351052.2

申请日：2017-04-06

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 张照云 ,  苏伟 ,  唐彬 ,  许蔚 ,  熊壮

IPC: G01P15/125

Abstract: 本实用新型公开了一种石英摆式加速度计，包括上极板、中间极板和下极板，所述上极板和所述下极板均由键合区、电容平板区和电极引线区组成，所述键合区围在所述电容平板区的四周，所述电极引线区一端悬空，另一端穿过所述键合区与所述电容平板区连接，所述键合区的厚度大于所述电容平板区的厚度；所述中间极板由键合区、质量块、挠性梁和电极引线区组成，所述键合区为环状，所述质量块经所述挠性梁与所述键合区内侧边固定连接，所述电极引线区一端悬空，另一端穿过所述键合区与所述质量块相连；所述上极板、中间极板和下极板通过三者的键合区连接成一个整体。本实用新型结构简单、同一种材料、无需精密机械装配，可靠性和制造型能够得到提升。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN206281871U

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201621408705.8

申请日：2016-12-21

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 许蔚 ,  杨杰 ,  谢国芬 ,  王斌 ,  刘显学 ,  唐彬

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P1/00

Abstract: 本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa‑ΔCb)，将外界环境造成的扰动抑制掉，从而提高了器件的长期稳定性和温度稳定性。

公开(公告)号：CN210635908U

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201921687755.8

申请日：2019-10-10

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 张照云 ,  唐彬 ,  刘显学 ,  熊壮 ,  李枚 ,  许蔚 ,  苏伟 ,  彭勃

IPC: C03C15/00 ,  C03C17/38

Abstract: 本实用新型提供了一种玻璃腐蚀的复合掩膜结构，该玻璃腐蚀的复合掩膜结构包括：自玻璃基片依次设置的第一金属打底层、第一金属层、第二金属打底层、第二金属层以及光刻胶层；其中，所述第一金属打底层及所述第二金属打底层为金属Cr层；其中，所述第一金属层和所述第二金属层为金属Au或金属Cu。该玻璃腐蚀的复合掩膜结构能够提高玻璃腐蚀深度、掩膜与玻璃结合性好，同时可以避免多晶硅和单晶硅复杂的应力控制问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208953556U

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201821855067.3

申请日：2018-11-12

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 张照云 ,  刘显学 ,  李枚 ,  屈明山 ,  沈朝阳 ,  许蔚 ,  彭勃 ,  熊壮 ,  苏伟

IPC: G01P15/097

Abstract: 本实用新型公开了一种一体式石英双振梁加速度计，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；振梁包括第一直梁及第二直梁，第一直梁及第二直梁并列设置，第一直梁及第二直梁的一端连接于装配区，另一端连接于质量块，金属电极设置第一直梁及第二直梁上，第一直梁及第二直梁上的金属电极的极性相反；挠性梁包括两个连接梁，两个连接梁位于振梁的两侧，挠性梁的一端连接于装配区，另一端连接于质量块。该一体式石英双振梁加速度计一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208367031U

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201821180368.0

申请日：2018-07-25

Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所

Inventor： 杨杰 ,  唐彬 ,  许蔚 ,  谢国芬 ,  莫与明 ,  曲兵兵

IPC: G01P15/125

Abstract: 本实用新型公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括：上电极板、敏感芯片和下电极板，敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块，悬臂梁及质量块设置在框架内，悬臂梁上开设有贯穿的通孔，每个通孔中设置有一个氧化硅柱，悬臂梁的材料为单晶硅；上电极板盖合在框架的上开口端，下电极板盖合在框架的下开口端。本实用新型通过在单晶硅悬臂梁中合理嵌入杨氏模量温度系数与单晶硅材料相反的氧化硅柱结构，对加速度传感器的材料温度特性实现被动式全补偿，可大幅度提高加速度传感器的温度稳定性。因此，本实用新型提供的电容式微机械加速度传感器结构简单可靠，温度稳定性好，测量精度高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利