基于惰性气体/氧等离子体的薄膜沉积方法及装置

    公开(公告)号:CN109750276B

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201910083882.5

    申请日:2019-01-28

    Abstract: 本发明属于等离子体技术应用领域,具体涉及一种基于惰性气体/氧等离子体的薄膜沉积方法。该方法包括将载气通入前驱体,收集夹带前驱体蒸汽的载气,然后与激发气体混合进行等离子体处理得到处理后的混合物,将其沉积于基板表面,控制基板温度,经反应得到沉积于基板上的薄膜;激发气体包括惰性气体和氧气,载气包括氩气,惰性气体包括氩气。该方法以氧气为激发气体,可以扩大放电通道,使放电过程更加稳定,增加了Si‑O‑Si、Si‑OH两种基团的含量,使其在薄膜生长区域内稳定沉积,改善薄膜的均匀性;通过控制基板的温度,可以加快原子在基板的迁移速率,减少团聚现象和孔洞结构,使基团分布更均匀,薄膜结构更致密。

    一种基于振荡波的10kV变压器便携式局部放电检测系统

    公开(公告)号:CN109581161B

    公开(公告)日:2021-01-19

    申请号:CN201811555057.2

    申请日:2018-12-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于振荡波的10kV变压器便携式局部放电检测系统,包括直流电源DC、变压器T以及检测阻抗;直流电源DC的正极通过变阻器RW与两个反向串联的双向电力电子开关IGBT相连;变压器T的原边绕组一端与双向电力电子开关IGBT相连,另一端与直流电源DC的负极相连;检测阻抗并联在变压器T的副边绕组上,用于检测副边绕组的局部放电信号。本发明通过直流低电压经限流电阻对变压器原边绕组充电并形成稳定电流,然后断开开关使之与其两端并联的电容产生谐振并形成衰减振荡波,由于电磁耦合,在变压器副边产生更高幅值的振荡波电压,通过测量副边输出电压幅值以及局部放电波形,从而实现直流振荡波对变压器局部放电进行检测的现场化应用。

    一种绝缘子闪络风险预警方法

    公开(公告)号:CN106093718B

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201610373895.2

    申请日:2016-05-30

    Abstract: 本发明公开了一种绝缘子闪络预警方法,包括以下步骤:(1)获取空气盐度值;(2)根据步骤(1)中获取的盐度值,确定盐雾等级;(3)获取绝缘子表面盐密值和灰密值;(4)根据步骤(3)获取的绝缘子表面盐密值和灰密值,确定绝缘子污秽等级;(5)根据步骤(2)中获得的盐雾等级和步骤(4)中获得的污秽等级,确定污湿等级;(6)当污湿等级超过预定阈值时,发出绝缘子闪络警报。本发明解决了沿海电网根据绝缘子表面积污量划分的污秽等级对电网防污闪工作指导性有限的问题,提出了一种基于绝缘子表面积污与空气盐雾程度的污湿等级划分方法,用来评价绝缘子表面积污和海洋盐雾对外绝缘的影响,进而根据污湿等级明确外绝缘配置情况和防污闪措施使用情况。

    一种直流熔断器相关参数确定方法

    公开(公告)号:CN107622168B

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201710883880.5

    申请日:2017-09-26

    Abstract: 本发明公开了一种直流熔断器相关参数确定方法,包括:根据直流熔断器的额定电压和每列狭井承受的电压确定狭井列数,直流熔断器包括多个并联的熔片,每个熔片包括多列串联的狭井,每列狭井包括多个狭孔,单列狭井包括的狭孔的半径相同且对称排列;根据熔片的尺寸和狭井列数确定各列狭井间间距;根据熔片的尺寸、每列狭井包括的狭孔个数和狭孔半径确定每列狭井包括的狭孔间间距;根据熔片尺寸、各列狭井包括的狭孔间间距以及狭孔半径确定所述直流熔断器的总电阻;根据直流熔断器的总电阻和直流熔断器周边材料的规格参数确定直流熔断器未熔断时熔片温升带给周边材料的温升。本发明提出的直流熔断器的参数确定方法,物理概念清晰、运算实时性高。

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