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公开(公告)号：CN102890308A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210297039.5
申请日：2012-08-20
Applicant: 东南大学 , 南京华脉科技有限公司
Abstract: 本发明涉及偏振保持平面光波光路及制备方法，属于集成光电子器件技术领域。偏振保持平面光波光路结构包括衬底、缓冲层、芯层和覆盖层，在缓冲层内设有折射率不同于的第一柱体阵列；或者在覆盖层内设有第二柱体阵列。所述柱体阵列由平行排列的柱体构成，该结构可以为空心玻璃毛细管、实心玻璃毛细管、空心方形柱或者实心方形柱，由此结构构成的平面光波光路具有高双折射效应，可有效地解决在平面光波光路中传输光波偏振相关问题。本发明易于实现，工艺成熟和半导体工艺兼容性好，为实现光通信、传感、光子系统中高性能光信号处理芯片或器件奠定了基础。
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公开(公告)号：CN102866458A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210296470.8
申请日：2012-08-20
Applicant: 东南大学 , 南京华脉科技有限公司
Abstract: 一种刻蚀高深度光波导的制备工艺，包括以下步骤：1）用沉积法，在衬底上制备掺杂的芯层，形成平板光波导；2）用光刻工艺，在步骤1）制取的平板光波导上获得与掩模版图形相反的光刻胶掩模；3）用溅射工艺，在步骤2）获取的样品表面制备金属掩模；4）清洗去除与掩模版图形相反的光刻胶掩模及金属掩模；5）用光刻工艺，在步骤4）制作的金属掩模层上，再增加与金属掩模层具有相同图形的光刻胶层，6）使用RIE设备，通入SF4、CHF3、O2、He气体，制作光波导芯层；7）制作上包层。与标准工艺相比，这种方法可利用普通反应离子刻蚀设备制作高深度光波导，且制作的光波导具有垂直的侧壁，侧壁角度大于87度，小于93度。
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公开(公告)号：CN115407454B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202211006611.8
申请日：2022-08-22
Applicant: 南京曦光信息科技研究院有限公司 , 无锡市德科立光电子技术股份有限公司 , 东南大学
Abstract: 本发明公开基于逆向设计的非对称合解波芯片，属于光学元件、系统或仪器技术领域。该芯片包括第一级非对称合解波单元、第二级对称合解波单元；所提出的非对称合解波芯片由硅基光子集成技术构建，包含由下至上依次层叠的衬底、下包层、芯层及上包层；第一级非对称合解波单元、第二级对称合解波单元内部的功能区基于逆向设计算法设计，由亚微米或纳米量级的亚单元构成。本发明的非对称合解波芯片可以覆盖光通信系统中的全波段，实现全波段能量非均匀波分；所提出的非对称合解波芯片结构超紧凑，波长间隔可调，每个波长的透过率非均匀，信道间隔串扰小，性能稳定，设计简单，可基于成熟半导体工艺大规模批量化制备。
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公开(公告)号：CN104614807B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201510071474.X
申请日：2015-02-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光栅相位臂的级联马赫曾德干涉仪型光功分‑波分器，其包括一根主输入波导，两个1×2的3dB耦合器，四个2×2的3dB耦合器，两根耦合波导，两根输入波导，八个光栅耦合波导，四根完整相位臂，四根半相位臂和八根输出波导且八根波导中的波长均不同。本发明可以实现功分和波分，在八根光栅型相位臂和相位臂间的光栅波导中对输入光信号进行不断滤波达到降低串扰、提高输出特性的效果。同时一、二级马赫曾德干涉仪之间的耦合在相位臂处进行，形成三维立体结构，缩小体积且提高了集成度。
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公开(公告)号：CN105353465A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510725472.8
申请日：2015-10-29
Applicant: 东南大学
IPC: G02B6/125
CPC classification number: G02B6/125
Abstract: 本发明公开了一种基于阻抗匹配介质的无反射型光功分器，该光功分器包括N-1个T型分路单元，N为大于或等于2的自然数，前一级T型分路单元的输出端和后一级T型分路单元的输入端连接，其特征在于T型分路单元由阻抗匹配介质构成，可实现无反射、超低损耗T型分路。在前一级T型分路单元的输出端与后一级T型分路单元的输入端之间设有直角拐弯单元，该直角拐弯单元由阻抗匹配介质构成，可实现超低损耗、无反射直角拐弯。本发明基于阻抗匹配介质，该介质通过特殊设计可实现不同材料间的阻抗匹配，而且可以根据需求调节阻抗，从而达到无反射效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103022283B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210576220.X
申请日：2012-12-26
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种砷化镓基光子晶体发光二级管的制备方法，包括步骤10）清洗烘干砷化镓基发光二级管外延片；步骤20）将外延片倒置；步骤30）电镀键合材料层；步骤40）剥离蓝宝石衬底层；步骤50）氮化硅层顶面旋涂光刻胶层；步骤60）将掩模板图形转换到光刻胶层；步骤70）刻蚀氮化硅层，形成第一目标片；步骤80）在第一目标片上蒸镀金属层，形成第二目标片；步骤90）第二目标片置于氢氟酸溶液中，制成第三目标片；步骤100）第三目标片静置于器皿和溶液中，制成第四目标片；步骤110）第四目标片置于王水中，制成第五目标片；步骤120）制作电极，制成发光二级管。该制备方法提高了发光二极管光子晶体表面平整度和质量。
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公开(公告)号：CN103268001B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201310216575.2
申请日：2013-05-31
Applicant: 东南大学
IPC: G02B6/28
Abstract: 一种非对称相位可调马赫-曾德干涉仪及其制备方法，干涉仪包括平面光波光路PLC芯片和外接导光臂，平面光波光路PLC芯片包括硅衬底，在硅衬底上设有二氧化硅缓冲层，在二氧化硅缓冲层上设有波导层，波导层上设有覆盖层，所述波导层包括输入级3dB耦合器、两个开放臂、一个长度固定臂及输出级3dB耦合器。制备方法为：在硅衬底上制备缓冲层，在缓冲层制备波导层并光刻和刻蚀，制备非对称相位可调马赫-曾德干涉仪的PLC芯片部分，切片研磨，再将单模光纤阵列和PLC芯片的开放臂进行耦合，进而和干涉仪的输入端和输出端进行耦合。本发明可以实现相位精细可调，且结构紧凑、简单和稳定性高。
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公开(公告)号：CN102495448B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201110449658.7
申请日：2011-12-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及一种硅基三维叠加型光纤耦合结构，其结构基于硅衬底，包括二维模斑转换器（1），周期性结构（2）和周期性结构（2）与脊波导组成的凹槽（3）构成。本发明一种硅基三维叠加型光纤耦合结构，具有耦合效率高，耦合方法独特，突破现有的单纯纵向耦合的局限，从而实现高效的三维叠加耦合，可以广泛应用。
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公开(公告)号：CN103777283A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410034800.5
申请日：2014-01-24
Applicant: 东南大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种输入位置控制的多模干涉型光开关，包括平面光波光路芯片、光源、输入光纤阵列和电动自动调芯装置，平面光波光路芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导，以及覆盖层，波导包括输入级单模波导、中间级多模波导和n个输出级单模波导；光源与输入光纤阵列的输入端连接，输入光纤阵列的输出端与输入级单模波导的输入端连接，输入级单模波导的输出端通过中间级多模波导与n个输出级单模波导的输入端连接；输入光纤阵列固定连接在电动自动调芯装置上。该光开关的开关状态可调，且工艺、结构简单，成本低。本发明还公开了一种上述的输入位置控制的多模干涉型光开关的调节方法，该调节方法简单，可快速实现开关状态的调节。
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公开(公告)号：CN101697024A
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200910233743.2
申请日：2009-10-23
Applicant: 东南大学
IPC: G02B6/24
Abstract: 本发明公开了一种单镜头多角度高倍率光子芯片耦合封装装置，由耦合调节装置、机器视觉装置和光纤-芯片固化装置构成，机器视觉装置由一个镜头相机组件及多角度固定回旋装置组成，镜头相机组件设在多角度固定回旋装置上，所述的镜头相机组件由单只光学放大倍率为3.5X～22.5X的高倍率镜头和一个高灵敏度CMOS相机组成且高倍率镜头安装在CMOS相机上。通过CMOS芯片成像在显示器上的总放大倍率为175X～1125X，可在自行设计的固定回旋装置下实现180°旋转、从垂直俯视到水平侧视近90°任意角度实现对亚微米和纳米级波导光路的观察，图像不抖动。
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