公开(公告)号：CN2600455Y

公开(公告)日：2004-01-21

申请号：CN02295806.1

申请日：2002-11-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 门部雅人 ,  中尾贤 ,  山贺健一

IPC: C30B33/02 ,  C23C16/00

CPC classification number: H01L21/67109 ,  C23C16/46

Abstract: 本实用新型容易进行加热元件的更换等维护操作，谋求维护性的提高。具有用于容纳多个被处理物体w并进行热处理的处理容器4，覆盖该处理容器4的周围的筒状加热器6，安置该加热器6的加热器安置部7，和以可从一侧进行维护的方式容纳所述加热器6的筐体11，所述加热器6具有可单个更换的多个加热元件31，在所述加热器安置部7设置了可旋转地支持加热器6的旋转支持机构40。

公开(公告)号：CN301220120S

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200930187489.8

申请日：2009-05-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 斋藤孝规 ,  门部雅人 ,  佐佐木弘泰 ,  菊地寿 ,  菊池浩 ,  冈岛博之