公开(公告)号：CN108987230A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810538396.3

申请日：2018-05-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤宏纪 ,  小泉克之 ,  奥西直彦

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置用的载置台，其可设定的温度的范围宽广，并且，能够细微地控制基片的面内温度分布。一个实施方式的载置台包括静电吸盘。静电吸盘具有基座和吸盘主体。吸盘主体设置在基座上，利用静电引力保持基片。吸盘主体具有多个第1加热器和多个第2加热器。多个第2加热器的个数比多个第1加热器的个数多。第1加热器控制器利用来自第1电源的交流或直流的输出对多个第1加热器进行驱动。第2加热器控制器利用来自第2电源的交流或直流的输出对多个第2加热器进行驱动，该第2电源具有比来自第1电源的输出的功率低的功率。

公开(公告)号：CN100454200C

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN200480016146.X

申请日：2004-06-04

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 河野哲儿郎 ,  土居广树 ,  伊藤稔 ,  长冈秀树 ,  伊藤惠贵 ,  远藤宏纪 ,  岛津强 ,  广濑润 ,  胜又治 ,  三浦和幸 ,  北泽贵

IPC: G05D16/20

CPC classification number: G05D16/206 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87877

Abstract: 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。

公开(公告)号：CN1313894C

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200410047927.7

申请日：2004-06-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 长冈秀树 ,  小泉浩 ,  大藪淳 ,  嵨津强 ,  远藤宏纪 ,  伊藤惠贵

IPC: G05D16/00 ,  G05D7/00 ,  G05D11/00 ,  C23C16/44 ,  C23F4/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/22

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67017 ,  Y10T137/2499 ,  Y10T137/7722 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8733

Abstract: 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。