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公开(公告)号：CN106185321A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610341223.3
申请日：2016-05-20
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G49/06
CPC classification number: B65G49/061 , B65G49/065 , B65G49/067
Abstract: 提供基板输送装置，即使在干燥温度的设定变更时，也不需要进行振动板与转乘单元的高度位置的调节。基板输送装置具有：多张振动板，它们使基板在基板输送面上超声波浮起；和加热器部，其设置在所述振动板的基板输送面的背侧，该基板输送装置构成为：在相邻的振动板的彼此之间设置有使基板转乘到下一个振动板的转乘单元，该转乘单元具有：输送空气喷出部，其向基板输送面侧喷出空气并形成基板输送面的一部分；和支承延长部，其朝向相邻的各个振动板延伸设置，在支承延长部中设置有朝向振动板喷出空气的支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部喷出的空气，将转乘单元非接触地支承在振动板之间，并将振动板的基板输送面与输送空气喷出部调整为平滑。
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公开(公告)号：CN117772558A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311255495.8
申请日：2023-09-26
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，能够以容易的结构应对多品种的基板。涂布装置具备：工作台，其能够载置宽度尺寸不同的多品种的基板；以及涂布单元，其通过一边相对于载置在工作台的表面的基板相对地移动一边喷出涂布液，而在基板上形成涂布膜，涂布装置具有升降部件，在向工作台进行基板的搬入、搬出时，升降部件将基板保持在距工作台规定高度，在升降部件保持基板时与基板的背面抵接的抵接部具有沿基板的宽度方向延伸的形状，以便能够维持宽度尺寸不同的基板的保持姿势。
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公开(公告)号：CN117772525A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311280668.1
申请日：2023-09-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其抑制干燥器供给空气的供给量的偏差，从而抑制在涂布膜上形成不均。涂布装置具备：载置基板的载台；以及涂布器，其一边相对于载置于载台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜，涂布装置设置有干燥器，该干燥器通过向由涂布器形成在基板上的涂布膜供给空气来使涂布膜干燥，干燥器构成为在供给空气的空气供给口设置有多孔质部件，该多孔质部件抑制在空气供给口局部地形成空气供给量的强弱。
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公开(公告)号：CN117083699A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202180096471.5
申请日：2021-12-15
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/52
Abstract: 提供夹头更换机构，能够以简单的结构在短时间内进行使用夹头拾取芯片部件的拾取工具的夹头更换。具体而言，提供一种夹头更换机构，该夹头更换机构包括：附件，其保持夹头；附件保持件，其配置于拾取工具的下部，保持上述附件的上部；以及附件收纳部，其能够收纳多个上述附件，能够使上述附件沿着引导件滑动，上述附件保持件具有利用磁力保持上述附件的功能，上述附件具有限制附件相对于上述附件收纳部的上述引导件向沿着上述引导件的方向以外的方向移动的形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104649015B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201410639844.0
申请日：2014-11-13
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G54/00
Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置，该基板浮起装置能够始终使基板以一定的浮起高度浮起。基板浮起装置(1)具有：浮起板(10)，其具有多个喷出口(11)和抽吸口(12)；正压供给源(20)，其对喷出口(11)供给气体；正压配管(21)，其连接喷出口(11)和正压供给源(20)；负压供给源(30)，其对抽吸口(12)供给抽吸力；以及负压配管(31)，其连接抽吸口(12)和负压供给源(30)，其中，在正压配管(21)和负压配管(31)上设置有缓冲罐(24)和缓冲罐(34)。
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公开(公告)号：CN106684014A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201610579895.8
申请日：2016-07-21
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/67703
Abstract: 提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起，宽度方向与输送方向垂直。
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公开(公告)号：CN103662694A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310372965.9
申请日：2013-08-23
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G35/00
Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起至对向面上方，该解析装置计算从该对向面浮起的基板的浮起量；其中，在该对向面下方进一步设置有向输送浮起单元上浮起的基板发射光的光反射型高度测量器（12），所述浮起单元包括贯通孔（15）和板体状基准板（13），该贯通孔使从高度测量器发射的光和在基板上反射后入射到高度测量器的光通过，该基准板设置在通过该贯通孔从高度测量器向基板发射的光的路径上且反射和透射一部分光。
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公开(公告)号：CN103579062A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310297548.2
申请日：2013-07-16
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/027 , B65G49/06 , B65G49/07
CPC classification number: H01L21/67742 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/6838 , H01L2221/68363
Abstract: 本发明提供一种基板输送装置，通过该装置能够在抑制基板上的涂布膜上产生干燥不匀的情况下输送基板。该装置是用基板导向件夹持通过超声波振动浮起的基板的同时使基板导向件行进，以浮起基板的状态输送基板的基板输送装置，所述基板导向件包括：基板抵接部，与基板抵接；浮起单元，将该基板抵接部从振动板浮起至规定高度，浮起单元包括：空气垫部，包括向振动板排出空气的空气排出部；脱气通道，用于将从空气排出部排出的空气逃出；脱气通道至少设置在空气排出部和与基板抵接部抵接的基板之间，并按照使空气垫部和振动板之间形成的间隙的空气向高于所述基板高度位置逃出的方式形成。
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公开(公告)号：CN1614760A
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：CN200410085887.5
申请日：2004-11-05
Applicant: 国际显示技术株式会社 , 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/603 , B81C1/00
CPC classification number: H01L2224/75 , H01L2224/75314 , H01L2224/7598 , H01L2224/81005
Abstract: 一种搭接方法及其装置，按照将排列的多个芯片被覆的形态，在这些芯片与头部之间夹有弹性材料，由头部从弹性材料的上方进行加压。此时，弹性材料将各个芯片的厚度偏差吸收地进行均等的加压，同时从基板下方的红外线照射部聚光后输出的红外线，只对安装有芯片的基板背面部分进行照射，使树脂加热硬化。由此，可将多个芯片同时安装在基板上，并且可避免施加于基板整体的热应力。
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