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公开(公告)号：CN104735918B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201410138955.3
申请日：2014-04-08
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H05K3/14
Abstract: 本发明提供一种线路板的制造方法及使用于该方法的喷墨涂布装置，在该制造方法中，准备沿着X轴方向形成有隔开间隔配置且通过连接部（15）相连的多个第一电极（10）、以及沿与X轴方向交叉的Y轴方向形成有夹着连接部而隔开间隔配置的多个第二电极（20）的基板；在相邻的第二电极之间，沿Y轴方向形成覆盖包含第二电极端部的区域、以及连接部的绝缘膜（30）；在第二电极上形成隔开的间隙（32）比绝缘膜的宽度窄、且相互平行地向绝缘膜的Y轴方向延长线延伸的一对导向部（31a、31b）；在绝缘膜上以及一对导向部之间的间隙内，沿Y轴方向涂布液状的导电部件，由此形成将相邻的第二电极相连的由导电膜构成的跳线（40）。
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公开(公告)号：CN106684014A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201610579895.8
申请日：2016-07-21
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/67703
Abstract: 提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起，宽度方向与输送方向垂直。
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公开(公告)号：CN106684014B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201610579895.8
申请日：2016-07-21
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起，宽度方向与输送方向垂直。
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公开(公告)号：CN106185321A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610341223.3
申请日：2016-05-20
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B65G49/06
CPC classification number: B65G49/061 , B65G49/065 , B65G49/067
Abstract: 提供基板输送装置，即使在干燥温度的设定变更时，也不需要进行振动板与转乘单元的高度位置的调节。基板输送装置具有：多张振动板，它们使基板在基板输送面上超声波浮起；和加热器部，其设置在所述振动板的基板输送面的背侧，该基板输送装置构成为：在相邻的振动板的彼此之间设置有使基板转乘到下一个振动板的转乘单元，该转乘单元具有：输送空气喷出部，其向基板输送面侧喷出空气并形成基板输送面的一部分；和支承延长部，其朝向相邻的各个振动板延伸设置，在支承延长部中设置有朝向振动板喷出空气的支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部喷出的空气，将转乘单元非接触地支承在振动板之间，并将振动板的基板输送面与输送空气喷出部调整为平滑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108701635A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
CPC classification number: B65G49/06 , B05C13/02 , G02F1/13 , H01L21/027 , H01L21/677
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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公开(公告)号：CN108701635B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201780013592.2
申请日：2017-03-09
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H01L21/677 , B65G49/06 , G02F1/13 , H01L21/027 , B05C13/02
Abstract: 提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
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公开(公告)号：CN106066119A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610144602.3
申请日：2016-03-14
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: F26B9/06 , F26B23/06 , F26B25/008
Abstract: 本发明提供一种加热干燥装置，该装置能够抑制附着在腔室部内壁的升华物等混入到涂布膜中，从而能够减少腔室部的清洗作业的频率。该装置包括：腔室部，用于容纳基板；加热器部，用于加热形成在基板上的涂布膜；排气部，用于排出腔室部内的气体，该加热干燥装置在排出腔室部内气体的同时，对放置在腔室部内的基板上的涂布膜进行加热并干燥，其中，在与所放置的基板相对的对置壁上、至少与整个基板表面相对的区域中，设置有用来在其表面形成空气层的多孔质部。
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公开(公告)号：CN106000819A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610171873.8
申请日：2016-03-24
Applicant: 东丽工程株式会社
CPC classification number: B05D3/0254 , B05C13/02
Abstract: 提供加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。该加热干燥装置在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其具有：加热器部，其对基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对腔室部内进行排气，在腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，排气部构成为一边通过从排气口对腔室部内进行排气而将腔室部内形成为减压状态，一边通过使加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。
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公开(公告)号：CN104735918A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410138955.3
申请日：2014-04-08
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: H05K3/14
CPC classification number: H05K3/125
Abstract: 本发明提供一种线路板的制造方法及使用于该方法的喷墨涂布装置，在该制造方法中，准备沿着X轴方向形成有隔开间隔配置且通过连接部（15）相连的多个第一电极（10）、以及沿与X轴方向交叉的Y轴方向形成有夹着连接部而隔开间隔配置的多个第二电极（20）的基板；在相邻的第二电极之间，沿Y轴方向形成覆盖包含第二电极端部的区域、以及连接部的绝缘膜（30）；在第二电极上形成隔开的间隙（32）比绝缘膜的宽度窄、且相互平行地向绝缘膜的Y轴方向延长线延伸的一对导向部（31a、31b）；在绝缘膜上以及一对导向部之间的间隙内，沿Y轴方向涂布液状的导电部件，由此形成将相邻的第二电极相连的由导电膜构成的跳线（40）。
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