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公开(公告)号：CN201762435U
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201020243869.6
申请日：2010-06-29
Applicant: 上海航天设备制造总厂
IPC: C23C14/06 , C23C14/35 , C10M103/06
Abstract: 本实用新型公开了一种耐高温固体润滑膜，该固体润滑膜由过渡层、承载层和润滑层组成，在金属运动零部件表面采用磁控溅射法依次制备钛膜作为过渡层、氮化钛膜作为承载层和二硫化硅膜作为润滑层。本实用新型耐高温固体润滑膜的摩擦系数小于0.3，磨损率小于0.05mg·min-1，且制备方法工艺简单，适用于金属运动零部件的高温润滑。
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