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公开(公告)号：CN104197911A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410390473.7
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种环形玻璃包围式玻璃吹制微型半球谐振陀螺及其制备方法，包括：一个长方体硅基底、一个半球壳式中央谐振子、一个环形玻璃壳体、八个制作在环形玻璃上的金属电极，其中：八个电极环绕中央谐振子均匀分布配置，包含四个驱动电极和四个检测电极，并通过引线连接至引脚处；通过在对应引脚处施加正负电压，驱动电极和检测电极可以实现静电驱动与检测；所述中央半球壳谐振子和外围的环形玻璃采用玻璃吹制过程制作。本发明采用MEMS工艺加工，结构简单、体积小、精度较高，极具发展前景。
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公开(公告)号：CN104197908A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410390457.8
申请日：2014-08-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5691
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5691 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种下凹环形压电谐振陀螺仪及其制作方法，包括：基底、基底上中心位置周围的空环形腔、在基底上的下凹环形压电谐振体、固定在基底上对下凹环形谐振体起支撑作用的支撑柱以及其上的电极、在下凹环形谐振体外表面上呈对称分布的八个电极，所述下凹环形压电谐振体定位成与所述基底的上表面分开以允许该压电谐振陀螺仪振动。本发明通过基底上表面的成型支撑柱对谐振体进行支撑，稳定性好，有利的减小支撑阻尼的影响，有利于提高陀螺Q值和灵敏度；工艺相对简单，利于实现；谐振体除中间支撑外与基底分离，有利于其振动；采用压电材料，抗过载、抗冲击能力强，工作谐振频率高，启动时间短。
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公开(公告)号：CN103697876A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201310686903.5
申请日：2013-12-13
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本发明提供了一种基于硅平面加工工艺的静电驱动式体声波固体波动微陀螺，包括：一个长方体基体、一个带有四根梁的方形谐振子、四个驱动电极和四个检测电极，其中：四个驱动电极和四个检测电极分别沿方形谐振子顶端四个角两侧对应的基体内表面侧壁上分布配置，通过在连接方形谐振子的梁上布置金属连接线对其施加正负电压，从而配合驱动电极和检测电极实现静电驱动与检测。本发明利用方形谐振子的特殊振动模态进行工作，其驱动模态和检测模态互相匹配。本发明采用MEMS工艺制作，结构简单、体积小、与硅的平面加工工艺兼容且便于封装。
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公开(公告)号：CN103575262A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310473448.0
申请日：2013-10-11
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684 , G01C19/5698
Abstract: 本发明公开一种摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺，包括：一个压电圆盘，一个摇摆质量体，四个电极以及一个固定夹紧装置。其中电极又包括：两个检测电极和两个驱动电极。所述摇摆质量体位于压电圆盘中心直立固定，所述四个电极沿圆盘表面四周均匀分布，驱动电极和检测电极间隔放置，固定夹紧装置在圆盘四周外侧均匀间隔处对圆盘进行固定，紧紧夹在圆盘外围四周。本发明圆盘结构高度对称，驱动模态和检测模态刚好分别在驱动电极和检测电极的方向上；只用一对检测电极，对于检测沿摇摆质量体柱形方向的角速度十分有利；本发明结构简单、小体积、具有高Q值等特点且不需要真空封装。
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公开(公告)号：CN103344228A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310257428.X
申请日：2013-06-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供了一种摇动质量体声波固体波动微陀螺驱动与检测电路，包括嵌入式核心部分、外围电路部分、摇动质量体声波固体波动微陀螺部分和计算机显示部分，其中：嵌入式核心部分连接外围电路部分，再连接摇动质量体声波固体波动微陀螺部分，然后经过外围电路部分，再回到嵌入式核心部分；同时嵌入式核心部分与计算机显示部分直接连接并实时通信；对于陀螺的驱动与检测，主要在嵌入式核心部分完成，外围电路部分起辅助作用，从而控制陀螺并敏感陀螺输出。本发明能够为摇动质量体声波固体波动微陀螺提供稳定有效的驱动信号，时刻确保陀螺处于谐振状态，有效地实现了陀螺驱动检测的反馈机制，形成闭环系统，检测出陀螺信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102980566A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210506574.7
申请日：2012-11-30
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开一种圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆锥环谐振子；设在金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜，该压电薄膜含有驱动电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的平衡电极；四个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的监测电极；金属圆锥环谐振子与八个电极形成八个以空气作为介电质的电容。本发明利用圆锥环的四波腹振动模态进行工作，对驱动电极施加交流电压，由逆压电效应产生振动，带动圆锥环谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时，圆锥环谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极与金属圆锥环谐振子形成的电容间隙的变化，处理得到输入角速度信号。
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公开(公告)号：CN106289216B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201610635009.9
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提出了一种内环形外分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、外电极、内电极、玻璃基底。本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用内电极和外电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106153028B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201610633735.7
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明提出了一种内外分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、外电极、内电极、玻璃基底。所述外电极为多个，均匀分布在微型谐振子的外侧，构成均匀分布式外电极；所述内电极为多个，多个内电极均匀分布在微型谐振子的内侧，构成均匀分布式内电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用内电极和外电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106323261B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201610635055.9
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提出了一种上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极，所述下电极为一个，设置在微型谐振子的下侧且该下电极呈环形一体式，构成一环形一体式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106323259B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201610635051.0
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5691
Abstract: 本发明提出了一种上下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，多个上电极分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极；所述下电极为多个，多个下电极均匀分布在微型谐振子的下侧，构成均匀分布式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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