公开(公告)号：CN101439442B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。

公开(公告)号：CN100595627C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200710096579.6

申请日：2007-04-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小林信高 ,  竹野祥瑞

IPC: G02B26/00 ,  G02B27/00 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明的课题是提供一种具有多个驱动元件的可变形镜，自由度高，但是，结构复杂。其特征在于，可变形镜包括：在一侧具有反射面(1A)的反射镜(1)，在两个部位处固定到反射镜(1)的背面上的第一轴构件(4)，具有固定到反射镜(1)的背面(1B)上的两个腿(5B)、跨越前述第一轴构件(4)的第二轴构件(5)，使该第二轴构件(5)与前述第一轴构件(4)之间的距离变化的距离变更机构(2)，连接固定第一轴构件(4)的部位的线段与连接固定第二轴构件(5)的前述腿(5B)的部位的线段相互交叉。

公开(公告)号：CN101439442A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。

公开(公告)号：CN101290394A

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200710096579.6

申请日：2007-04-16

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小林信高 ,  竹野祥瑞

IPC: G02B26/00 ,  G02B27/00 ,  B23K26/00

Abstract: 本发明的课题是提供一种具有多个驱动元件的可变形镜，自由度高，但是，结构复杂。其特征在于，可变形镜包括：在一侧具有反射面(1A)的反射镜(1)，在两个部位处固定到反射镜(1)的背面上的第一轴构件(4)，具有固定到反射镜(1)的背面(1B)上的两个腿(5B)、跨越前述第一轴构件(4)的第二轴构件(5)，使该第二轴构件(5)与前述第一轴构件(4)之间的距离变化的距离变更机构(2)，连接固定第一轴构件(4)的部位的线段与连接固定第二轴构件(5)的前述腿(5B)的部位的线段相互交叉。

公开(公告)号：CN1309527C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN03801854.3

申请日：2003-03-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 伊藤健治 ,  竹野祥瑞 ,  小林信高

IPC: B23K26/38 ,  H05K3/00 ,  H05K3/26

CPC classification number: B23K26/06 ,  B23K26/382 ,  B23K26/389 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/35 ,  B23K2101/42 ,  B23K2103/12 ,  B23K2103/172 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  H05K3/0032 ,  H05K3/0035 ,  H05K3/0055

Abstract: 本发明涉及激光加工方法，该方法是对印刷配线基板的绝缘层照射激光束，加工盲孔、凹槽或贯通孔的印刷配线基板的激光加工方法，其包括如下工序：第1工序，以规定的能量密度加工所述绝缘层；第2工序，对经第1工序加工的加工部位周围，以能量密度小于所述第1工序中的能量密度的激光进行照射以固化所述绝缘层；和第3工序，清除残存的污渍。

公开(公告)号：CN1700968A

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：CN200480000991.8

申请日：2004-05-19

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 黑岩忠 ,  井嶋健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  H05K3/00

CPC classification number: B23K26/0613 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/066 ,  B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  B23K26/082

Abstract: 本发明的激光加工装置，使从振荡器(1)射出的激光(2)分光为透过第1偏振手段(6)，经反射镜(5)，在第2偏振手段(9)被反射的第1激光(7)，以及在所述第1偏振手段(6)被反射，由第1电扫描器(galvano－scanner)(11)在2轴方向上进行扫描，透过上述第2偏振手段(9)的第2激光(8)，由第2电扫描器(12)进行扫描，对工件(13)进行加工的激光加工装置，其特征在于，在第1偏振手段(6)的跟前配置角度可调节的第3偏振角度调整用偏振手段(15)。

公开(公告)号：CN1585684A

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：CN02822600.3

申请日：2002-11-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 黑岩忠 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  H05K3/00

CPC classification number: B23K26/0608 ,  B23K26/067 ,  B23K26/382 ,  B23K2101/42 ,  B23K2103/50

Abstract: 本发明为一种激光加工装置，该装置用第一偏振光装置25将一束激光26分光成两束激光26a、26b，一束经反射镜24，另一束用第一电流计扫描器29沿两个轴向扫描，并将两束激光26a、26b引向第二偏振光装置27后，用第二电流计扫描器30扫描，来加工被加工件22，在这种激光加工装置中，这样构成光路，使得透过第一偏振光装置25的激光26b用第二偏振光装置27反射，使得用第一偏振光装置25反射的激光26a透过第二偏振光装置27。

公开(公告)号：CN118525232A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202280087854.0

申请日：2022-12-08

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 平重宪治 ,  大桥雅也 ,  泷川靖弘 ,  小林信高

IPC: G02B7/192 ,  G02B5/10 ,  G02B7/00 ,  B23K26/00

Abstract: 形状可变镜(10)具有：反射镜(11)，其具有对光进行反射的反射面；第1支撑部件(21)，其具有第1板部及第1固定部件，对反射镜进行支撑；第2支撑部件(31)，其具有第2板部及第2固定部件，对反射镜进行支撑；以及调整部件，其使第1板部和第2板部之间的距离变化。第1板部从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第1固定部件与第1板部连接，在将m设为大于或等于2的整数的情况下，通过反射镜的m个第1固定部位对反射镜进行固定。第2板部隔着第1板部，从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第2固定部件与第2板部连接，在将n设为大于或等于2的整数的情况下，通过与反射镜的第1固定部位不同的n个第2固定部位对反射镜进行固定。反射镜在背面具有与第1固定部件及第2固定部件的至少一者接触的凸起部(14x、14y)。

公开(公告)号：CN110383607B

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201880015868.5

申请日：2018-01-12

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小林信高 ,  桂智毅 ,  森田大嗣 ,  西前顺一 ,  京藤友博

IPC: H01S5/14 ,  G02B3/06 ,  G02B5/18 ,  H01S5/0225

Abstract: 波长耦合激光器装置(10)具有：半导体激光器，其从在激光耦合方向排列的多个发光部的出射端面(1b)，向与激光耦合方向垂直的光轴的方向射出多个激光(6)；波长耦合元件(3)，其在激光耦合方向对多个激光进行耦合而作为1根激光进行输出；交叉耦合抑制光学系统(4)，其在与从波长耦合元件输出的1根激光的光轴垂直的激光耦合方向具有正的焦度；以及部分反射镜(5)，其对经过交叉耦合抑制光学系统的1根激光进行反射并使其透过而射出，在由光轴和激光耦合方向所成的平面内，通过将出射端面和部分反射镜共轭地连结，从而以将出射端面在部分反射镜之上成像的方式配置有交叉耦合抑制光学系统。

公开(公告)号：CN108604016A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780009453.2

申请日：2017-01-13

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 小林信高 ,  小田千纱子 ,  森田大嗣 ,  西前顺一

IPC: G02B27/09 ,  B23K26/06 ,  G02B3/06

Abstract: 光束整形装置具有SAC以及FAC。SAC配置在LD棒与FAC之间。在SAC设有第1入射面和第1出射面。第1入射面具有沿慢轴方向X排列的多个入射侧透镜面。各入射侧透镜面的形状为在与快轴方向Y正交的截面上向SAC的外侧凸出且在与慢轴方向X正交的截面上向SAC的内侧凹陷的形状。第1入射面以及第1出射面各自的形状为在与慢轴方向X正交的截面上以发光层的出射端面上的点为中心的同心的圆弧状。