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公开(公告)号：CN103155103A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180037725.2
申请日：2011-08-02
Applicant: 国立大学法人大阪大学 , EMD株式会社
IPC: H01L21/205 , C23C16/509 , H01L21/3065 , H05H1/46
CPC classification number: H01L21/02104 , C23C16/24 , C23C16/509 , H01J37/3211 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/32568 , H01J37/32623 , H01J37/32834 , H01J37/32899 , H01J37/32954 , H01L21/465 , H05H1/46 , H05H2001/4667
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够根据离解的气体分子的种类或其离解能来容易地控制等离子体中的电子的能量分布的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置(10)具备：等离子体处理室(11)；与等离子体处理室(11)连通的等离子体生成室(12)；用于生成等离子体的高频天线(16)；用于控制等离子体中的电子的能量的等离子体控制板(17)；用于调整等离子体控制板(17)的位置的操作棒(171)及移动机构(172)。在该等离子体处理装置(10)中，仅通过利用移动机构(172)使操作棒(171)沿着长度方向移动来调整高频天线(16)与等离子体控制板(17)之间的距离，就能够控制在等离子体生成室(12)内生成的等离子体的电子的能量分布，因此能够容易地进行与离解的气体分子的种类或其离解能对应的等离子体处理。
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公开(公告)号：CN101855947B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200880115832.0
申请日：2008-11-12
Applicant: EMD株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/505 , H01L21/3065
CPC classification number: H05H1/46 , C23C16/503 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/3266 , H01J37/3277
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够高效率地利用所产生的等离子体的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置(10)的特征在于，具备：真空容器(11)；设置成向真空容器(11)的内部空间(111)突出的天线(等离子体产生机构)支承部(12)；安装于天线支承部(12)的高频天线(等离子体产生机构)(13)。由此，安装高频天线的部分的面积变小，等离子体的利用效率提高。
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公开(公告)号：CN101855947A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115832.0
申请日：2008-11-12
Applicant: EMD株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/505 , H01L21/3065
CPC classification number: H05H1/46 , C23C16/503 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/3266 , H01J37/3277
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够高效率地利用所产生的等离子体的等离子体处理装置。本发明的等离子体处理装置(10)的特征在于，具备：真空容器(11)；设置成向真空容器(11)的内部空间(111)突出的天线(等离子体产生机构)支承部(12)；安装于天线支承部(12)的高频天线(等离子体产生机构)(13)。由此，安装高频天线的部分的面积变小，等离子体的利用效率提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116349408A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202180071115.8
申请日：2021-10-19
Applicant: EMD株式会社
Inventor： 枝本信雄
IPC: H05B45/325
Abstract: 本发明的LED光照射装置(10)，具备：LED模块(11)，将多个LED元件(111)串联而成；电流设定部(13)，根据使用者所输入的资讯设定流通于LED模块(11)的电流的值；定电流电源(12)，向LED模块(11)供给由电流设定部(13)所设定的值的电流；电压值取得部(141)，取得LED模块(11)的两端电压的值；温度测定部(142)，对依存于LED模块(11)的温度而温度发生变化的点(1421)的温度进行测定；数据库(143)，储存LED模块(11)正常的情形时的上述点(1421)的温度、电流的设定值及两端电压的关系；及短路异常判定部(144)，根据由温度测定部(142)所测得的上述点(1421)的温度的测定值、电流的设定值、及由电压值取得部(141)所侦测到的两端电压的值，参照数据库(143)，判定多个LED元件(111)的任一者是否发生短路异常。
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公开(公告)号：CN112702829A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011131198.9
申请日：2020-10-21
Applicant: EMD株式会社
Inventor： 江部明宪
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明提供一种感应耦合型的等离子源，其具有构造简易、且可抑制装置所需成本的天线的冷却机构。等离子源(10)是于真空容器(21)内生成等离子的装置，其具备设于真空容器(21)的壁(211)的框(天线固定框(12))、及固定于上述框内的面状的天线(11)。由于天线(11)的周围被上述框包围，故天线(11)所产生的热自其周围流出至框，进而自框流出至真空容器，因此高效地冷却。因此，无需使用液体或气体的冷媒，可使构造简化，且无需冷媒的温度管理装置或循环装置，因此可抑制装置所需的成本。
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公开(公告)号：CN103155718B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201080068816.8
申请日：2010-09-06
Applicant: EMD株式会社
IPC: H05H1/46 , C23C16/505 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32082 , H01J37/3211 , H05H1/46 , H05H2001/4652
Abstract: 本发明目的在于廉价地提供一种维护检修容易且能够稳定地供给等离子的内部天线方式的等离子处理装置。本发明的等离子处理装置具备在真空容器(11)的上壁(111)上设置多个的天线单元(20)，天线单元(20)具备：从真空容器(11)的上壁(111)向真空容器(11)内凸出地设置的电介质制的框体(21)；具有将框体内的气氛向真空容器的外部排出的第二气体排出口(25)的盖(22)；以及经由馈通体(24)而固定于盖(22)且在管壁上具有气体通过孔(232)的由导体管构成的高频天线(23)。向高频天线(23)的管内供给不活泼气体，通过气体通过孔(232)而将框体(21)的内部充满，通过第二气体排出口(25)向真空容器(11)的外部排出。
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公开(公告)号：CN101855707B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN200880115393.3
申请日：2008-11-12
Applicant: EMD株式会社
IPC: H01L21/205 , C23C16/509 , H01L21/3065
CPC classification number: C23C16/503 , C03C17/22 , C03C2217/28 , C03C2218/153 , C23C16/24 , C23C16/509 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32715
Abstract: 本发明目的在于提供一种等离子处理装置，其对平面状被处理基体进行等离子处理，离子的利用效率及均匀性优良、且生产性高。本发明的等离子处理装置包含：真空容器(11)；一个或多个的天线支撑部(等离子产生机构支撑部)(12)，其向真空容器(11)的内部空间(111)内突出而设置；高频天线(等离子产生机构)(13)，分别安装于天线支撑部(12)；以及一对的基体保持部(16)，其在真空容器(11)内夹着天线支撑部(12)而设置，用以保持平面状的被处理基体(21)。
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公开(公告)号：CN101855707A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115393.3
申请日：2008-11-12
IPC: H01L21/205 , C23C16/509 , H01L21/3065
CPC classification number: C23C16/503 , C03C17/22 , C03C2217/28 , C03C2218/153 , C23C16/24 , C23C16/509 , H01J37/321 , H01J37/3211 , H01J37/32715
Abstract: 本发明目的在于提供一种等离子处理装置，其对平面状被处理基体进行等离子处理，离子的利用效率及均匀性优良、且生产性高。本发明的等离子处理装置包含：真空容器(11)；一个或多个的天线支撑部(等离子产生机构支撑部)(12)，其向真空容器(11)的内部空间(111)内突出而设置；高频天线(等离子产生机构)(13)，分别安装于天线支撑部(12)；以及一对的基体保持部(16)，其在真空容器(11)内夹着天线支撑部(12)而设置，用以保持平面状的被处理基体(21)。
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