公开(公告)号：CN117063260A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202280024423.X

申请日：2022-03-17

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 金子功次

IPC: H01J37/22

Abstract: 本发明的方法中，决定工件的表面内的基准区域，根据基准区域内的图案的设计数据来计算基准区域的图案密度，决定多个调整区域，所述多个调整区域具有在规定范围内与计算出的图案密度近似的图案密度，借助扫描电子显微镜来生成基准区域的图像，借助扫描电子显微镜来生成多个调整区域中的一个调整区域的图像，以所述一个调整区域的图像的亮度的直方图与基准区域的图像的亮度的直方图的差减小的方式对用于调整所述一个调整区域的图像的亮度的参数的设定值进行调整，借助扫描电子显微镜来生成工件的表面内的多个中间区域的多个图像。

公开(公告)号：CN116438447A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202180068633.4

申请日：2021-09-17

Applicant: 东丽工程株式会社 ,  塔斯米特株式会社

Inventor： 大美英一

IPC: G01N21/956

Abstract: 提供外观检查装置及方法，即使检查对象部位包含允许外缘的位置偏移、尺寸误差的变动区域，也能够不检测疑似缺陷而获得所期望的检查结果。具体而言，外观检查装置检查检查对象部位的外观，具备：检查图像取得部，取得检查图像；检查基准图像登记部，登记成为检查的基准的基准图像；以及检查部，比较检查图像和基准图像来进行检查，检查对象部位包含允许外缘的位置偏移、尺寸误差的变动区域，具备检测变动区域的外缘位置的边缘检测部，作为基准图像，登记有成为对变动区域进行检查的基准的变动区域基准图像，检查部比较检查图像中的变动区域、和变动区域基准图像中的基于由边缘检测部检测出的外缘的位置而与该变动区域位置对应的区域，来检查该变动区域。

公开(公告)号：CN115516613A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180031114.0

申请日：2021-04-21

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 丸山浩太郎

IPC: H01L21/66

Abstract: 本方法通过扫描电子显微镜(50)生成包含形成在多个层上的多个图案的层叠结构(400)的反射电子图像，将包含CAD图案的虚拟层叠结构(300)的多个区域根据虚拟层叠结构(300)的深度方向上的CAD图案排列而分类为多个组，该CAD图案根据上述多个图案的设计数据而生成，进行反射电子图像上的多个图案中的至少一个与对应的CAD图案的匹配，计算与属于各组的区域对应的反射电子图像上的区域的亮度指标值，当亮度指标值在标准范围外时，确定在反射电子图像上的区域内有图案缺陷。

公开(公告)号：CN115380207A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202180026528.4

申请日：2021-04-09

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 三浦祐治

IPC: G01N23/2251 ,  G06T7/60 ,  G06V10/764 ,  G06V10/75 ,  G06F30/10 ,  H01L21/66

Abstract: 本方法对属于第1组的参考图案(210A)的宽度的测量值进行累计来确定第1累计值，对属于第2组的参考图案(210B)的宽度的测量值进行累计来确定第2累计值，实施第2区域的图像上的多个图案与对应的多个CAD图案的第2匹配，对属于第1组的图案(220A)的宽度的测量值进行累计来确定第3累计值，对属于第2组的图案(220B)的宽度的测量值进行累计来确定第4累计值，在第3累计值与第4累计值的大小关系和第1累计值与第2累计值的大小关系一致时，确定正确地进行了第2匹配。

公开(公告)号：CN111699540A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN201980011846.6

申请日：2019-01-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 久保田大辅

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案(160)的多个间隔剔除图像，计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。