公开(公告)号：CN111699540B

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN201980011846.6

申请日：2019-01-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 久保田大辅

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案(160)的多个间隔剔除图像，计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。

公开(公告)号：CN115516598B

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202180022962.5

申请日：2021-03-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 齐藤尚也 ,  久保田大辅

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17、18)施加扫描电压和偏移电压，所述扫描电压使电子束扫描目标区域(T)，所述偏移电压将电子束从光轴中心(O)挪到目标区域(T)。

公开(公告)号：CN115516598A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180022962.5

申请日：2021-03-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 齐藤尚也 ,  久保田大辅

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17、18)施加扫描电压和偏移电压，所述扫描电压使电子束扫描目标区域(T)，所述偏移电压将电子束从光轴中心(O)挪到目标区域(T)。

公开(公告)号：CN111699540A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN201980011846.6

申请日：2019-01-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 久保田大辅

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，由此生成所述图案(160)的多个间隔剔除图像，计算所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置。