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公开(公告)号：CN112748510A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202110082913.2
申请日：2021-01-21
Abstract: 本发明提出一种兼具自动调平功能的扫描式自动对焦方法及装置，该装置包括：激光光源，用于产生对焦光束；合束装置，用于将对焦光束与光学系统工作光束合束；扫描系统，通过改变对焦光束的角度，使对焦光斑在对焦平面上移动；聚焦系统，用于将对焦光束聚焦为在物镜后焦面的对焦光斑；共焦强度探测装置，用于将对焦光斑共焦成像，并探测像点位置的光强变化；反馈运动机构，用于将探测到的光强变化转化为相应的反馈控制信号，并根据信号驱动运动机构，带动对焦对象旋转或平移，完成自动调平和自动对焦。本发明通过扫描系统控制对焦光束扫描，实现了多点对焦。与现有对焦装置相比，增加了自动调平功能，极大的扩展了该装置的应用范围。
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公开(公告)号：CN112666803A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202110048240.9
申请日：2021-01-14
Abstract: 本发明公开了一种基于边缘光抑制点阵产生及独立控制的并行直写装置，包含两路光：一路光通过镀涡旋膜MLA产生涡旋抑制光阵列，同时利用SLM控制各涡旋光的位置和形貌，结合DMD独立调控涡旋光强度，实现聚合区域大小控制；另一路光通过MLA产生激发光点阵，同时利用SLM调控各激发光位置，实现激发光和涡旋光阵列的精密重合。本发明可产生刻写点大小独立可控的高质量PPI阵列，每个PPI光斑由激发光和涡旋抑制光组成；采用相同刻写点大小的PPI阵列进行加工，具有超高分辨率、高通量和高均匀度的优势，控制刻写点大小使其具有特定分布，还能实现灰度光刻功能，加工任意高均匀度曲面结构和真三维微结构，可应用于超分辨光刻。
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公开(公告)号：CN112505915A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011296003.6
申请日：2020-11-18
Abstract: 本发明公开了一种激光束漂移实时探测与快速校正装置及方法，该装置包括可调小孔、旋转反射镜、直角棱镜反射镜、纳米位移台、压电调节镜架、分束镜、透镜、位置探测器和控制器等部件；通过纳米位移台与直角棱镜反射镜的组合，实现光束位置漂移的独立调控，通过压电调节镜架实现光束指向角度的独立调控。本发明通过光束指向位置漂移与角度漂移的独立调控，避免了常规光束指向系统中的解耦操作，实现小型化、高精度、快速度的光束稳定控制。利用本发明装置调整得到的稳定光束，可以广泛用于超分辨显微成像系统和高精度激光直写光刻系统。
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公开(公告)号：CN111024659B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201911192072.X
申请日：2019-11-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种基于并行探测的多图像重建显微成像方法和装置，属于光学超分辨显微技术领域，包括：将其中一束激光在二维扫描振镜系统的调制下投射到待测样品上进行二维扫描；使用探测器阵列收集所述待测样品在二维扫描过程中发出的荧光信号，并对外围探测器收集的信号移回中心，将所有图像加起来后进行归一化处理获得并行探测荧光信号光强I1(x，y)，其中x、y为样品上扫描点的二维坐标；对另外一束激光进行相位调制；获得并行探测荧光信号光强I2(x，y)；将两侧扫描获得的并行探测荧光信号光强进行迭代计算得到有效信号光强I(x，y)。利用荧光激发的非线性效应来扩展成像系统的有效空间频率带宽，从而实现了更高的分辨率。
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公开(公告)号：CN110568650B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910853082.7
申请日：2019-09-10
IPC: G02F1/1333 , G02F1/1335 , G02B26/10
Abstract: 本发明公开了一种用于成像和光刻系统的共路光束调制装置。由淬灭光束或去交联光束构成第一光束，由激发光束或交联光束构成第二光束；光束合束后依次透过第一光学薄膜、玻璃基板、第二光学薄膜，第一光束经第二光学薄膜、透明电极进入液晶层，经反射层反射，第二次进入液晶层，经液晶层相位调制后，最终从第一光学薄膜出射；第二光束经第二光学薄膜反射后最终经第一光学薄膜出射。上述方法使两束光束合束后再经过同一光调制模块，而仅对淬灭光束或去交联光束相位调制，这大大简化了光学成像和光刻系统的结构，并且由于使共路系统，其稳定性更好，本发明装置可以大大降低成像与光刻系统的搭建成本并且提高了系统的抗干扰能力，光学效率较高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111399204A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010095814.3
申请日：2020-02-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明提供的一种基于后瞳面成像的环状扫描成像系统校正方法，包括以下步骤：通过环状扫描成像系统获取不同方位角和不同入射角的后瞳面图像并统计其强度，生成相应光强曲线；若光强曲线与理论变化趋势吻合，提取每个方位角下的图像强度最大值，若不吻合，调整系统参数重新获取后瞳面图像；最后比较各个方位角下的图像强度最大值对应的控制电压，计算其误差范围是否满足需求，若满足，校正结束；若不满足，调整环状扫描方式，重新获取后瞳面图像并进行分析，直到误差范围满足需求，则校正结束。本发明可实现激发光在不同方位角下以相同入射角照明样品，解决普通环状扫描成像系统中不同方位角下照明深度不一致的问题，提升了系统的成像能力。
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公开(公告)号：CN110836877A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201910984427.2
申请日：2019-10-16
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开一种基于液晶变焦透镜的光切片显微成像方法，包括：激光光束经过扩束后入射扫描振镜；扫描振镜快速振动，使入射激光沿y方向扫描形成光片扫描样品；依次改变液晶变焦透镜的焦距和压电移动平台的位置，分别在x向和z向上改变对样品的照明区域；探测物镜收集样品发出的荧光信号，得到不同有效照明区域下对应的多幅荧光强度图像；利用多幅荧光强度图像进行数据处理，重构得到样品三维图像。本发明还公开了基于液晶变焦透镜的光切片显微成像装置。本发明利用液晶变焦透镜改变激光的聚焦位置，可利用光片更薄且光强更均匀的区域照明待测样品，有效提高光切片显微成像系统的轴向分辨率。
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公开(公告)号：CN106296585B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201610663266.3
申请日：2016-08-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于表面波照明的傅里叶域迭代拼接超分辨显微方法，包括：1)通过改变入射照明光的照明角度，激发样品与空气界面处沿不同方向传播的表面波；2)表面波照明样品产生沿与之对应横向波矢的频谱搬移，将物体高频分量搬移到物镜低通带范围内；3)CCD拍摄各照明角度下对应的图像，然后代入到傅里叶域迭代拼接(FP)算法中，最终重构出复杂样品的强度与相位分布。本发明还公开了一种基于表面波照明的傅里叶域迭代拼接超分辨显微装置。本发明所恢复的定量相位无需采用干涉获取，其计算所恢复的刻蚀光栅样品的刻蚀深度，通过AFM检测验证了其正确性，在材料和生命科学中具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN106841136B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201710015726.6
申请日：2017-01-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种对超薄细胞的高精度轴向定位与成像方法，通过将细胞的上下表面分为两个部分，分别对这两个部分进行不同方式的多角度照明得到与轴向位置相对应的荧光光强信息，再结合相应算法得到细胞内荧光颗粒的轴向信息，获取三维图像。本发明还公开了一种对超薄细胞的高精度轴向定位与成像装置，照明光通过1/4波片和二维扫描振镜系统在样品表面进行环状扫描同时改变入射角度，产生两种不同的照明方式，激发出荧光被CCD接收；结合收到的荧光强度与样品轴向位置之间的关系就可以实现对超薄细胞的高精度轴向定位。本发明装置简单，操作方便；利用激发光的不同入射角度对整个细胞的上部分和下部分都进行了高精度的定位和成像。
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公开(公告)号：CN109712072A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811537541.2
申请日：2018-12-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于全内反射的条纹照明傅里叶域迭代更新超分辨显微成像方法，将一束平行照明的激光光束分束为强度相等、偏振方向一致的两束平行光束，激发出两个相向传播的倏逝波进行干涉产生精细的倏逝波条纹照明荧光样品；在成像像面用探测器接收荧光信号，得到一张混有荧光样品高低频信息的低分辨率图像；多次改变倏逝波照明条纹的空间位移和方向，再次拍摄受条纹强度调制的荧光信号，得到一系列混有荧光样品高低频信息的低分辨率图像作为原始图像；最后将原始图像做傅里叶域迭代更新处理，不断迭代最终重构出一张荧光样品的超分辨图像。本发明可达到约100nm的横向分辨率，可减小背景水平，提高对比度，可校正系统未知像差，可实现活体成像。
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