公开(公告)号：CN100452340C

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200510137082.5

申请日：2005-12-23

Applicant: 日本网目版制造株式会社

Inventor： 佐野谦一 ,  永见宗三 ,  光吉一郎 ,  酒井泷吉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/00 ,  B08B3/00

Abstract: 基片处理设备包括用于接纳各自存放多张基片的整体容器的存放区、用于整体地处理多张基片的第一处理区、用于一次处理一张基片的第二处理区、以及用于在整体容器、第一处理区和第二处理区之间输送诸基片的输送装置。可以按整体地处理多张基片的方式和/或一次处理一张基片的方式处理基片。

公开(公告)号：CN100451837C

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200510066854.0

申请日：2005-04-29

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 城田浩行

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 一种图形描绘装置和图形描绘方法，与DMD的微小反射镜对应的光照射区域(61)的排列相对设定在基板上的描绘单元(620)的排列而倾斜，使光照射区域组相对描绘单元组而在主扫描方向上相对移动，由此进行图形的描绘，在此情况下，在大致主扫描方向上相互邻接的2个光照射区域(61)中，相对于副扫描方向的中心间的距离等于描绘单元(620)的描绘间距，并且相对于主扫描方向的中心间的距离为描绘间距的a倍，在使光照射区域组相对移动描绘间距的n倍(其中，n表示3或其以上的整数)的距离的期间，一次控制对各光照射区域(61)的光照射的ON/OFF。在此，(a2+1)与n互为素数，由此可以高分辨率、高速地描绘适当的图形。

公开(公告)号：CN101324760A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200810109454.7

申请日：2008-06-12

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 雨森清忠 ,  生藤邦夫 ,  小八木康幸 ,  小川秀明 ,  安福孝次

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种描绘系统、描绘装置及描绘方法，其能够在多台描绘装置或多个描绘处理部中，使用来自一个光源的光同时进行描绘处理和其它处理，能够提高激光的工作率和基板的制造效率。描绘系统(100)将从激光振荡器(110)射出的脉冲光分割为主脉冲光和副脉冲光，将主脉冲光和副脉冲光交替分配给第一描绘装置(1a)和第二描绘装置(1b)。因此，能够在两台描绘装置(1a、1b)中，并行交替地进行使用了主脉冲光的描绘处理和使用了副脉冲光的校准处理。由此，能够提高激光振荡器(110)的工作率和基板(9)的制造效率。

公开(公告)号：CN100428439C

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200610127474.8

申请日：2006-09-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 奥野英治 ,  原孝志

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/137

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，包括：盒体装载台；第一搬送机构，其具有相对被装载在该盒体装载台的盒体可进退的第一基板保持手部，用于通过该第一基板保持手部对上述盒体交接基板；基板处理部，其用于对基板实施处理；第二搬送机构，其具有相对上述第一搬送机构以及上述基板处理部可进退、并且以铅直轴为中心可旋转的第二基板保持手部，用于通过该第二基板保持手部对上述第一搬送机构以及上述基板处理部交接基板；移动机构，其用于沿盒体的排列方向使上述第一搬送机构移动；控制单元，其在上述第一搬送机构与多个盒体分别对置的位置，使在上述第一搬送机构和上述第二搬送机构之间的基板的交接进行。

公开(公告)号：CN100427877C

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200610068377.6

申请日：2006-03-30

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 上田邦夫 ,  吉原一博 ,  谷口和隆

IPC: G01B11/06

Abstract: 一种不匀检查装置，具有：载物台，其保持基板；光射出部，其向基板的形成了膜的上表面射出线状光；受光部，其接受来自基板的反射光；波段切换机构，其被配置在基板和受光部之间来切换光的波段；移动机构，其移动载物台；检查部，其基于所接受的光的强度分布来检查膜厚不匀。在不匀检查装置中，通过将从光射出部入射到基板的光相对上表面的入射角θ1设为60°，从而能够使可进行高精度不匀检测的膜厚的范围变大，同时能够防止相对膜厚的反射率的极大点附近区域、即低灵敏度区域的宽度变宽。其结果是能够防止膜厚的变化幅度包含在低灵敏度区域内，并精度较高地检测出微小侧膜厚不匀。

公开(公告)号：CN101275917A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810086302.X

申请日：2008-03-25

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山田亮 ,  古川至 ,  北村清志 ,  中井一博

IPC: G01N21/88 ,  G01N33/00 ,  G06T3/00 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66 ,  H01L21/00 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种能够以简单的结构在执行描绘之前检测用于图形描绘的行程长度数据的缺陷的技术。分别取得输入CAD数据(D1)和通过对该输入CAD数据(D1)进行RIP处理来取得的行程长度数据(D2)。然后，对输入CAD数据(D1)和行程长度数据(D2)中的至少一种数据执行规定的转换处理，以使两种数据变成能够相互比较的数据格式，并比较两种数据，进而检测出有差异的区域而作为行程长度数据(D2)的缺陷区域。

公开(公告)号：CN101246813A

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200810005676.4

申请日：2008-02-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  B08B3/00 ,  G03F1/00 ,  G02F1/1333 ,  G11B7/26

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。在处理区设置有多个背面清洗单元及主机械手。主机械手设置在配设在处理区一侧的侧面的背面清洗单元与配设在处理区另一侧的侧面的背面清洗单元之间。在分度器区与处理区之间，上下邻接的方式设置有使基板翻转的翻转单元、及在分度器机械手与主机械手交接基板的基板装载部。主机械手在多个背面清洗单元、基板装载部及翻转单元之间搬运基板。

公开(公告)号：CN100413047C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200610006956.8

申请日：2006-01-26

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 光吉一郎

IPC: H01L21/677 ,  B65G1/04

Abstract: 本发明提供一种能够在存放器容置·搬送单元中高效地搬送存放器的基板处理装置。搬送机械手(130a)在加载端口(10)、第三装载部(150)、以及货架阵列(140)之间搬送FOUP(80)。中间隔着货架阵列(140)而配设在搬送机械手(130a)的相反侧的搬送机械手(130b)，在货架阵列(140)以及第二装载部(160)之间搬送FOUP(80)。在第三装载部(150)中，分别进行映射处理、以及将存放在FOUP(80)中的基板向基板处理装置(200)搬送的处理。由此，能够几乎同时进行多个搬送处理。另外，搬送机械手(130a、130b)能够在空间上互不干涉地执行FOUP(80)的搬送处理。

公开(公告)号：CN100405559C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200410047378.3

申请日：2004-06-03

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 铃木聪 ,  富藤幸雄

IPC: H01L21/3213 ,  H01L21/306 ,  C23F1/00

Abstract: 本发明提供一种为了适应于基板的大型化，但不必将处理槽与之相应地大型化，也不会产生如浸渍处理时那样的蚀刻不良的装置。装置的构成包括：第一处理槽(14)；配置在第一处理槽(14)内、支承并搬运基板(W)的搬运辊(20)；配置在基板搬运路径的上方、向基板(W)的表面上喷出蚀刻液的喷射喷嘴(22)；与第一处理槽连接设置的第二处理槽(28)；配置在第二处理槽(28)内、支承并搬运基板(W)的搬运辊(30)；向从第一处理槽(14)内被搬出、并被搬入到第二处理槽(28)内的基板(W)的表面供应蚀刻液、在基板(W)的整个表面上装满蚀刻液的排出喷嘴(32)。

公开(公告)号：CN100404252C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200510065045.8

申请日：2005-04-11

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 今井澄 ,  吉野公敏

IPC: B41F33/16 ,  G06F3/12 ,  H04L12/28

CPC classification number: G06F3/1285 ,  G06F3/1204 ,  G06F3/125

Abstract: 内容文件转换器将输入至印刷数据处理装置的内容文件转换成中间文件。然后，中间文件的数据被记录于由页面序列表产生器所产生的页面序列表中。布局信息选择器在用于实际印刷的印刷机已被确定之时，选择所确定的印刷机所适用的布局信息表。链接处理器在可印刷表面上的各部分中布局中间文件。因此，即使用于印刷的印刷机尚未被确定，仍可记录中间文件的数据。