公开(公告)号：CN100428439C

公开(公告)日：2008-10-22

申请号：CN200610127474.8

申请日：2006-09-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 奥野英治 ,  原孝志

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/137

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，包括：盒体装载台；第一搬送机构，其具有相对被装载在该盒体装载台的盒体可进退的第一基板保持手部，用于通过该第一基板保持手部对上述盒体交接基板；基板处理部，其用于对基板实施处理；第二搬送机构，其具有相对上述第一搬送机构以及上述基板处理部可进退、并且以铅直轴为中心可旋转的第二基板保持手部，用于通过该第二基板保持手部对上述第一搬送机构以及上述基板处理部交接基板；移动机构，其用于沿盒体的排列方向使上述第一搬送机构移动；控制单元，其在上述第一搬送机构与多个盒体分别对置的位置，使在上述第一搬送机构和上述第二搬送机构之间的基板的交接进行。

公开(公告)号：CN1941314A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200610127474.8

申请日：2006-09-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 奥野英治 ,  原孝志

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/00 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67745 ,  Y10S414/137

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置，包括：盒体装载台；第一搬送机构，其具有相对被装载在该盒体装载台的盒体可进退的第一基板保持手部，用于通过该第一基板保持手部对上述盒体交接基板；基板处理部，其用于对基板实施处理；第二搬送机构，其具有相对上述第一搬送机构以及上述基板处理部可进退、并且以铅直轴为中心可旋转的第二基板保持手部，用于通过该第二基板保持手部对上述第一搬送机构以及上述基板处理部交接基板；移动机构，其用于沿盒体的排列方向使上述第一搬送机构移动；控制单元，其在上述第一搬送机构与多个盒体分别对置的位置，使在上述第一搬送机构和上述第二搬送机构之间的基板的交接进行。

公开(公告)号：CN100361274C

公开(公告)日：2008-01-09

申请号：CN200510091979.9

申请日：2005-08-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 奥野英治 ,  吉田武司

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  B08B3/02 ,  B05C11/00

CPC classification number: H01L21/68728 ,  H01L21/68778 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792 ,  Y10S134/902 ,  Y10T279/17231 ,  Y10T279/18

Abstract: 本装置涉及保持基板并使其旋转的基板保持旋转装置。该装置包括：旋转基座，其与旋转轴连接，以该旋转轴为中心进行旋转；挟持构件，其安装于上述旋转基座上，可在与基板的周缘部接触而能够挟持基板的挟持位置和从该挟持位置退避开的退避位置之间进行位移；挟持构件驱动机构，其用于在上述挟持位置和退避位置之间驱动该挟持构件；旋转限制机构，其与该挟持构件驱动机构联动，而在允许上述旋转基座的旋转的旋转允许状态和限制上述旋转基座的旋转的旋转限制状态之间进行变换。

公开(公告)号：CN1750233A

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN200510091979.9

申请日：2005-08-15

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 奥野英治 ,  吉田武司

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  B08B3/02 ,  B05C11/00

CPC classification number: H01L21/68728 ,  H01L21/68778 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792 ,  Y10S134/902 ,  Y10T279/17231 ,  Y10T279/18

Abstract: 本装置涉及保持基板并使其旋转的基板保持旋转装置。该装置包括：旋转基座，其与旋转轴连接，以该旋转轴为中心进行旋转；挟持构件，其安装于上述旋转基座上，可在与基板的周缘部接触而能够挟持基板的挟持位置和从该挟持位置退避开的退避位置之间进行位移；挟持构件驱动机构，其用于在上述挟持位置和退避位置之间驱动该挟持构件；旋转限制机构，其与该挟持构件驱动机构联动，而在允许上述旋转基座的旋转的旋转允许状态和限制上述旋转基座的旋转的旋转限制状态之间进行变换。