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公开(公告)号：CN102122079A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201110070648.2
申请日：2011-03-23
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种受激发射损耗显微镜中抑制光斑的生成方法和装置，该方法基于0/π四象限位相板聚焦，结合使用径向偏振光在显微物镜的焦点附近得到一个空心聚焦光斑，作为抑制光斑，用于脉冲或连续STED显微镜中的三维超分辨成像。该装置包括位于同轴光路上的激光器、空间光调制器、0/π四象限位相板和聚焦器件。该装置结构简单、成本低。
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公开(公告)号：CN102121818A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201010590386.8
申请日：2010-12-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种纳米分辨全反射差分微位移测量的方法和装置，装置包括激光器、单模光纤、准直透镜、偏振分光器、λ/4波片、显微物镜、被测靶镜、斜方棱镜、凸透镜、差分探测器、驱动与显示单元，方法包括：将激光滤波、准直、偏振分光后，依次透过快轴与垂直入射的光束偏振方向的夹角为45°的λ/4波片和显微物镜到达被测靶镜后被反射，并逆向返回后经过显微物镜和λ/4波片，再次垂直入射到偏振分光器，再进入斜方棱镜并在其内部发生全反射后出射，汇聚后入射到差分探测器进行处理，得到反映被测靶镜位置变化的信号，并显示被测靶镜的位置变化。本发明可进行纳米分辨率的检测，广泛应用于工业精密测量与监测领域中。
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公开(公告)号：CN119901754A
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202510345084.0
申请日：2025-03-24
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01N21/95 , G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/096 , G06N3/045
Abstract: 本发明公开一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括：双光梳光源模块、空间编码照明模块、时间编程控制模块、信号采集处理模块及数据分析处理模块，数据分析处理模块接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并进行分析，提取缺陷相关特征，建立光谱特征与缺陷之间的映射关系，对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类和位置信息。本发明采用基于双光梳时空编码的晶圆缺陷检测技术，利用双光梳干涉技术实现快速扫描和并行探测，大幅提高检测效率，本发明能够获得晶圆表面的绝对距离信息，将此结果反馈给精密气浮运动平台可以省去自动对焦光路系统及反馈控制部分，提高检测效率，降低整个晶圆检测系统的体积、复杂度和成本。
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公开(公告)号：CN119738999A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411991173.4
申请日：2024-12-31
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F1/44 , G02B26/12 , G02B21/00 , G01N21/956 , G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于高灵敏探测模块的多光束共焦掩模版缺陷检测系统与方法，本发明基于微透镜阵列实现对探测所得艾里斑的分割，并利用光纤分别将对应信号传输至光电倍增管进行探测，微透镜阵列、光纤及光电倍增管共同组成高灵敏探测模块实现对掩模版缺陷的准确检测。相较于传统的仅使用光电倍增管的探测方式，本发明摆脱了传统探测方法对单侧照明方式及楔形分光器件的依赖，具有检测分辨率更高，检测结果更加准确以及缺陷形貌判断更加准确等优势。
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公开(公告)号：CN119642744A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510163756.6
申请日：2025-02-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/27 , G06T7/73 , G06V10/774 , G06V10/82 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调方法，采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，分离各个光学组件的光学轴空间位姿，并将各个光学轴的空间位姿信息反映到干涉图中；结合基于深度学习的失调量参数解算方法，可以快速迭代、反馈光学组件的失调量，进而完成同轴光学组件的快速装调。本发明的优点在于采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，在保证测量精度的同时，可以分离出各个光学组件的光学轴空间位姿信息；通过深度学习神经网络模型分析光学轴空间位姿与失调量之间的映射关系，提高空间位姿解算、迭代效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119596647A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411891856.2
申请日：2024-12-20
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开基于圆采样函数分解叠加瞳移矩阵的光刻仿真方法及系统，方法包括：对扩展光源的形状函数及光瞳函数进行采样，得到相应的叠加瞳移矩阵；将叠加瞳移矩阵、扩展光源及光瞳面的频域圆采样函数矩阵进行处理，得到频域交叉传输系数矩阵并得到投影矩阵；将投影矩阵进行奇异值分解处理，得到奇异值分解结果；基于奇异向量对空间域圆采样函数矩阵进行处理，得到卷积核矩阵；基于奇异值分解结果、卷积核矩阵和初始霍普金斯模型，构建空间域图像仿真模型；基于空间域图像仿真模型，得到空间域图像仿真结果。本发明利用叠加瞳移矩阵方法和解析圆采样函数分解，能够减少对TCC矩阵的直接计算和存储，显著降低获得核所需的计算消耗。
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公开(公告)号：CN118795737B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202410827223.9
申请日：2024-06-25
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于电光高速移相的干涉超分辨光刻系统和方法，该干涉超分辨光刻系统通过分别对两束相位调控后的激光进行偏振方向调控，使得两束激光的偏振方向相同，以保证最高对比度的干涉条纹，减少干涉条纹图案中的伪影，并通过对偏振方向相同的两束激光束的径向相对位置进行调控，从而能够实现对干涉条纹周期方向的灵活调控；本发明还通过对分束的两束激光的相位差进行调控，从而实现对干涉条纹的位置进行灵活调控；基于对干涉条纹的周期方向和位置的灵活调控，从而能够灵活实现各类微结构表面形貌和排列。
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公开(公告)号：CN119310726A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411759308.4
申请日：2024-12-03
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明公开了一种非线性焦点调制显微成像装置及方法，涉及显微成像技术领域。包括照明系统、探测系统和计算机，照明系统包括依次设置的激光器、电光调制模块、相位调制模块和荧光探测模块，激光器用于发出功率足够使荧光分子的响应产生非线性饱和效应的激光光束，电光调制模块快速转换激光光束的偏振状态，相位调制模块对线偏振光进行相位调制，形成照明样品并激发荧光信号的光斑，荧光探测模块，对荧光信号进行处理得到饱和实心光斑和空心光斑的扫描结果。本发明能够简化光学系统，减少样品运动和系统不稳定可能带来的噪声和差分操作后可能引入的伪像，提升成像质量和信噪比。
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公开(公告)号：CN118671956B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202411141311.X
申请日：2024-08-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种集成量子隧穿传感的单分子等离激元光镊系统，该系统包括用于激发隧穿电极探针局域表面等离激元共振的激发光模块，用于照明成像视场的照明模块，用于观测隧穿电极探针在待测溶液中的位置、定位隧穿电极探针的尖端纳米电极对所在焦平面的成像模块，用于单分子量子隧穿信号探测的电学检测模块。隧穿电极探针的尖端具有纳米电极对，且两个电极的间隙满足使得探针具有量子隧穿效应，电极的材料满足能够产生等离激元共振效应。本发明使用具有量子隧穿传感功能的纳米电极探针作为等离激元光镊操纵平台，可以实现亚5纳米尺度下的单分子的同步光学捕获与实时测量。
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公开(公告)号：CN118671956A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202411141311.X
申请日：2024-08-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种集成量子隧穿传感的单分子等离激元光镊系统，该系统包括用于激发隧穿电极探针局域表面等离激元共振的激发光模块，用于照明成像视场的照明模块，用于观测隧穿电极探针在待测溶液中的位置、定位隧穿电极探针的尖端纳米电极对所在焦平面的成像模块，用于单分子量子隧穿信号探测的电学检测模块。隧穿电极探针的尖端具有纳米电极对，且两个电极的间隙满足使得探针具有量子隧穿效应，电极的材料满足能够产生等离激元共振效应。本发明使用具有量子隧穿传感功能的纳米电极探针作为等离激元光镊操纵平台，可以实现亚5纳米尺度下的单分子的同步光学捕获与实时测量。
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