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公开(公告)号：CN101563601A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200680055975.8
申请日：2006-10-08
Applicant: 华瑞科学仪器(上海)有限公司
IPC: G01N27/66
Abstract: 一种用于检测气体浓度的光离子化传感器及其检测方法。所述检测器包含第一偏置电极和第一测量电极。第一偏置电极与第一偏置电路相连，用于吸收具有一种电荷符号的粒子，第一测量电极与第一测量电路相连，用于吸收具有相反电荷符号的粒子。紫外线灯内惰性气体的成份、光学窗口的材料以及第一测量电极和第一偏置电极中低电位电极的材料被选择成，使得由紫外线灯产生并透过光学窗口的紫外光在射入到低电位电极的表面时产生光电效应，并且驱动电极对紫外线灯施加足够大的高压交流信号，以便从低电位电极的表面溢出的电子数量足以与堆积在低电位电极附近三维空间内的正离子复合，消除因正离子堆积而引起的浓度测量饱和现象。
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公开(公告)号：CN101006339A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200480043755.4
申请日：2004-08-06
Applicant: 华瑞科学仪器(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供了一种一体化的光离子化传感器(10)，它不仅包括离子化室(36)、紫外线灯(32)、驱动电极(40，42)、离子检测器(48)，还包括灯驱动电路(44)、偏置电路(54)等通用电路。本发明的光离子化传感器包括一支撑件(230)，将外壳内的空间分割成两个部分。前述检测元件位于一个部分内，而通用电路被集成在电路板(95)上，位于另一部分内。本发明对电路板所处的空间灌封闭粘结剂，使其避免与外界接触。本发明为传感器外壳的顶盖设计了单个大圆孔、栅状和网状通气窗口，使得传感器既适用于气泵抽运模式，又适用于气体扩散模式。同时，特殊的通气窗口允许在不拆卸传感器的情况下，无需使用气泵，便能清除UV灯(32)的光学窗口(34)上的污染。本发明还在电路板上集成了光敏传感器(20)，以便在不拆卸传感器的情况下了解UV灯(32)的工作情况。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106404277A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610282044.7
申请日：2009-09-11
Applicant: MKS仪器公司
Inventor： 赖利·K·卡麦可 , 杰西·A·韦伯 , 约翰·H·亨利 , 麦可·N·史考特 , 葛拉多·A·布鲁克尔 , 肯尼斯·D·凡安特卫普
IPC: G01L21/32
Abstract: 一种测量压力的电离计，其具有发射电子的电子源，和界定电离空间的阳极。所述电离计还包含集极电极，用以收集由所述电子与气体之间的碰撞而形成的离子且基于所述收集的离子而测量压力。依据压力和压力除外的第二参数，在多个发射电平之间动态地改变所述电子源的发射电流。所述电离计还可根据存储在非易失性存储器中并由用户选择的参数来改变电离计组件的各种操作参数。
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公开(公告)号：CN101726390B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN200910206302.3
申请日：2009-10-13
Applicant: 安立世公司
Abstract: 本发明涉及用于电离真空计的分子屏。本发明公开了一种用于测量真空中气体密度的系统，其包括量计、用于容纳量计的壳体以及紧固到壳体外表面上的磁体。磁体是柔性磁条，且布置在壳体的外表面周围。量计包括沿着壳体的管段纵向延伸的栅极绝缘体杆，磁体紧固到邻近栅极绝缘体杆的壳体的外表面上并沿栅极绝缘体杆的横向定向。磁体是柔性磁条，且夹具将磁体紧固到壳体的外表面上。
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公开(公告)号：CN102159929A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200980137098.2
申请日：2009-09-11
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 赖利·K·卡麦可 , 杰西·A·韦伯 , 约翰·H·亨利 , 麦可·N·史考特 , 葛拉多·A·布鲁克尔 , 肯尼斯·D·凡安特卫普
IPC: G01L21/30
Abstract: 一种测量压力的电离计，其具有发射电子的电子源，和界定电离空间的阳极。所述电离计还包含集极电极，用以收集由所述电子与气体之间的碰撞而形成的离子且基于所述收集的离子而测量压力。依据压力和压力除外的第二参数，在多个发射电平之间动态地改变所述电子源的发射电流。所述电离计还可根据存储在非易失性存储器中并由用户选择的参数来改变电离计组件的各种操作参数。
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公开(公告)号：CN101990630A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200980112555.2
申请日：2009-02-19
Applicant: 布鲁克机械公司
Inventor： 葛拉多·A··布鲁克尔
Abstract: 一种用以测量压力和减少溅射产量的电离计包括产生电子的至少一个电子源。所述电离计还包括收集由所述电子与气体分子之间的碰撞所形成的离子的集极电极。所述电离计还包括阳极。相对于集极电极的偏置电压的阳极偏置电压经配置以在预定压力下切换以使溅射碰撞的产量减小。
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公开(公告)号：CN101627302A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP 1 及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP 2 ，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP 1 ；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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