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公开(公告)号：CN109186638A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811210146.3
申请日：2018-10-17
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺，差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接，信号输出端与电流积分器的信号输入端连接，电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接，跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接，加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接并与采样电阻的一端连接，V/I转换器的信号输出端输出目标信号，采样电阻的另一端接地。本发明可实现加速度计输出电流标度因数自主控制，采用厚膜混合集成电路工艺制造电路，金属外壳采用平行封焊工艺实现气密性封装，使电路具有更高可靠性，更优散热性能。
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公开(公告)号：CN113063964B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202110310726.5
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种温度补偿型石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，电路中差动电容转换器的输入端连接石英表头中差动传感器的输出端，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接加法器的输入端；温度传感器的输出端连接多项式发生器的输入端，多项式发生器的输出端连接加法器的另一输入端；加法器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端连接石英表头中力矩器线圈的输入端连接，跨导/补偿放大器的输出端连接反馈网络的输入端，反馈网络的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端。可实现对石英挠性加速度计零偏、标度因数等进行综合补偿。
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公开(公告)号：CN112394195B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202011270496.6
申请日：2020-11-13
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计伺服电路及组装方法，属于微电子领域。本发明的石英挠性加速度计伺服电路，将石英挠性加速度计伺服电路传感器表头之间的导线连接变为弹性插针微矩形连接器连接，石英挠性加速度计伺服电路不再需要预留贯穿孔，解决了传统石英挠性加速度计伺服电路在与石英挠性加速度计表头装配过程操作繁琐，气密性差的问题，提高生产效率和可靠性。针对石英挠性加速度计表头的端口，设计与之匹配的弹性插针微矩形连接器、插孔位置；本发明的石英挠性加速度计伺服电路基板，满足电连接器与电路基板的电连接；石英挠性加速度计伺服电路外壳，满足弹性插针微矩形连接器的安装。
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公开(公告)号：CN115327166A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211085084.4
申请日：2022-09-06
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01C21/16
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的数字输出型加速度计及其制造方法，由加速度敏感单元采集加速度信号，将其转换为差动电容信号，并传递至差动电容检测单元，差动电容检测单元将差动电容信号转换为电压信号，传递至模数转换单元，模数转换单元将电压信号转换为加速度数字信号，输入至微处理器单元；温度补偿单元采集温度数据，将其转换为温度数字信号输入至微处理器单元；微处理器单元对加速度数字信号和温度数字信号进行非线性拟合处理，输出数字信号。通过一体化集成各单元模块，其中微处理器单元对加速度数字信号和温度数字信号进行非线性拟合校准，对温度漂移和高阶非线性度进行校准补偿，能够实现高精度信号处理，提高加速度计的检测精度。
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公开(公告)号：CN114994349A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210630594.9
申请日：2022-06-06
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P1/02 , G01P1/00 , G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种全密封型石英挠性加速度计的伺服控制电路及封装结构，封装结构包括多层陶瓷基板，多层陶瓷基板为一体化结构，多层陶瓷基板上布置有伺服控制电路；多层陶瓷基板外围焊接一个圆形金属围框，圆形金属围框与石英表头对接装配；多层陶瓷基板内侧设置矩形金属密封环，矩形金属密封环另一端设置矩形金属盖板；多层陶瓷基板的外侧设置基板连接焊盘，基板连接焊盘上设置菱形陶瓷盖板。通过上述封装方式，能较好的密封保护伺服控制电路，避免了潮湿环境造成裸芯片、硅基NiCr薄膜电阻块与片式阻容元件腐蚀失效的风险，可极大程度提高石英挠性加速度计伺服控制电路长期可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113063965A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110310728.4
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，伺服电路包括差动电容转换器、电流积分器、前置放大器、跨导/补偿放大器、反馈网络和电源升压转换模块；差动电容转换器的输入端与石英挠性加速度计中石英表头的差动电容传感器输出端连接，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接前置放大器的输入端，前置放大器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端分别连接反馈网络的输入端和石英挠性加速度计中石英表头的力矩器线圈4输入端，反馈网络的输出端连接前置放大器的输入端；电源升压转换模块用于将外接电源升压变换后为跨导/补偿放大器供电。
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公开(公告)号：CN113009182A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110217355.6
申请日：2021-02-26
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一体式零偏可调加速度计伺服电路及其制作方法和应用，属于半导体混合集成技术领域，传感器表头由力矩器、摆组件动力学、差动电容传感器组成；伺服电路系统主要由差动电容电压转换器、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块等组成。伺服电路功能由线性稳压电源、基准三角波发生器、差动电容检测器、积分网络、跨导补偿放大器、反馈网络、零偏补偿模块实现，可实现对加速度计输出零位修正，在输出级完成了对伺服电路输出电流的零偏补偿，有效减小加速度计的零偏，提高了加速度计伺服电路输出精度。同时，利用激光缝焊实现伺服电路与加速度计传感器表头一体式全密封封装，提高了加速度计的密封可靠性。
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公开(公告)号：CN113063965B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202110310728.4
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，伺服电路包括差动电容转换器、电流积分器、前置放大器、跨导/补偿放大器、反馈网络和电源升压转换模块；差动电容转换器的输入端与石英挠性加速度计中石英表头的差动电容传感器输出端连接，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接前置放大器的输入端，前置放大器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端分别连接反馈网络的输入端和石英挠性加速度计中石英表头的力矩器线圈4输入端，反馈网络的输出端连接前置放大器的输入端；电源升压转换模块用于将外接电源升压变换后为跨导/补偿放大器供电。
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公开(公告)号：CN113063964A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110310726.5
申请日：2021-03-23
Applicant: 西安微电子技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了一种温度补偿型石英挠性加速度计伺服电路及石英挠性加速度计，电路中差动电容转换器的输入端连接石英表头中差动传感器的输出端，差动电容转换器的输出端连接电流积分器的输入端，电流积分器的输出端连接加法器的输入端；温度传感器的输出端连接多项式发生器的输入端，多项式发生器的输出端连接加法器的另一输入端；加法器的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端，跨导/补偿放大器的输出端连接石英表头中力矩器线圈的输入端连接，跨导/补偿放大器的输出端连接反馈网络的输入端，反馈网络的输出端连接跨导/补偿放大器的输入端。可实现对石英挠性加速度计零偏、标度因数等进行综合补偿。
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公开(公告)号：CN112180119A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011034217.6
申请日：2020-09-27
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种石英挠性加速度计、伺服电路及加速度信号转换方法，差动电容转换器与石英表头中的差动电容信号连接，差动电容转换器信号与电流积分器的信号连接；电流积分器的信号输出端同时与跨导/补偿放大器的信号输入端以及阻容反馈网络的信号连接；跨导/补偿放大器的一端与石英表头的力矩器连接，另一端与阻容反馈网络连接；石英表头力矩器与精密采样电阻一端连接，精密采样电阻的另一端连接模拟信号地线；力矩器与巴特沃兹低通滤波器连接，巴特沃兹低通滤波器与A/D转换器连接，A/D转换器的数字信号与伺服电路相连。提升信号处理的速率，减小了功耗并且可以缩小体积，拓展整个导航系统的内部空间。
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