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公开(公告)号:CN102353609A
公开(公告)日:2012-02-15
申请号:CN201110156059.6
申请日:2011-06-10
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供了一种具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法,在梯形硅微悬臂梁芯片正面设置于两个关于梯形硅微悬臂梁芯片中心线对称的惠斯通全桥,其中一个惠斯通全桥位于梯形硅微悬臂梁芯片的固定端,另一个惠斯通全桥位于梯形硅微悬臂梁芯片的振动端,本发明可以显著减小传统基于振动悬臂梁的流体密度传感器的系统误差。
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公开(公告)号:CN102320552A
公开(公告)日:2012-01-18
申请号:CN201110156117.5
申请日:2011-06-10
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于注氧隔离技术的黏度传感器芯片的制备方法,本发明所述芯片的硅微悬臂梁厚度具有易控制以及均匀一致性的特点,并且解决了拾振电阻压阻效应较低的问题,同时,由该芯片封装而成的传感器可以应用在高温场合下;该MEMS黏度传感器黏度测量范围为1mPa·s~100mPa·s、精度优于±10%FS,可以实现在静压值小于100MPa、环境温度-20℃~200℃下在线和小样品量的测量。
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公开(公告)号:CN115175543A
公开(公告)日:2022-10-11
申请号:CN202210983005.5
申请日:2022-08-16
Applicant: 西安交通大学
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明公开的一种数据中心耦合冷却系统及其运行方法,属于节能技术领域。主要包括新风预滤器、天空辐射制冷模块、混风单元、末端过滤器、加湿器、蒸汽压缩制冷模块、冷通道封闭系统。将天空辐射制冷模块集成在数据中心新风冷却系统中,同时设计了各种气象条件下的耦合运行方法;通过天空辐射制冷模块、室外新风以及风冷冷水机组获取冷量,基于室外空气参数、数据中心设计参数和天空辐射制冷模块冷却潜力形成多种工作模式,在自然冷源可用时采用完全或部分自然冷却,机械冷源作为补充,确保符合送风温湿度要求;在有效降低机房制冷能耗和水耗,最大程度利用自然冷源的同时保证了该系统在原新风系统上进行改造的可行性和经济性。
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公开(公告)号:CN114071954A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202111257248.2
申请日:2021-10-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明公开的一种集装箱数据中心冷却系统及其运行策略,属于节能技术领域。包括箱体内水冷循环模块、新风自然冷却模块、热水罐、天空辐射制冷模块、水侧自然冷却模块、冷水罐、蒸汽压缩制冷模块、蓄水箱、第一电磁三通阀、第二电磁三通阀、第一三通接头和第二三通接头。本发明将天空辐射制冷技术结合至集装箱数据中心冷却系统中,考虑了多种冷源耦合情况,对集装箱数据中心冷却系统广域全天候应用进行了科学的集成优化设计,并通过加装温度传感器、流量计、阀门和旁通管道,实时监测运行状况并根据系统内外参数灵活切换冷却模式,充分利用自然冷源,降低制冷能耗,提升能源经济效益。同时,保证集装箱数据中心的灵活移动和快速建设安装能力。
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公开(公告)号:CN103219862B
公开(公告)日:2015-08-26
申请号:CN201310121916.8
申请日:2013-04-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02K35/04
Abstract: 本发明提供了一种噪声发电装置及由其组成的噪声发电设备,包括一端开口的声波收集管,声波收集管的开口处密封有隔气透音薄膜,声波收集管的开口端还设置有喇叭状入口,声波收集管4外侧设置有一端与喇叭状入口1相连,另一端与声波收集管4封闭端相连的隔音板,隔音板与声波收集管侧面的外壁间形成一空腔,声波收集管侧面上安装有沿轴向均匀排布的若干列声电转换单元,声电转换单元包括带有共鸣腔的亥姆霍兹共鸣器和与亥姆霍兹共鸣器相连的声电转换器,声电转换器包括设置于共鸣腔末端空腔中的振动膜,振动膜通过连杆与线圈相连,线圈套设于磁极上,磁极设置于隔音板上;线圈通过集电流线与输出总线相连,实现了将噪声蕴含的机械能转化成电能。
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公开(公告)号:CN102520012B
公开(公告)日:2014-01-29
申请号:CN201110401838.8
申请日:2011-12-06
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热扩散率传感器芯片及其制备方法,传感器芯片包括沉积在SOI晶片上表面的二氧化硅隔离层、淀积在二氧化硅隔离层上表面并经刻蚀后形成的加热器以及温度传感器、以及淀积在二氧化硅隔离层上表面、加热器上表面以及温度传感器上表面的氮化硅保护层,其中,所述SOI晶片的下表面自下表面向上刻蚀有绝热腔,所述加热器位于二氧化硅隔离层上表面的中心位置,所述温度传感器均匀分布在以加热器为中心的径向上。本发明传感器芯片仅需几微升的样品液体即可在几十秒内完成测量流体导热系数的测量,并且可在很大温度范围内实现测量。
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公开(公告)号:CN102520012A
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN201110401838.8
申请日:2011-12-06
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于MEMS技术的热扩散率传感器芯片及其制备方法,传感器芯片包括沉积在SOI晶片上表面的二氧化硅隔离层、淀积在二氧化硅隔离层上表面并经刻蚀后形成的加热器以及温度传感器、以及淀积在二氧化硅隔离层上表面、加热器上表面以及温度传感器上表面的氮化硅保护层,其中,所述SOI晶片的下表面自下表面向上刻蚀有绝热腔,所述加热器位于二氧化硅隔离层上表面的中心位置,所述温度传感器均匀分布在以加热器为中心的径向上。本发明传感器芯片仅需几微升的样品液体即可在几十秒内完成测量流体导热系数的测量,并且可在很大温度范围内实现测量。
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公开(公告)号:CN114992071B
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202210668216.X
申请日:2022-06-14
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开的一种冷热电联供系统及其工作方法,属于能源利用技术领域。包括S‑CO2加热器、S‑CO2膨胀机、第一发电机、第一回热器、热交换器、第一Kalina发生器、压缩机、电动机、第二Kalina发生器、预冷器、气液分离器、Kalina膨胀机、第二发电机、混合器、冷凝器、第二回热器、第一节流阀、喷射器、第二节流阀和蒸发器。被太阳能加热的传热工质先驱动S‑CO2发电及供热模块,然后利用其余热驱动Kalina发电及制冷模块,能够实现热能梯级利用,并提高能量利用效率;并且可实现在发电的同时满足夏季制冷以及冬季供热需求;同时系统简单而灵活,可满足不同的用户需求。
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公开(公告)号:CN114071954B
公开(公告)日:2022-08-09
申请号:CN202111257248.2
申请日:2021-10-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明公开的一种集装箱数据中心冷却系统及其运行方法,属于节能技术领域。包括箱体内水冷循环模块、新风自然冷却模块、热水罐、天空辐射制冷模块、水侧自然冷却模块、冷水罐、蒸汽压缩制冷模块、蓄水箱、第一电磁三通阀、第二电磁三通阀、第一三通接头和第二三通接头。本发明将天空辐射制冷技术结合至集装箱数据中心冷却系统中,考虑了多种冷源耦合情况,对集装箱数据中心冷却系统广域全天候应用进行了科学的集成优化设计,并通过加装温度传感器、流量计、阀门和旁通管道,实时监测运行状况并根据系统内外参数灵活切换冷却模式,充分利用自然冷源,降低制冷能耗,提升能源经济效益。同时,保证集装箱数据中心的灵活移动和快速建设安装能力。
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