高密度和耐用的半导体器件互连

    公开(公告)号:CN115732448A

    公开(公告)日:2023-03-03

    申请号:CN202211061177.3

    申请日:2022-09-01

    Abstract: 本文公开了高密度和耐用的半导体器件互连。一种形成半导体器件的方法,包括:提供包括管芯附接焊盘的载体;提供半导体管芯,该半导体管芯包括设置在半导体管芯的主表面上的接合焊盘;以及提供金属互连元件;将半导体管芯布置在管芯附接焊盘上,使得接合焊盘背离管芯附接焊盘;以及将金属互连元件熔焊到接合焊盘,其中,接合焊盘包括第一金属层和第二金属层,其中,第二金属层设置在第一金属层和半导体管芯的半导体本体之间,其中,第一金属层的厚度大于第二金属层的厚度,并且其中,第一金属层具有与第二金属层不同的金属成分。

    用于电连接电子模块和电子组件的方法

    公开(公告)号:CN108963476B

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN201810467271.6

    申请日:2018-05-16

    Abstract: 在一种方法中,提供了具有电端子的电子模块和具有接触孔的电部件。电端子具有压配区段,该压配区段包括以下合金之一:CuFeP;CuZr;CuCrZr;CuMg;CuCrTiSi;CuCrAgFeTiSi;CuNiSiMg。压配区段被压入接触孔中,使得压配区段塑性变形,并且与电部件既机械接触又电接触。电子组件具有电子模块和电部件。电子模块具有电端子,电端子具有压配区段。压配区段包括以下合金中的至少一种:CuFeP;CuZr;CuCrZr;CuMg;CuCrTiSi;CuCrAgFeTiSi;CuNiSiMg。电部件具有接触孔。电子组件包括在压配区段和电部件之间的压配连接。在该压配连接中,压配区段与电部件既机械接触又电接触。

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