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公开(公告)号：CN108827471A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810373028.8
申请日：2018-04-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及光谱检测设备领域，公开了一种衍射元件、高分辨率光谱仪及光谱检测方法。待测光源通过准直透镜平行入射到所述光谱仪的衍射元件上，所述衍射元件由多个衍射光栅单元构成，所述衍射光栅单元的刻痕密度分布和/或刻痕倾斜方向不同，待测光经过所述衍射元件后发生无规则散射，通过图像传感器记录待测光在零级衍射处和一级衍射处的散斑图案，再由光谱分析系统将所述散斑图案与波长-散斑图案标准库进行比对，反推出待测光的光谱数据。本发明的光谱仪结构简单、具有高分辨率，并且人为可控、可进行批量生产，同时使用该光谱仪进行光谱检测误差小、操作简单，具有广泛的应用价值。
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公开(公告)号：CN107966276A
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201711205141.7
申请日：2017-11-27
Applicant: 苏州大学
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种大面积宽带光栅衍射效率的测量方法及装置，包括半导体激光器、斩波器、检测光系统、参考光系统和光电探测装置；该装置采用了双光路检测和斩波器将多个波长的半导体激光光源入射到宽带光栅表面，检测光系统采集-1级衍射光，并通过二维扫描大面积宽带光栅，完成整个待测大面积宽带光栅表面的衍射效率的测量，抑制激光器功率漂移和环境背景光干扰，同时大大提高了检测效率。
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公开(公告)号：CN110044482B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN201910440862.9
申请日：2019-05-24
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种基于反射式随机衍射片的光谱测量装置及测试方法，包括反射式随机衍射片，反射式随机衍射片包括基板和镀反射膜的衍射光栅单元；准直聚焦元件，其位于反射式随机衍射片的一侧，入射光经准直聚焦元件变为平行光照射在反射式随机衍射片上，经反射式随机衍射片反射获得零级衍射光和一级衍射光，零级光经准直聚焦元件后会聚，一级衍射光经准直聚焦元件后形成散斑图案；光探测器，其位于准直聚焦元件远离反射式随机衍射片的一侧，光探测器用于接收散斑图案。该装置光谱分辨率高、光能利用率高，结构紧凑，体积小。
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公开(公告)号：CN111065968B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN201880004942.3
申请日：2018-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 公开了一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法，属于信息光学领域，为解决制作平行等间距条纹全息光栅时曝光光束平行度差的技术问题。全息光栅光刻系统中，在准直透镜(9,10)的后方放置体布拉格光栅(13,16)的布拉格角，在曝光光束入射至体布拉格光栅(13,16)后的‑1级透射衍射光路上放置光电探测器(14,15)。全息光栅光刻系统干涉光路自准直的调节方法包括沿着光轴前后移动针孔滤波器(7,8)，实时观察光电探测器(14,15)的读数，当光电探测器(14,15)的读数最大时，固定针孔滤波器(7,8)并且保持第一针孔滤波器(7)与第一准直透镜(9)间距恒定。利用体布拉格光栅来检测自准直光的平行度，代替传统的莫尔条纹调节方法，操作简单，具有很强的实用价值。
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公开(公告)号：CN109597157B
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN201910092457.2
申请日：2019-01-30
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种衍射效率渐变的光栅耦合器制备装置和制备方法，包括：离子束发生器，其发出离子束以刻蚀光栅；挡板，其位于所述离子束发生器的下侧，所述挡板上开设有通孔；沿x方向，所述通孔在y方向的宽度渐变；样品台，其位于所述挡板下侧，所述样品台用于放置样品，所述样品为光栅基板，所述光栅基板上设置有光栅掩膜；动力组件，其驱动所述样品台或所述挡板沿y方向匀速运动；其中，x方向和y方向为水平面上相互垂直的方向；所述动力组件驱动所述样品与所述通孔在y方向发生相对移动，所述离子束经所述通孔在样品上刻蚀出槽深渐变的光栅。其能够刻蚀衍射效率渐变的光栅，精度高，便于实施。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN109597157A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201910092457.2
申请日：2019-01-30
Applicant: 苏州大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种衍射效率渐变的光栅耦合器制备装置和制备方法，包括：离子束发生器，其发出离子束以刻蚀光栅；挡板，其位于所述离子束发生器的下侧，所述挡板上开设有通孔；沿x方向，所述通孔在y方向的宽度渐变；样品台，其位于所述挡板下侧，所述样品台用于放置样品，所述样品为光栅基板，所述光栅基板上设置有光栅掩膜；动力组件，其驱动所述样品台或所述挡板沿y方向匀速运动；其中，x方向和y方向为水平面上相互垂直的方向；所述动力组件驱动所述样品与所述通孔在y方向发生相对移动，所述离子束经所述通孔在样品上刻蚀出槽深渐变的光栅。其能够刻蚀衍射效率渐变的光栅，精度高，便于实施。
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公开(公告)号：CN106292200B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201610829203.0
申请日：2016-09-19
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种制作表面拉曼增强基底的方法与光刻系统，利用两束相干光产生干涉，在光刻胶表面记录相干光的干涉条纹，通过控制两束光的角度，精密控制光栅的周期；再通过实时显影在光刻胶表面形成浮雕型的光栅；最后在光栅表面用镀膜设备镀一层表面增强拉曼散射金属活性层。解决了用简单的方法与设备来得到大面积周期性表面拉曼增强基底的技术难题。
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公开(公告)号：CN105067114B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201510424163.7
申请日：2015-07-17
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种用于拉曼光谱仪荧光抑制的多波长外腔激光发射装置，其特征在于通过电源切换电路连接并驱动二个以上的激光二极管独立通断，各激光二极管均通过相应的准直透镜输出准直光束，相邻的准直光束之间预设有夹角δ。这些准直光束最终均通过同一光栅衍射后以不同衍射角形成直接出射的输出光束和沿原路返回相应激光二极管内部参与谐振腔内部模式竞争的衍射光束；所述输出光束最后经光纤耦合透镜汇聚至光纤合路器进行波长输出。本发明采用电路切换波长输出，消除了常规机械调节的不可靠性和可能引入的误差，使得调谐结构更加简单稳固，保证了输出波长的高稳定性，实际操作时波长输出的重复性强，能够大大提高调谐精度。
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公开(公告)号：CN109632099B
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN201910087681.2
申请日：2019-01-29
Applicant: 苏州大学
IPC: G01J3/45
Abstract: 本发明公开了一种法布里‑珀罗干涉型成像光谱仪，包括依次设置的聚焦透镜、第一微透镜阵列、F‑P谐振腔、第二微透镜阵列和探测相机；目标物体放置在所述聚焦透镜一侧，目标物体发出的光经过所述聚焦透镜聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上；所述探测相机位于所述第二微透镜阵列的后焦面处；所述聚焦透镜将入射光聚焦在所述第一微透镜阵列的前焦面上，再通过所述第一微透镜阵列将入射光平行入射到所述F‑P谐振腔上，从所述F‑P谐振腔出射的平行光再入射到第二微透镜阵列上，最后所述第二微透镜阵列的出射光聚焦在所述探测相机上。其结构简单，分辨率高，精确度高，成像性能好。
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