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公开(公告)号:CN112703406A
公开(公告)日:2021-04-23
申请号:CN201980059746.0
申请日:2019-09-11
Applicant: 美国亚德诺半导体公司
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , B81B5/00
Abstract: 公开具有嵌入式可移动结构的Z‑轴跷跷板加速度计。跷跷板加速度计可以包括嵌入的质量,该嵌入的质量从跷跷板梁枢转或在平面外平移。可以将枢转的或平移的嵌入的质量定位以通过提供比跷跷板梁本身更大的z轴位移来增加z‑轴加速度计的灵敏度。