公开(公告)号：CN104904027A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201480004637.6

申请日：2014-01-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T.皮尔克 ,  A.克劳斯 ,  F.霍伊克 ,  S.莱迪希 ,  C.舍林

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/27 ,  H01L41/293

CPC classification number: H01L41/081 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0831 ,  H01L41/27 ,  H01L41/293 ,  H01L41/297 ,  Y10T29/43

Abstract: 本发明涉及一种多层电极系统以及一种用于制造多层电极系统（300）的方法。该方法包括：提供载体衬底（100）的步骤，所述载体衬底具有在所述载体衬底（100）的上侧（102）中的凹陷（104），其中凹陷（104）的至少一个壁被构造为相对于载体衬底（100）的与上侧（102）相对的下侧倾斜；以及将多层堆叠施加到载体衬底（100）的上侧（102）上的步骤，所述多层堆叠至少具有第一电极层、第二电极层、以及布置在第一电极层与第二电极层之间的压电体层，其中凹陷（104）的所述至少一个壁和底部被多层堆叠的至少一个片段覆盖，以便形成多层电极系统（300）。