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公开(公告)号：CN101051096B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200410079178.6
申请日：2004-09-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01P1/20381
Abstract: 一种光学可调滤光器，包括：第一衬底，其具有光传输特性，并包括可动部分；第二衬底，其具有光传输特性，并设置为与第一衬底相对；第一间隙和第二间隙，它们分别设置在可动部分和第二衬底之间；干涉部分，其通过第二间隙引起可动部分和第二衬底之间的入射光的干涉；以及驱动部分，用于利用第一间隙通过相对于第二衬底移动可动部分来改变第二间隙的距离。这使得有可能提供一种具有简单结构和较小尺寸的光学可调滤光器，这样的光学可调滤光器可通过简化的制造过程进行制造而不使用释放孔，并能实现可动部分的稳定驱动，以及一种用于制造这样的光学可调滤光器的方法。
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公开(公告)号：CN100468824C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200510009200.4
申请日：2002-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L21/0337 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L21/0332 , H01L27/3244 , H01L51/0011
Abstract: 本发明的课题是，提供一种对构成有机EL元件的像素的薄膜图形能以对应于高精细像素的精度成膜的掩模。根据本发明的一种掩模，用于在被成膜面上按照规定图形形成薄膜，具有对应于上述图形的开口部，其特征在于：该掩模由单晶硅构成，上述开口部的尺寸在掩模的厚度方向规定位置即边界位置处对应于上述图形的尺寸，从上述边界位置朝向两个掩模面比上述图形增大，从上述边界位置到各掩模面的距离不同。
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公开(公告)号：CN1289926C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410056345.5
申请日：2004-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105628975A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510808287.5
申请日：2015-11-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 纸透真一
IPC: G01P15/125 , G01P3/44
CPC classification number: G01P15/125 , B81B2203/051 , G01C19/5769 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , G01P3/44
Abstract: 本发明提供物理量传感器、电子设备以及移动体。所述物理量传感器能够容易地对传感器元件进行气密密封。本发明的物理量传感器(1)的特征在于，具备：元件片(3)；支承基板(2)，其一个面上配置有元件片(3)，且具有设置于所述一个面上的槽(24)；配线(43)，其被设置于槽中，并与元件片(3)电连接；盖基板(5)，其与一个面接合，并对元件片(3)进行收纳；密封材料(7)，其在槽(24)中的、盖基板(5)与支承基板(2)间的边界部(K)对槽(24)进行密封，且熔点低于支承基板(3)以及盖基板(5)的熔点或者软化点。
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公开(公告)号：CN105319392A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510455242.4
申请日：2015-07-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 纸透真一
CPC classification number: G01P15/125 , G01C19/5783 , G01P2015/0882 , H05K5/066
Abstract: 本发明提供一种尺寸精度优良，可靠性高的物理量传感器及其制造方法、电子设备及移动体。本发明的物理量传感器的制造方法包括：准备工序，准备支承基板(2)和密封基板(5)，支承基板(2)设置有陀螺传感器元件(3)以及加速度传感器元件(4)，密封基板(5)设置有在同一面上开放的凹部(51)以及凹部(52)，且具有与凹部(51)连通的贯穿孔(53)和与凹部(52)连通的贯穿孔(54)；接合工序，以将陀螺传感器元件(3)收纳于凹部(51)中并将加速度传感器元件(4)收纳于凹部(52)中的方式，将密封基板(5)接合在支承基板(2)上；密封工序，将熔点与支承基板(2)以及密封基板(5)的熔点或软化点相比较低的密封材料(6a、7a)填充于贯穿孔(53、54)中，而对凹部(51、52)进行密封。
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公开(公告)号：CN1289927C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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公开(公告)号：CN1642374A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN200510009200.4
申请日：2002-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L21/0337 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L21/0332 , H01L27/3244 , H01L51/0011
Abstract: 本发明的课题是，提供一种对构成有机EL元件的像素的薄膜图形能以对应于高精细像素的精度成膜的掩模。根据本发明的一种掩模，用于在被成膜面上按照规定图形形成薄膜，具有对应于上述图形的开口部，其特征在于：该掩模由单晶硅构成，上述开口部的尺寸在掩模的厚度方向规定位置即边界位置处对应于上述图形的尺寸，从上述边界位置朝向两个掩模面比上述图形增大，从上述边界位置到各掩模面的距离不同。
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公开(公告)号：CN1367636A
公开(公告)日：2002-09-04
申请号：CN02102774.9
申请日：2002-01-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H05B33/10 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0337 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L21/0332 , H01L27/3244 , H01L51/0011
Abstract: 本发明的课题是,提供一种对构成有机EL元件的像素的薄膜图形能以对应于高精细像素的精度成膜的掩模。采用面取向为(100)的硅晶片(单晶硅衬底)1,通过利用了与晶向有依赖性的各向异性湿法刻蚀,形成其壁面11a的面取向为(111)的贯通孔,作为对应于所形成的薄膜图形的开口部。
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