公开(公告)号：CN106970243A

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201710017386.0

申请日：2017-01-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 成瀬敦纪 ,  木暮翔太

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供电子装置、电子装置的制造方法以及物理量传感器，所述电子控制装置具有良好的温度特性。本发明的电子装置的特征在于，具备封装件(10)和功能元件，功能元件的侧面(124)经由粘合剂(40)而被固定于封装件(10)的内侧的侧壁上。

公开(公告)号：CN116953283A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310443987.3

申请日：2023-04-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 泷泽照夫 ,  木暮翔太

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明公开了惯性传感器及惯性计测装置，能够不使噪声特性恶化而容易地实施可动体的检查。惯性传感器包括：基体；设置于所述基体的传感器元件；以及覆盖所述传感器元件的盖体，所述传感器元件包括：固定部，固定于所述基体；可动体，能够以与所述基体水平的第一轴为摆动轴摆动；第一旋转弹簧及第二旋转弹簧，连接所述固定部和所述可动体；可动梳齿电极组，设置于所述可动体；固定梳齿电极组，与所述可动梳齿电极组相对，并设置于所述基体；第一检查用电极，设置于所述可动体；以及第二检查用电极，设置于所述基体或所述盖体，并且在俯视时与所述第一检查用电极重叠，在所述俯视时，在所述第一检查用电极设置有多个阻尼调整孔。

公开(公告)号：CN106970243B

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201710017386.0

申请日：2017-01-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 成瀬敦纪 ,  木暮翔太

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供电子装置、电子装置的制造方法以及物理量传感器，所述电子控制装置具有良好的温度特性。本发明的电子装置的特征在于，具备封装件(10)和功能元件，功能元件的侧面(124)经由粘合剂(40)而被固定于封装件(10)的内侧的侧壁上。

公开(公告)号：CN106338297A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610514596.6

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟 ,  木暮翔太

IPC: G01D5/24 ,  G01P15/125 ,  G01P3/44

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01D5/24 ,  G01P3/44

Abstract: 本发明提供一种具有优异的特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备：可动质量部(32)，其具有：具有与第一固定电极部(213a)对置的部分的第一可动电极部(322a)；以及具有与第二固定电极部(213b)对置的部分的第二可动电极部(322b)，可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)及第二固定电极侧固定部(21b)的形状；第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)，它们经由第一弹性部(33a)以及第二弹性部(33b)而对可动质量部(32)进行支承，并且在俯视观察时被配置在可动质量部(32)的外侧。

公开(公告)号：CN104515870A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410525098.2

申请日：2014-10-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P1/003 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0874

Abstract: 本发明提供物理量检测元件、以及物理量检测装置、电子设备、移动体。物理量检测元件具备：基板；第一固定电极部以及第二固定电极部，其被设置于所述基板上；可动体，其被设置于所述基板的上方；梁，其被设置于所述可动体上，在所述可动体的、相对于所述梁的一方设置有第一可动体，在相对于梁的另外一方设置有第二可动体，第一可动体包括第一可动电极部和第一质量部，所述第一可动电极部与所述第一固定电极部对置，所述第一质量部从所述第一可动电极部起被配置于与所述梁相反的方向上，所述第二可动体包括与所述第二固定电极部对置的第二可动电极部，第一可动体(20a)的质量重于第二可动体(20b)的质量，第一质量部(23)的质量重于第一可动电极部(21)的质量。