公开(公告)号：CN104949666B

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201510130881.3

申请日：2015-03-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  山口啓一 ,  松尾敦司 ,  市川史生

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5649

CPC classification number: G01L1/162 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5621 ,  G01L1/106 ,  H01L41/094

Abstract: 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。

公开(公告)号：CN103424109B

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：CN201310185370.2

申请日：2013-05-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/5628

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C25/00 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明实现了一种对振动臂的振动泄漏进行抑制的振动片。振动片(1)具备：基部(11)；振动臂(20、30)，其从基部起进行延伸；第一驱动部(20a)、第二驱动部(30a)以及第一检测部(20b)、第二检测部(30b)，其被分别设置在振动臂(20、30)上；调节臂(40、50)，其以与振动臂(20、30)并行的方式而从基部(11)起进行延伸；第一调节部(40a)、第二调节部(50a)，其被设置在调节臂(40、50)各自的第一主面(12)上，在第一调节部和第二调节部中，在第一主面(12)上，层压形成有第一电极(60)、压电体层(41、42、51、52)和调节用电极(43、44、53、54)，第一调节部(40a)、第二调节部(50a)的输出信号相对于在振动臂(20、30)上未施加有角速度时由第一检测部(20b)、第二检测部（30b)产生的电荷为反相。

公开(公告)号：CN104836545A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201510057110.6

申请日：2015-02-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: H03H9/21 ,  H03H9/02 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明提供一种振动元件及其制造方法、电子装置、电子设备、移动体。作为抑制倾斜振动等不需要的振动的产生且具有较高的Q值的振动元件的制造方法，包括：其在基板(100)上设置第一保护层(34)和第二保护层(36)的工序；在具备干蚀刻用的能量线射出部的装置上配置基板的工序；利用从能量线射出部射出的能量线，对如下的基板进行蚀刻的工序，所述基板为，在俯视观察基板时相对于能量线射出部的中心与基板交叉的交点(G)而在一侧配置有第一保护层以及第二保护层的基板，其中，当交点(G)与第一保护层之间的距离短于交点(G)与第二保护层之间的距离时，与振动臂的延伸方向交叉的第一保护层的宽度窄于第二保护层的宽度。

公开(公告)号：CN104734660A

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201410805487.0

申请日：2014-12-19

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/15

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03H9/1014

Abstract: 本发明提供一种抑制扭转振动等的不需要的振动的产生并具有较高的Q值的振动元件、具备该振动元件的电子装置、电子设备以及移动体。振动元件具备基部、从基部延伸出的振动臂、从振动臂的第一主面朝向相对于第一主面而处于相反侧的第二主面设置有有底的槽的槽部，在第二主面的至少一部分上设置有质量部。

公开(公告)号：CN103017747A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210359359.9

申请日：2012-09-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生

IPC: G01C19/56 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5628

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5642 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明涉及传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备，其能够简单且可靠地发挥优异的检测灵敏度，并且可靠性较高。本发明的传感器元件具备：驱动用振动臂(221、222)，其通过通电而进行驱动振动；调节用振动臂(241、242)，其随着驱动用振动臂(221、222)的驱动振动而进行振动；检测用电极，其根据被施加于驱动用振动臂(221、222)的物理量而输出电荷；第一电极，其被设置于调节用振动臂(241、242)上，且与检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出电荷；一对第二电极，其被设置于调节用振动臂(241、242)上，且与一对检测用电极电连接，并随着调节用振动臂(241、242)的振动而输出与第一电极成为相反极性的电荷。