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公开(公告)号:CN1748928A
公开(公告)日:2006-03-22
申请号:CN200510092154.9
申请日:2005-08-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 尼子淳
IPC: B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/067
CPC classification number: B23K26/0676 , B23K26/0608 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/066 , B23K26/0665 , B23K26/067 , B23K2101/36
Abstract: 本发明提供一种顶帽状分布的激光光束来进行加工时,提高光利用效率可能的技术。本发明的激光加工方法包括:第一过程,其产生能量强度分布为高斯分布(a)的激光光束(LB);第二过程,其对激光光束的波面,施加规定的相位调制来整形相应激光光束,以便越是中心其相位相对提前,越是离开中心,相位相对延迟;第三过程,其对经过第二过程已经整形的激光光束波面,施加规定的相位调制来整形相应的激光光束,以便越是中心其相位相对延迟,越是离开中心其相位相对提前;和第四过程,其将经过第二和第三过程而能量强度分布近似变为平坦分布(b)的激光光束,照射在被加工体(100)而加工被加工体。
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公开(公告)号:CN1210788C
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN01117315.7
申请日:2001-03-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L23/10 , B65B51/22 , H01L2924/0002 , H01L2924/01079 , H01L2924/09701 , H01L2924/00
Abstract: 一种封装的密封方法,其特征在于:准备一表面开口、并在壁上有通孔的筐体,被贮存物,和由对具有特定波长的激光透明的材料构成、用以覆盖上述筐体的开口面的盖体,将上述被贮存物贮存在上述筐体中,并在该筐体和盖体之间配置粘接构件,通过利用上述通孔真空吸附上述盖体,将上述筐体和上述盖体固定,并通过上述盖体向上述粘接构件照射激光并熔化该粘接构件,用上述粘接构件接合上述筐体和上述盖体;然后,在上述孔里配置金属,照射激光并使该金属熔化,用上述金属密封上述孔。本发明还提供了采用这种密封方法和密封装置。
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公开(公告)号:CN1611320A
公开(公告)日:2005-05-04
申请号:CN200410087910.4
申请日:2004-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B23K26/36 , B23K26/06 , B23K26/067 , G02B5/18 , C03B11/00 , B29D11/00 , G03B21/32 , G03B21/62 , H04N5/74 , H04N9/31
CPC classification number: G02B3/0025 , B23K26/064 , B23K26/0648 , B23K26/0652 , B23K26/0665 , B23K26/067 , B23K26/0676 , B23K26/0853 , B23K26/389 , B44C1/228 , G02B3/0031
Abstract: 提供一种基板的加工方法,本发明的基板的加工方法具备:将由激光光源(1)射出的激光光束(5)通到衍射光学元件(3)中,整形成具有比被加工基板(7)的加工区域部分的厚度的偏差的最大值和翘曲的偏差的最大值大的焦点深度的光束的步骤;通过将整形光束(6)照射到基板(7)上成膜的膜面(8)上而除去该膜(8)、形成多个蚀刻用孔的步骤;和借助于上述多个蚀刻用孔蚀刻基板(7)、形成多个凹部的步骤。由此,可以不受加工基板的翘曲和厚度的偏差等影响而对基板进行希望形状的加工。
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公开(公告)号:CN1572504A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410049125.X
申请日:2004-06-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1634 , B41J2/1433 , B41J2/1606 , B41J2/162 , B41J2002/14475
Abstract: 本发明提供一种喷墨头的制造方法及喷墨头,是具有收装液状体的空腔、和与该空腔连通的喷嘴(18),并将与空腔相反一侧的喷嘴开口作为喷出口(9),从喷嘴(18)的喷出口(9)喷出收装于空腔内的液状体的喷墨头的制造方法。在喷嘴(18)的内壁面的喷出口(9)的附近部分,形成相对于要喷出的液状体的后退接触角和前进接触角的差变大的喷嘴内疏液膜(11)。从而,该喷墨头具有良好的稳定喷出性。
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公开(公告)号:CN1520249A
公开(公告)日:2004-08-11
申请号:CN200310124372.7
申请日:2003-12-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种构成简便,能有效实施的激光焊接方法和装置。所述方法包括:利用衍射光学元件4对1条激光光速2进行衍射,分成含有0次衍射次数激光光速的多条分支光束2A的分支工序;以0次激光光束为中心,旋转由多条分支光束2A形成的聚光点列,使其与安装在基板上的部件10的多个焊接点21,22列方向相一致的旋转工序;调节从衍射光学元件4列基板的距离,使聚光点列的点间距与多个焊接点21,22间距相吻合的工序;以及将确定了聚光点列方向和点间距的多条分支光束2A强度,增大到焊接所需要的强度,同时照射多个焊接点21,22,使基板与部件连接的工序。
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公开(公告)号:CN102841395B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201210214061.9
申请日:2012-06-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 尼子淳
CPC classification number: G02B27/4261 , G01J3/0224 , G01J3/18 , G01J3/44 , G02B5/1871 , G02B27/4272
Abstract: 提供了一种透射式衍射光栅及检测装置。该透射式衍射光栅包括:偏振转换层;第一衍射层,配置于偏振转换层的一个表面侧;以及第二衍射层,配置于偏振转换层的另一表面侧。第一衍射层以及第二衍射层都具有沿第一方向以周期P排列的折射率调制结构,并且对TE偏振光分量的衍射效率比对TM偏振光分量的衍射效率高。
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公开(公告)号:CN102269833B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201110124499.3
申请日:2011-05-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/1804 , G01J3/44 , G02B5/1857 , G02B5/1866 , G02B27/4261
Abstract: 本发明公开了一种光谱装置、检测装置以及光谱装置的制造方法。该光谱装置包括透射入射光的透射型衍射光栅。透射型衍射光栅具有由第一电介质形成的倾斜面,倾斜面相对于基准线倾斜排列。将向透射型衍射光栅入射的入射光相对于基准线的入射角度设为角度α,且将衍射光相对于基准线的衍射角度设为角度β。在这种情况下,入射角度α是比相对于倾斜面的布拉格角度θ小的角度,衍射角度β是比布拉格角度θ大的角度。
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公开(公告)号:CN103018211B
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201210480083.X
申请日:2010-11-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种分析装置及其中的传感器芯片的制造方法,包括:传感器芯片;光源,生成激光;准直透镜,将激光变成平行光;偏振光控制元件,使平行光通过;光检测器,检测通过传感器芯片获得的光;对物透镜,汇聚传感器芯片中的散射光;分光镜,将通过偏振光控制元件的光导向传感器芯片,将传感器芯片中的散射光导向对物透镜,传感器芯片包括:玻璃基体部件,具有平面部;以及衍射光栅,衍射光栅包括:多个第一突起,沿与平面部平行的第一方向,按大于等于100nm小于等于1000nm的周期周期性地排列;基底部分,由相邻的第一突起间的区域中的玻璃基体部件的平面部构成;多个第二突起,形成在多个第一突起的上表面,构成与第一突起重叠构造。
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公开(公告)号:CN104321639A
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201380020394.0
申请日:2013-04-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/553 , B82Y30/00 , G01N21/554 , G01N21/658 , G01N2201/06113 , Y10T428/249921
Abstract: 提供既能够提高热点的表面密度又能够使传播表面等离子体共振与局域表面等离子体共振结合的试样分析元件。试样分析元件11具备多列金属纳米体列16。每个金属纳米体列16包含以小于入射光的波长的第一节距SP在电介质表面排列成一列的多个金属纳米体15。多列金属纳米体列16以大于第一节距SP的第二节距LP并排排列。
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公开(公告)号:CN102841395A
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN201210214061.9
申请日:2012-06-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 尼子淳
CPC classification number: G02B27/4261 , G01J3/0224 , G01J3/18 , G01J3/44 , G02B5/1871 , G02B27/4272
Abstract: 提供了一种透射式衍射光栅及检测装置。该透射式衍射光栅包括:偏振转换层;第一衍射层,配置于偏振转换层的一个表面侧;以及第二衍射层,配置于偏振转换层的另一表面侧。第一衍射层以及第二衍射层都具有沿第一方向以周期P排列的折射率调制结构,并且对TE偏振光分量的衍射效率比对TM偏振光分量的衍射效率高。
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