公开(公告)号：CN1792635A

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：CN200510131870.3

申请日：2005-12-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 伊藤牧

IPC: B41J2/16 ,  B41J2/14

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/319

Abstract: 一种制造致动器器件的方法，包括如下步骤：在衬底的一个表面上形成振动板；和在所述振动板上形成压电元件，所述压电元件中的每一个包括下电极、压电层和上电极，并且其中，所述形成振动板的步骤包含绝缘膜形成步骤，所述绝缘膜形成步骤至少包括：膜形成步骤，用于在所述衬底的所述一个表面上形成锆层；以及热氧化步骤，用于在预定的热氧化温度下热氧化所述锆层，以形成包括氧化锆层的绝缘膜并且同时调整所述绝缘膜的应力。

公开(公告)号：CN1666870A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN200510053843.9

申请日：2005-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 李欣山 ,  村井正己 ,  新保俊尚 ,  伊藤牧

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H04R17/00 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性，又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化，从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1～3nm范围内地形成的工序，并且，形成所述压电元件的工序包括：通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛(Ti)来形成钛种层的工序；以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜，并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶，从而形成所述压电层的工序。