公开(公告)号：CN103363971B

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201310062480.X

申请日：2013-02-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中川启史

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: H01L41/107 ,  G01C19/5607

Abstract: 振动片、传感器单元及电子设备。振动片具有：基部(21)、驱动用振动臂(22a、22b)、检测用振动臂(23a、23b)和调整用振动臂(25a、25b)，驱动用振动臂(22a、22b)被驱动成在预定的面内弯曲振动，在设基部(21)的厚度为t，驱动用振动臂(22a、22b)延伸方向上的基部(21)的长度为L，检测用振动臂(23a、23b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f1，驱动用振动臂(22a、22b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f2，调整用振动臂(25a、25b)的与预定面交叉的方向上的固有振动频率为f3时，满足如下关系(1)和(2)：(1)f3＞f2(2)0.964×(1‑0.321(1+L/t))≦f2/f1≦0.995。

公开(公告)号：CN103363974A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310094984.X

申请日：2013-03-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川启史 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  H01L41/08 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/094 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1136

Abstract: 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。

公开(公告)号：CN103363973A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310089719.2

申请日：2013-03-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽龙太 ,  中川启史 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: G01C19/5607 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/107 ,  H01L41/25 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体，能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂（26a、26b）。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。

公开(公告)号：CN103245339A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310024415.8

申请日：2013-01-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中川启史

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: G01C19/5621 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/107

Abstract: 本发明提供振动片、传感器单元以及电子设备，能够在不降低机械强度的情况下抑制泄漏输出。该振动片具有：基部；从所述基部的一端起延伸出的驱动用振动臂；从所述基部的与所述一端相反侧的另一端起延伸出的检测用振动臂；从所述基部起朝与所述驱动用振动臂相反侧延伸出的调整用振动臂；以及支撑部，其从所述基部起延伸出，并被固定于基板，所述调整用振动臂的输出信号与所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号为相反相位。