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公开(公告)号：CN117968535A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410127089.1
申请日：2024-01-30
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出基于杨氏双狭缝干涉条纹的线性位移测量装置及方法，包括双狭缝光阑、线阵相机、位移测量滑动平台、光源和图像处理系统；位移测量滑动平台为在线性导轨处移动的滑台，滑台为被测物体所在位置，滑台与线阵相机相连，使相机光轴与光源输出的激光、双狭缝光阑处于同一水平高度；当进行测量作业时，光源激光穿过双狭缝光阑形成干涉条纹；线阵相机对干涉条纹图像进行采集，并将采集数据传输至图像处理系统；滑台驱动线阵相机进行水平线性位移，以使相机采集到不同距离对应的干涉条纹图像信息；图像处理系统分析获得的条纹图像信息，得到待测物体与光源之间的距离信息；本发明测量装置结构简单，测量方法易于实现，测量精度高且范围大。
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公开(公告)号：CN110243760B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201910640774.3
申请日：2019-07-16
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明涉及一种线域频域光学相干层析系统，包括：光源模块，光源发出的光经凸透镜准直为平行光束；迈克尔逊干涉仪模块，用于将平行光束聚焦并分光为两束光线，一束汇聚于参考镜，另一束汇聚于待测样品表面，两束光经反射后重合发生干涉；线光谱仪模块，干涉光束入射反射式光栅按波长在空间分光后汇聚成干涉谱线，由面阵相机采集图像信号；以及具有图像处理模块的计算机，用于接收、存储、处理图像信号；系统还配设有纵向坐标标定装置，包括：可调狭缝结构，用于调整通过狭缝照射到待测样品上的检测光；以及狭缝位移平台，用于驱动可调狭缝结构位移。该系统可对纵向坐标进行准确标定，确定线域频域光学相干层析检测的纵向坐标。
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公开(公告)号：CN117537717A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311535027.6
申请日：2023-11-17
Applicant: 福州大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供了复合位感图栅的大量程视觉位移测量装置及测量方法，测量装置包括位感图栅尺、位移测量滑动平台、成像模组、光源和图像处理系统；所述位感图栅预制于基尺表面；所述成像模组固定在滑块上沿滑轨可以进行直线往复运动；所述位移测量滑动平台安装于滑轨上；所述光源为相机模块提供可靠稳定的外部光环境；所述图像处理系统为处理相机模块采集通过图像传输模块传输至图像处理系统的位感图栅图像。本发明通过图栅条纹实现大直线位移的测量，可以低成本高效率地实现图栅尺制制作，可实现直线位移高效率、高精度的测量。
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公开(公告)号：CN117288107A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311251661.7
申请日：2023-09-26
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明涉及一种晶圆群折射率与几何厚度同步测量装置及方法，该装置包括一宽带光源、一2×2单模光纤耦合器、一参考臂、一探测臂、一位移台、一旋转台、一光谱仪和一用于控制信号采集的上位机；探测臂安装于位移台上，旋转台上设置被测目标；宽带光源辐射出宽带光进入到光纤耦合器中后被分为参考光与探测光；参考光进入参考臂后原路反射回光纤耦合器中；探测光经探测臂照射至被测目标上，被测目标的不同结构层将探测光反射回光纤耦合器中；返回的探测光与参考光的干涉信号进入光谱仪，而后聚焦至CCD相机；CCD相机的成像传输至上位机中。该装置及方法有利于高效、准确地对晶圆的几何厚度与群折射率进行同步测量。
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公开(公告)号：CN116358455A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310319646.5
申请日：2023-03-29
Applicant: 福州大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 本发明的目的在于提供一种基于激光位移传感器的直线度在线检测方法及旋转定位装置，通过在被测圆棒匀速转动时传感器沿轴向运动采集位移变化信息，因此得到一个幅值变化周期不变的位移变化曲线；将位移变化曲线等分成若干段，每段至少包含一个完整的转动周期，可以得到位移变化曲线每个周期对应圆棒的一段相等测量长度的位置变化信息；根据位置变化信息与直线度误差之间的关系建立数学模型，从而计算得到位移曲线每个分段对应圆棒测量长度的直线度误差，对计算结果进行比较，其中最大值即为被测圆棒的直线度误差。根据最大直线度误差在变化信息曲线的坐标与电机输出脉冲的关系建立数学模型，进而定位最大直线度误差处的周向角。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115937001A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202310055570.X
申请日：2023-01-20
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于图像超分辨率重建的光学相干层析系统，包括一套光学相干层析显微成像系统、一套光学相干层析振镜扫描成像系统和一个图像超分辨率重建模块，所述光学相干层析显微成像系统用于获取样品的高分辨率成像结果，所述光学相干层析振镜扫描成像系统用于快速获取样品的低分辨率成像结果，所述图像超分辨率重建模块用于通过训练数据学习高、低分辨率成像结果之间的高维映射关系，再通过对光学相干层析振镜扫描成像系统获得的低分辨率成像结果进行超分辨率重建，从而快速得到成像区域高分辨率的成像结果。该系统有利于获得兼具快速成像和高分辨率的成像结果。
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公开(公告)号：CN115435696A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210817283.3
申请日：2022-07-12
Applicant: 福州大学 , 福建龙溪轴承(集团)股份有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种基于太赫兹时域光谱的轴套自润滑涂层厚度检测方法，包括以下步骤：S1、采用反射式太赫兹时域光谱系统，利用空气‑金属镜的反射信号作为参考信号，利用空气‑样品涂层的反射信号作为样品信号，对两个信号作傅里叶变换得到二者的频域信号，由此得到参考信号和样品信号的相位变化和反射率，进而计算样品涂层的折射率；S2、建立太赫兹波在多介质层的轴套自润滑涂层内部传播的物理模型；S3、通过反射式太赫兹时域光谱系统，获得样品的反射时域信号，从而获得样品时域信号中反射峰之间的延迟时间；结合步骤S1获得的样品涂层的折射率以及步骤S2建立的物理模型，计算样品涂层的厚度。该方法有利于对轴套自润滑涂层厚度进行高精度无损检测。
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公开(公告)号：CN114374095A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202210024121.4
申请日：2022-01-11
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出一种具有周期性通孔微结构的太赫兹超表面结构及其制备方法，其提出的具有周期性通孔微结构的太赫兹超表面结构由两个形状尺寸大小相同的矩形孔作为一个单元阵列，并周期性阵列排布而成。在制备方法上采用飞秒激光直写技术，在薄膜金属直接进行加工，制造过程简单且迅速，加工效率高，原材料廉价易得，有利于大规模的工业化生产。同时，运用高倍数的聚焦物镜缩小烧蚀面积从而减小加工误差，使实际的加工尺寸更符合设计尺寸，达到所需要的标准。
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公开(公告)号：CN113895097A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111237526.8
申请日：2021-10-25
Applicant: 福州大学
IPC: B32B3/16 , B32B27/38 , B32B27/36 , B32B27/32 , B32B27/20 , B32B1/00 , B32B3/28 , B32B27/12 , B32B27/08 , B32B27/34 , B32B5/02 , B32B27/06
Abstract: 本发明涉及一种复合材料薄壳平面折展装置及收展方法，包括复合材料薄壳、折展机构、末端支撑臂，折展机构安装在复合材料薄壳一侧边，末端支撑臂安装在复合材料薄壳折展机构安装位的对侧边上；复合材料薄壳包含结构层和连接层，结构层由至少两段圆弧双稳态复合材料卷尺结构并列组成，连接层为柔性薄膜或织物粘结在结构层的单侧或双侧表面；折展机构包括侧板、首端支撑臂、第一限位杆、第二限位杆；末端支撑臂由至少两节外伸缩杆依次连接构成，外伸缩杆安装在固定在复合材料薄壳末端的凸面上；本装置在展开与折叠状态下都能保持稳定且能重复折叠展开，空间利用率高、结构简单、比强度和比模量大、耐高温、耐腐蚀，能满足复杂多变的工作环境。
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公开(公告)号：CN113340403A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110598393.0
申请日：2021-05-31
Applicant: 福州大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种基于圆周条纹和线阵相机的转轴径向振动测量系统及方法，该方法包括：S1、根据待测目标转轴确定圆周条纹参数；S2、将圆周条纹附于转轴上，使其沿转轴圆周均匀分布；S3、固定线阵相机，调整好参数；S4、线阵相机对转轴上的圆周条纹进行成像；S5、对线阵相机采集到的每一帧图像进行处理，通过短时傅里叶变换原理和能量重心校正法算出t时刻条纹信号的频率曲线；S6、通过频率曲线的峰值频率值随时间变化关系获得转轴沿成像光轴方向的振动时域曲线；S7、通过频率曲线的峰值频率的位置随时间变化关系获得转轴沿垂直成像光轴方向的振动时域曲线。该系统及方法可以对转轴结构的径向振动位移进行快速、高精度的非接触式测量。
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