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公开(公告)号:CN110344025B
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN201910816710.4
申请日:2019-08-30
Applicant: 福州大学
IPC: C23C16/42 , C23C16/455 , C23C16/56
Abstract: 本发明属于低维纳米薄膜材料领域,具体涉及一种二维Zn掺杂Ca2Si纳米薄膜及其化学气相沉积方法。将装有Ca粉末的石英皿放置在三温区高温管式炉的前端区域,将装有Zn粉末的石英皿放置在三温区高温管式炉的中间区域,预处理后的玻璃基底放置在三温区高温管式炉的末端区域。在氩气和SiH4的载气下,以一定的升温速率加热三温区管式炉的前端、中间和末端区域,反应一段时间,反应生成物沉积于玻璃基底上,再将反应生成物在管式炉中进行原位退火处理,得到二维Zn掺杂Ca2Si薄层材料。该方法制备工艺简单,产品纯度较高,有望能够实现大规模、高质量的二维Zn掺杂Ca2Si纳米薄膜的生产,具有很好的产业化前景。
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公开(公告)号:CN109999881B
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN201910329901.8
申请日:2019-04-23
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明公开了一种掺N正交相第Ⅲ主族硫属化物及制备方法,包括将银箔基底进行超声清洗及高温退火处理,利用低压化学气相沉积的方法在含氮气氛下合成尺寸均匀的N掺杂第Ⅲ主族硫属化物薄片,在反应温度下保持10‑20分钟,等到自然冷却至室温时,同时关闭通入氩气与氨气,即可在银箔基底得到尺寸均匀的掺N正交相第Ⅲ主族硫属化物薄层样品。该方法使用的化学气相沉积法能够实现大规模,高质量的掺N正交相第Ⅲ主族硫属化物薄片,制备工艺简单,可规模化量产,有望应用于光催化领域。
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