固化性粘接片和固化物的制造方法

    公开(公告)号:CN118019819A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202280063975.1

    申请日:2022-09-30

    Abstract: 本发明提供一种固化性粘接片,其具有:可形成在23℃、1GHz下的介电损耗角正切为0.01以下的固化物的固化性粘接剂层;以及夹持该固化性粘接剂层的两面的第1剥离膜和第2剥离膜,第1剥离膜具有:有色树脂膜(i)、以及层叠于该有色树脂膜(i)的一个表面上且与上述固化性粘接剂层的表面接触的剥离剂层,第2剥离膜具有:可通过目视与有色树脂膜(i)相区别的树脂膜(ii)、以及层叠于该树脂膜(ii)的一个表面上且与上述固化性粘接剂层的表面接触的剥离剂层,该固化性粘接片满足下述要素(Ia)。·要素(Ia):第2剥离膜的厚度(T2)与第1剥离膜的厚度(T1)的厚度比(T2)/(T1)为1.05以上。

    薄型化板状部件的制造方法以及薄型化板状部件的制造装置

    公开(公告)号:CN111095493B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN201880057309.0

    申请日:2018-08-21

    Abstract: 薄型化板状部件的制造方法的特征在于,具有向板状部件(WF)照射激光(LB)的激光照射工序和将板状部件(WF)沿着分割面(DP)分割而至少形成第一薄型化板状部件和第二薄型化板状部件的分割工序,在向板状部件(WF)照射激光的工序中,在板状部件(WF)的内部沿着分割面(DP)形成多个改性部,所述第一薄型化板状部件的厚度比板状部件(WF)的厚度小,所述第二薄型化板状部件的厚度比板状部件(WF)的厚度小。

    薄化晶片的制造方法和薄化晶片的制造装置

    公开(公告)号:CN114667595A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202180006503.8

    申请日:2021-01-15

    Inventor: 泉直史

    Abstract: 一种薄化晶片的制造装置,能够在防止薄化晶片破损的情况下对该薄化晶片实施各种工序,其具备:分离构件(10),其在由基材支撑构件(BS)支撑的半导体晶片(WF)上形成脆弱层(WL),以该脆弱层(WL)为界将半导体晶片(WF)划分为薄化晶片(WF1)和剩余晶片(WF2),并将该剩余晶片(WF2)从薄化晶片(WF1)分离;第一输送构件(20),其输送由分离构件(10)将剩余晶片(WF2)分离后的薄化晶片(WF1);处理构件(30),其对由第一输送构件(20)输送的薄化晶片(WF1)实施规定的处理;第二输送构件(40),其输送由处理构件(30)实施了规定的处理的薄化晶片(WF1);以及加强部件粘贴构件(50),其将加强部件(AS)粘贴于由第二输送构件(40)输送的薄化晶片(WF1),其中,第一输送构件(20)和第二输送构件(40)将薄化晶片(WF1)与基材支撑构件(BS)一起输送。

    片材剥离方法和片材剥离装置、以及分割方法和分割装置

    公开(公告)号:CN115461855B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202180031912.3

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 一种片材剥离方法,将粘贴于被粘合体(WK1)的粘合片材(AS1)从该被粘合体(WK1)剥离,片材剥离方法实施如下工序:片材保持工序,其保持粘合片材(AS1);被粘合体保持工序,其保持被粘合体(WK1);剥离工序,其对在片材保持工序保持的粘合片材(AS1)施加张力,来将粘合片材(AS1)从被粘合体(WK1)剥离;张力检测工序,其在剥离工序将粘合片材(AS1)从被粘合体(WK1)剥离时,检测施加于该粘合片材(AS1)的片材张力;在剥离工序中,基于在张力检测工序的检测结果,在维持片材张力为所希望的张力的同时将粘合片材(AS1)从被粘合体(WK1)剥离。

    固化性粘接片
    17.
    发明公开
    固化性粘接片 审中-实审

    公开(公告)号:CN118043416A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202280063976.6

    申请日:2022-09-30

    Abstract: 本发明提供一种固化性粘接片,该固化性粘接片具有:可形成在23℃、1GHz下的介电损耗角正切为0.01以下的固化物的固化性粘接剂层;以及夹持该固化性粘接剂层的两面的第1剥离膜和第2剥离膜,其中,第1剥离膜和第2剥离膜具有:树脂膜、以及在该树脂膜的一个表面上由非有机硅系剥离剂形成且与上述固化性粘接剂层的表面接触的剥离层,该固化性粘接片满足下述要素(I)。要素(I):以剥离角度180°、剥离速度300mm/分钟从上述固化性粘接剂层剥离第1剥离膜时的剥离力(R1)为250mN/50mm以下。

    片材剥离方法和片材剥离装置、以及分割方法和分割装置

    公开(公告)号:CN115461855A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202180031912.3

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 一种片材剥离方法,将粘贴于被粘合体(WK1)的粘合片材(AS1)从该被粘合体(WK1)剥离,片材剥离方法实施如下工序:片材保持工序,其保持粘合片材(AS1);被粘合体保持工序,其保持被粘合体(WK1);剥离工序,其对在片材保持工序保持的粘合片材(AS1)施加张力,来将粘合片材(AS1)从被粘合体(WK1)剥离;张力检测工序,其在剥离工序将粘合片材(AS1)从被粘合体(WK1)剥离时,检测施加于该粘合片材(AS1)的片材张力;在剥离工序中,基于在张力检测工序的检测结果,在维持片材张力为所希望的张力的同时将粘合片材(AS1)从被粘合体(WK1)剥离。

    薄型化板状部件的制造方法以及制造装置

    公开(公告)号:CN111052316A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201880057314.1

    申请日:2018-08-17

    Abstract: 薄型化板状部件的制造方法具备:向第一硬质支承体(110)的支承面(111)粘贴第一双面粘接片(AT1)的第一粘接面(AT11),向板状部件(WF)的整个第一表面(WF1)粘贴第二粘接面(AT12)的工序;在所述板状部件(WF)的内部形成边界层(CR)的工序;以第一保持单元(130)夹着第一硬质支承体(110)位于所述板状部件(WF)的相反侧的方式,将所述第一保持单元(130)和第一硬质支承体(110)拆装自如地固定的工序;利用第二保持单元(160)从第二表面(WF2)侧保持所述板状部件(WF)的工序;使所述第一保持单元(130)和所述第二保持单元(160)相对移动,从而以所述边界层(CR)为界,将所述板状部件(WF)分割为具有第一表面(WF1)的第一薄型化板状部件以及具有第二表面(WF2)的第二薄型化板状部件的工序。

Patent Agency Ranking