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公开(公告)号：CN111390313A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010277845.0
申请日：2020-04-08
Applicant: 清华大学无锡应用技术研究院 , 无锡微研精微机械技术有限公司
IPC: B23H11/00
Abstract: 本发明涉及基于激光测距和电接触感知的加工间隙给定方法系统，包括包括激光位移传感器、工具电极、对准标准块及电接触反馈系统，采用激光非接触精确测量来标定工具电极的端部位置，从而实现精确给定绝缘工件初始加工间隙时不损伤工具电极，在更换工具电极后仍然可以通过对准标准块来快速标定出工具电极端部位置，从而可以便捷地实现给定加工间隙；在实际应用中若需要更换工件后可通过激光位移传感器测量快速实现给定加工间隙。本发明系统集成到放电辅助化学加工系统或机床中，实现工具电极端部位置快速标定和给定加工间隙，操作过程简便易行、效率较高。
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公开(公告)号：CN111170269A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010002659.6
申请日：2020-01-02
Applicant: 清华大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种网骨架吹击PDMS制备阵列微圆孔柔性膜系统及方法，其中，该系统主要由吹击控制系统、网骨架夹具系统、在线观测系统、运动控制系统组成。吹击控制系统用于调节吹击网骨架的吹击气体速度；网骨架夹具系统用于保证在网骨架吹击过程中网骨架位置稳定；在线观测系统用于拍摄网骨架吹击过程中的实时图像，并根据实时图像判断是否存在封闭孔；运动控制系统用于实现吹击过程中的扫描轨迹和定位封闭孔所在区域位置，根据所在区域位置对封闭孔再次吹击，直至不存在封闭孔。该系统低成本、高效率，能够大批量制备阵列圆孔柔性膜。
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公开(公告)号：CN110238614A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910504634.3
申请日：2019-06-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种型孔挤压成形微细结构或超疏水表面制备方法，包括如下步骤：S1：在型材上加工出型孔，型材的位于型孔两端的表面分别称为挤压面和成形面。S2：在型材的挤压面一侧构建出封闭区域，且型孔与封闭区域连通。S3：将流体材料置入封闭区域，挤压流体材料，使部分流体材料从型孔处挤出成挤压条。S4：将型材冷却，使流体材料固化成固形件，且挤压条定型以构建微细结构或超疏水表面。本发明实施例的型孔挤压成形微细结构或超疏水表面制备方法，利用型材上型孔结构，在平面/形面/管材型孔挤压形成微结构或微细柱状阵列结构，可以制备出超疏水表面，工艺成本低、适用范围广。
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公开(公告)号：CN110156339A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910380973.5
申请日：2019-05-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种基于力传感器和杠杆式倾斜台的工件表面调平装置及方法，其中，装置包括：触发组件、夹具、杠杆式倾斜台、力传感器和控制器，其中，安装好工件后，向下进给触发组件，直至力传感器发出接触信号，实现工件表面的对准并得到此点的Z轴位置坐标，工件表面沿X方向选取两点A和B，分别通过对准过程测量得到Z轴位置坐标；回退触发组件，调节倾斜台使工件表面沿X方向倾斜一定角度，分别得到倾斜后A、B点的Z轴位置坐标；根据调平算法来计算得到调整目标值；调节倾斜台，使A、B点Z轴位置坐标到达目标值，即完成工件表面沿X方向的精确调平，同理，也可可以完成工件表面沿Y方向的精确调平，从而实现工件表面精确调平。
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公开(公告)号：CN111390313B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202010277845.0
申请日：2020-04-08
Applicant: 清华大学无锡应用技术研究院 , 无锡微研精微机械技术有限公司
IPC: B23H11/00
Abstract: 本发明涉及基于激光测距和电接触感知的加工间隙给定方法系统，包括包括激光位移传感器、工具电极、对准标准块及电接触反馈系统，采用激光非接触精确测量来标定工具电极的端部位置，从而实现精确给定绝缘工件初始加工间隙时不损伤工具电极，在更换工具电极后仍然可以通过对准标准块来快速标定出工具电极端部位置，从而可以便捷地实现给定加工间隙；在实际应用中若需要更换工件后可通过激光位移传感器测量快速实现给定加工间隙。本发明系统集成到放电辅助化学加工系统或机床中，实现工具电极端部位置快速标定和给定加工间隙，操作过程简便易行、效率较高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109811342B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201910130148.X
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了网掩膜大面积制备微凹坑结构和超疏水金属表面的方法。该方法包括：(1)在金属表面施加具有第一预定孔径的有机材料网；(2)对步骤(1)所得试样进行加热处理，以便使有机材料网熔化，从而在金属表面形成具有第二预定孔径的有机掩膜；(3)对未被有机掩膜覆盖的金属表面进行刻蚀，以便在金属表面获得微凹坑结构；(4)利用清洗剂对步骤(3)所得试样进行清洗，以便除去有机掩膜，得到具有微凹坑结构的金属表面。该方法可高效制备得到大面积的微凹坑结构金属表面，通过刻蚀特定结构的微凹坑结构，可以获得大面积超疏水金属表面。
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公开(公告)号：CN109597358B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201811302161.0
申请日：2018-11-02
Applicant: 清华大学
IPC: G05B19/4099
Abstract: 本发明公开了一种微管镂空结构电火花扫描加工轨迹规划及代码生成方法，该方法包括：获取驱动结构的形状尺寸的设计要求，利用CAD/CAM软件根据设计要求设计驱动结构的三维结构造型，并将三维结构造型在二维圆周方向进行展开得到圆周二维造型；将圆周二维造型进行坐标变换和设置坐标系；根据圆周二维造型规划工具电极加工轨迹并生成通用轨迹加工代码；将通用轨迹加工代码进行坐标反变换，生成四轴电火花加工机床可识别的数控代码。该方法将复杂微结构三维运动展开为二维运动，可以实现复杂导管加工代码的自动化生成过程，根据工件结构形状、加工位置的刚度和扫描轨迹重叠情况规划扫描加工轨迹，提高主动导管镂空驱动结构的加工精度和成品率。
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公开(公告)号：CN109269392B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201811290398.1
申请日：2018-10-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置及方法，其中，该装置包括：导电杆用于与工件表面接触时随进给上移至接触导电端子产生短路信号；导轨用于为导电杆提供轨道，使导电杆随进给上下滑动；第一绝缘支架用于将电接触反馈的绝缘材料表面高度测量装置固定在加工机床的Z轴上；第二绝缘支架用于将导电杆固定在导轨的滑块上；电接触运动反馈系统用于向加工机床发出进给或停止的运动命令，当检测到短路信号时记录导电杆与工件表面接触点的Z轴方向位置，通过记录多个Z轴方向位置得到高度分布集合，并通过偏差确定工件表面的不平整度。该装置结构紧凑小巧，易于与机电数控系统集成，降低了绝缘工件表面位置的快速测量和调整的难度。
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公开(公告)号：CN110039140A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910279202.7
申请日：2019-04-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了绝缘材料工件表面对准和浸液深度调控的装置及方法。具体地，本发明提出了一种绝缘材料工件表面对准和浸液深度调控的装置，包括：加工液槽，所述加工液槽具有加工液入口、加工液出口以及第一连通口；连通器，所述连通器具有第二连通口，所述第二连通口和所述第一连通口相连，且所述连通器中具有液位计；供液箱，所述供液箱和所述加工液入口以及所述加工液出口相连；以及工具电极，所述工具电极设置在所述加工液槽的上方，且所述工具电极可相对所述加工液槽移动。由此，该装置操作简便，且工具电极和工件之间对准的精确度较高，易于调控，使用性能良好。
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公开(公告)号：CN109865904A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910103034.6
申请日：2019-02-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种电火花加工微细亲水探针操作微液滴方法及装置，其中，该方法包括：将微细金属探针插入待操作液体中，通过控制微细金属探针的水平方向运动，利用微细金属探针侧壁表面的亲水特性自动吸取待操作液体中的微液滴到微细金属探针的侧壁上；通过操作将微细金属探针和微液滴移动到需要点液的位置；通过沿微细金属探针的轴向方向吹出带有压力的气体，将微液滴释放到需要点液的基片上。该方法利用微细金属探针的亲水表面能自动吸取和操作微液滴，具有节能、操作便捷、系统成本低等优点。
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