公开(公告)号：CN109643627B

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN201780052951.5

申请日：2017-08-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 小林浩之 ,  杉浦银治

IPC: H01J9/12 ,  H01J1/34 ,  H01J43/20

Abstract: 一种电子倍增器的制造方法，电子倍增器具备：主体部；通道，其以在主体部的一端面及另一端面开口的方式设置于主体部，根据射入的电子放出二次电子，其中，电子倍增器的制造方法具备：第一工序，准备主体部件，主体部件具有一端面及另一端面，且设置有用于连通一端面和另一端面的通道的连通孔；第二工序，在主体部件的外表面及连通孔的内表面通过原子层沉积法形成至少包含电阻层的沉积层，由此形成通道；第三工序，通过除去形成于主体部件的外表面的沉积层，形成主体部。

公开(公告)号：CN109643631A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201780052892.1

申请日：2017-08-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 服部真也 ,  小林浩之 ,  杉浦银治

IPC: H01J43/24

Abstract: 一种电子倍增体，其中，主体部具有沿着第二方向彼此层叠且用于形成第一通道和第二通道的第一板状构件和第二板状构件；所述第一板状构件包括第一表面、第一背面、第一孔部区域和第一实心区域；所述第二板状构件包括第二表面、第二背面、第二孔部区域和第二实心区域；所述第一孔部区域与所述第二实心区域相对，所述第二孔部区域与所述第一实心区域相对，所述第一通道由包括所述第一孔部的内表面、所述第二实心区域中的面向所述第一孔部内的面而形成；所述第二通道由包括第二孔部的内表面、所述第一实心区域中的面向所述第二孔部内的面而形成。

公开(公告)号：CN109643627A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201780052951.5

申请日：2017-08-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 小林浩之 ,  杉浦银治

IPC: H01J9/12 ,  H01J1/34 ,  H01J43/20

Abstract: 一种电子倍增器的制造方法，电子倍增器具备：主体部；通道，其以在主体部的一端面及另一端面开口的方式设置于主体部，根据射入的电子放出二次电子，其中，电子倍增器的制造方法具备：第一工序，准备主体部件，主体部件具有一端面及另一端面，且设置有用于连通一端面和另一端面的通道的连通孔；第二工序，在主体部件的外表面及连通孔的内表面通过原子层沉积法形成至少包含电阻层的沉积层，由此形成通道；第三工序，通过除去形成于主体部件的外表面的沉积层，形成主体部。

公开(公告)号：CN117501398A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202280043213.5

申请日：2022-03-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木直伸 ,  石井淳 ,  薮下绫介 ,  清水亮迪 ,  小杉尚史 ,  杉浦银治

IPC: H01J35/30

Abstract: 本发明的X射线产生装置包括X射线管和电子束调节部。X射线管具有箱体、电子枪、靶材和窗构件。电子束调节部在靶材存在第1缺陷的情况下，调节电子束以使得靶材的电子束照射区域不包含第1缺陷，在窗构件存在第2缺陷的情况下，调节电子束以使得窗构件的电子束投影区域不包含第2缺陷。

公开(公告)号：CN116060781A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202211360346.3

申请日：2022-11-02

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 坂本刚志 ,  是松克洋 ,  杉浦银治

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/402 ,  B23K26/70

Abstract: 在激光加工装置(1)中，对经由器件层(150)与第2晶片(200)接合的第1晶片(100)照射激光L，进行激光加工。器件层(150)包含包括多个芯片的有源区域(160)和以包围有源区域(160)的方式位于有源区域(160)的外侧的周缘部(170)。而且，在激光加工中，通过沿着在该周缘部(170)上环状延伸的第1线(A1)照射激光(L)，形成沿着第1线(A1)的第1改性区域(121)。由此，能够利用第1改性区域(121)和从第1改性区域(121)延伸的第1裂纹(131)，进行将晶片的外缘部分作为不要部分(除去区域E)除去的切边。

公开(公告)号：CN114828368A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202210067905.5

申请日：2022-01-20

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 石井淳 ,  杉浦银治 ,  小林晃人

IPC: H05G1/02 ,  H05G1/08

Abstract: 本发明的X射线模块包括：箱体、在箱体内出射电子束的电子枪；配置在箱体内且固定在箱体的、因电子束的入射而产生X射线的靶；和具有永磁铁，配置在箱体外，利用永磁铁的磁力使电子束偏转的偏转部。偏转部具有至少配置在永磁铁与箱体之间的隔热部件，隔热部件的导热率低于永磁铁的导热率。

公开(公告)号：CN114446744A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202111255856.X

申请日：2021-10-27

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 杉浦银治 ,  清水亮迪 ,  石井淳

IPC: H01J35/16

Abstract: 本发明提供能够抑制内部空间的密封状态被破坏的能量射线管。能量射线管(3)具备框体部(40)、窗部(50)和密封部(70)。在框体部(40)形成有开口(40a)。窗部(50)从开口(40a)的开口方向观察时覆盖开口(40a)并且包含使能量射线透射的窗(53)。密封部(70)将窗部(50)相对于框体部(40)固定，并且密封由框体部(40)和窗部(50)包围的内部空间(R)。密封部(70)配置于窗部(50)中的沿开口(40a)的边缘的框状的区域(α)。当将区域(α)中的窗部(50)的厚度设为t，将区域(α)的宽度设为w，将从内部空间(R)的内侧至外侧的框体部(40)的厚度设为d时，满足w/d≥1和t/d≥0.3的关系式。

公开(公告)号：CN113223909A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110267566.0

申请日：2017-08-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 小林浩之 ,  杉浦银治

IPC: H01J1/34 ,  H01J1/32 ,  H01J9/12 ,  H01J43/20 ,  H01J43/24

Abstract: 一种电子倍增器的制造方法，电子倍增器具备：主体部；通道，其以在主体部的一端面及另一端面开口的方式设置于主体部，根据射入的电子放出二次电子，其中，电子倍增器的制造方法具备：第一工序，准备主体部件，主体部件具有一端面及另一端面，且设置有用于连通一端面和另一端面的通道的连通孔；第二工序，在主体部件的外表面及连通孔的内表面通过原子层沉积法形成至少包含电阻层的沉积层，由此形成通道；第三工序，通过除去形成于主体部件的外表面的沉积层，形成主体部。