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公开(公告)号：CN110189977B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN201910129348.3
申请日：2019-02-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J49/02
Abstract: 本发明涉及一种离子检测器，其能够抑制离子检测器中的电子倍增机构的时效老化。该离子检测器作为电子倍增机构具备：使响应离子入射而释放的二次电子倍增的倍增极单元；和具有电子倍增功能的半导体检测器。而且，在从倍增极单元向半导体检测器去的二次电子的轨道上，配置有具有使二次电子通过的开口的聚焦电极，该聚焦电极以将来自倍增极单元的二次电子引导到半导体检测器的电子入射面上的方式发挥功能。
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公开(公告)号：CN109643631B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN201780052892.1
申请日：2017-08-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/24
Abstract: 一种电子倍增体，其中，主体部具有沿着第二方向彼此层叠且用于形成第一通道和第二通道的第一板状构件和第二板状构件；所述第一板状构件包括第一表面、第一背面、第一孔部区域和第一实心区域；所述第二板状构件包括第二表面、第二背面、第二孔部区域和第二实心区域；所述第一孔部区域与所述第二实心区域相对，所述第二孔部区域与所述第一实心区域相对，所述第一通道由包括所述第一孔部的内表面、所述第二实心区域中的面向所述第一孔部内的面而形成；所述第二通道由包括第二孔部的内表面、所述第一实心区域中的面向所述第二孔部内的面而形成。
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公开(公告)号：CN105938786A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201610118322.5
申请日：2016-03-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种电子倍增体、光电倍增管及光电倍增器。本发明提供一种电子倍增体，其具备：主体部、在主体部的一端面开口的电子入射部、在主体部的另一端面开口并且达到电子入射部放出二次电子的通道，通道具有相互相对的第一内面及第二内面，第一内面包含凸状的第一弯折部及凹状的第二弯折部、规定第一弯折部及第二弯折部的每一个的多个第一倾斜面，第二内面包含凸状的第三弯折部及凹状的第四弯折部、规定第三弯折部及第四弯折部的每个的多个第二倾斜面，第一弯折部和第四弯折部相互相对，第二弯折部和第三弯折部相互相对，第一弯折部的前端和第三弯折部的前端的距离、相互相对的第一倾斜面及第二倾斜面的间隔、规定第一弯折部的一对第一倾斜面形成的角度、通道的长度满足规定式。
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公开(公告)号：CN110189976B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201910129347.9
申请日：2019-02-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/02
Abstract: 本发明涉及一种离子检测器，其能够抑制多模式的离子检测器中的电子倍增机构的时效老化。该离子检测器具备：倍增极单元；包括具有电子倍增功能的半导体检测器的第1电子检测部；包括电极的第2电子检测部；和栅极部。第1电子检测部和第2电子检测部能够以各自不同的倍增率进行离子检测。栅极部中，作为栅极电极至少包括最后级倍增极，通过调节该栅极电极的设定电位来控制向第1电子检测部去的二次电子的通过和切断的切换。
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公开(公告)号：CN114520141A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110861930.6
申请日：2021-07-29
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本公开的一实施方式涉及包含AD并且检测荷电粒子或光的检测器，不改变限制该检测器的响应的AD的结构，就能够实现该检测器的响应的高速化。AD的驱动电路包含第一电容器及第一电阻。第一电容器及第一电阻的双方在将两端子设定成相同电位的状态下，与AD串联连接。通过该结构，AD的表观的静电容量变小，使包含该驱动电路的检测器整体的响应高速化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113808903A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110647459.0
申请日：2021-06-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的一种离子检测器，其具备：微通道板，其用于接受离子的入射而产生二次电子，将产生的所述二次电子倍增并输出；多个电子冲击型二极管，其具有比所述微通道板的有效区域狭窄的有效区域，用于接受从所述微通道板输出的所述二次电子的入射，将入射的所述二次电子倍增并且检测；聚焦电极，其配置于所述微通道板与所述电子冲击型二极管之间，用于朝向所述电子冲击型二极管聚焦所述二次电子；以及电压供给部，其向所述多个电子冲击型二极管的各个施加驱动电压。
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公开(公告)号：CN110189976A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910129347.9
申请日：2019-02-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/02
Abstract: 本发明涉及一种离子检测器，其能够抑制多模式的离子检测器中的电子倍增机构的时效老化。该离子检测器具备：倍增极单元；包括具有电子倍增功能的半导体检测器的第1电子检测部；包括电极的第2电子检测部；和栅极部。第1电子检测部和第2电子检测部能够以各自不同的倍增率进行离子检测。栅极部中，作为栅极电极至少包括最后级倍增极，通过调节该栅极电极的设定电位来控制向第1电子检测部去的二次电子的通过和切断的切换。
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公开(公告)号：CN103582928B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201280027020.7
申请日：2012-05-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/04 , H01J43/246 , H01J43/28
Abstract: 电子倍增器（100）具备：绝缘性基板（11），具有电配线图案（20）并形成有贯通孔（16）；MCP（12），配置在绝缘性基板（11）的贯通孔（16）的一侧并电连接于电配线图案（20）；屏蔽板（13），配置在MCP（12）的一侧并电连接于MCP（12）；阳极（15），配置在贯通孔（16）的另一侧并电连接于电配线图案（20）；以及信号读出端子（19），固定于绝缘性基板（11）并用于从阳极（15）读出信号。屏蔽板（13）以从厚度方向看包含MCP（12）的形式形成。在屏蔽板（13），形成有使MCP（12）的至少一部分露出的贯通孔（27）。绝缘性基板（11）、MCP（12）、屏蔽板（13）和阳极（15）以成为一体的形式相互固定。
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公开(公告)号：CN103582928A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201280027020.7
申请日：2012-05-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/04 , H01J43/246 , H01J43/28
Abstract: 电子倍增器（100）具备：绝缘性基板（11），具有电配线图案（20）并形成有贯通孔（16）；MCP（12），配置在绝缘性基板（11）的贯通孔（16）的一侧并电连接于电配线图案（20）；屏蔽板（13），配置在MCP（12）的一侧并电连接于MCP（12）；阳极（15），配置在贯通孔（16）的另一侧并电连接于电配线图案（20）；以及信号读出端子（19），固定于绝缘性基板（11）并用于从阳极（15）读出信号。屏蔽板（13）以从厚度方向看包含MCP（12）的形式形成。在屏蔽板（13），形成有使MCP（12）的至少一部分露出的贯通孔（27）。绝缘性基板（11）、MCP（12）、屏蔽板（13）和阳极（15）以成为一体的形式相互固定。
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