电子管
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104603909A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201380046330.8

    申请日:2013-07-31

    CPC classification number: H01J43/18 H01J43/28

    Abstract: 在本发明所涉及的电子管(1)中,相对于绝缘性基板(12)的基体(14)的保持面(12a)形成具有电绝缘层以及导电层的层叠结构的电阻膜(15)。该电阻膜(15)通过使用原子层沉积法从而成为具有所希望的电阻值的牢固而且致密的膜,并且能够抑制由绝缘性材料构成的基板(14)的带电。由此,就能够稳定地确保耐电压特性。

    电子管
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104603907B

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201380046343.5

    申请日:2013-07-31

    Abstract: 在本发明所涉及的电子管(1)中,具有电绝缘层以及导电层的层叠结构或者电绝缘材料以及导电材料的混合结构的电子膜(31)是以通过使用原子层沉积法从而覆盖第2外壳层12的内壁面以及外壁面的整体形式被形成的。通过使用原子层沉积法从而无须含有如粘合剂那样的材料就能够将具有所希望的电阻值的牢固而且致密的电阻膜(31)形成于绝缘面上。然后,通过使电阻膜(31)具有一点点导电性从而就能够抑制发生由于绝缘面的带电等引起的耐压不良,并且能够实现耐电压特性的稳定化。

Patent Agency Ranking