公开(公告)号：CN114350264A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202210148912.8

申请日：2022-02-18

Applicant: 河北工业大学

Inventor： 潘国峰 ,  王昊 ,  夏荣阳 ,  何平 ,  孙鸣 ,  杨学莉 ,  王辰伟

IPC: C09G1/02

Abstract: 本发明为一种用于钴互连结构钴膜CMP粗抛的碱性抛光液及其制备方法。该抛光液同时采用(OHA)与唑类作为抑制剂，通过OHA与唑类抑制剂的协同作用，在使用少量唑类抑制剂的情况下，达到更好的抛光后晶圆表面质量。本发明方法简单，适合规模化工业生产的需要；抛光后，钴表面粗糙度可达为0.60nm。

公开(公告)号：CN119534561A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411788438.0

申请日：2024-12-06

Applicant: 河北工业大学

Inventor： 杨学莉 ,  孙真 ,  潘国峰

IPC: G01N27/12 ,  C08G83/00 ,  C01G15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开一种UV辅助增敏的MOF衍生的AuRu‑In2O3气敏材料的制备及使用方法，该气敏材料的制备以In‑BTC/DOBDC形成的金属有机框架为基体，煅烧后得到纯氧化铟，随后利用原位氧化还原技术，调控负载比例、反应时间等参数，将Au、Ru修饰在氧化铟表面，得到AuRu‑In2O3气敏材料。利用该AuRu‑In2O3气敏材料所得的气敏元件克服了现有三乙胺气体传感器工作温度高、检测线高、灵敏度低、选择性差等问题。同时，气体检测过程中紫外灯的辐照不仅提高了传感器在低温下检测三乙胺的气敏性能，更使得气体传感器实现了在室温下对三乙胺的高性能检测，特别是使传感器更适合在较为潮湿的室温环境中检测三乙胺。本发明制备方法所得的AuRu‑In2O3气敏材料性能优异，在检测三乙胺气体方面具有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN115326888B

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202210915725.8

申请日：2022-08-01

Applicant: 河北工业大学

Inventor： 潘国峰 ,  邵钧凯 ,  孙彩旋 ,  杨学莉 ,  齐宇航

IPC: G01N27/12 ,  C01G49/00 ,  B22F1/054 ,  B22F1/12 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00

Abstract: 本发明为一种液相合成的正丁醇气体传感器的制备方法。该方法采用简便的一步水热法，利用柠檬酸根离子同时起到络合剂和还原剂的作用，再通过氯金酸的加入，提供Au源，生成纳米Au颗粒，进而纳米颗粒会附着在结晶的LaFeO3晶体表面，抑制晶核进一步的生长从而使得LaFeO3发育成核壳结构，并退火。通过控制负载比例、反应温度、退火温度、搅拌速率等参数，在核壳结构的多孔LaFeO3表面负载了0价态的Au纳米粒子，形成肖特基结，得到Au‑LaFeO3复合材料，经涂覆后制得气敏元件。本发明克服了现有器件选择性差、工作温度高等问题，提高了对正丁醇的灵敏度，检测下限达到500ppb，长期稳定性和重复性良好。

公开(公告)号：CN113740391A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111127151.X

申请日：2021-09-26

Applicant: 河北工业大学

Inventor： 潘国峰 ,  杨学莉 ,  王子燕 ,  王孟洁 ,  刘宏雁

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明为一种MOF衍生的NiO‑Co3O4丙酮气体传感器的制备方法。该方法采用沸石咪唑酯骨架结构材料(ZIF‑67)，通过退火得到纯Co3O4材料，以该材料作为基底材料，利用醋酸镍为复合剂，反应后经过焙烧，涂覆到陶瓷管表面经烤干灯烤干，得到气体传感器。本发明得到的材料粉体具有比表面积大、晶粒分布均匀等特点。所制得的传感器对丙酮具有选择性好，工作温度低，灵敏度高等优点。