一种以氨基钛为钛源的Al/Ti薄膜原子层沉积方法

    公开(公告)号:CN104630744B

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:CN201510031608.5

    申请日:2015-01-21

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种以氨基钛为钛源的Al/Ti薄膜原子层沉积方法,包括以下步骤:(1)前处理:选择电阻率0.01~0.04Ωcm的衬底,98%H2SO4和30%H2O2混合液清洗,两者体积比为7.0:2.0~5.0,超纯水漂洗,N2吹干,循环清洗(2)手套箱中称取烷基铝为铝源,氨基钛为钛源,两者摩尔比2.0:0.5~2.0,氮气吹洗沉积系统1~3h,流量140~150mL/min,驱除尽其中的空气和水分(3)将步骤(2)中的烷基铝和氨基钛以及步骤(1)中清洗好的衬底于氮气保护下放入沉积薄膜系统中,总压力维持1.5~3.2×103Pa,氮气流量100~130mL/min,将烷基铝和氨基钛升温至35~60℃,衬底升温至125~140℃,沉积循环次数180~220次,结束沉积,得到Al/Ti薄膜。该方法以氨基钛为钛源,成膜较为均匀和致密,说明氨基钛是一类用于Al/Ti薄膜原子层沉积较为理想的钛源。

    一种以氨基钛为钛源的Al/Ti薄膜原子层沉积方法

    公开(公告)号:CN104630744A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510031608.5

    申请日:2015-01-21

    Applicant: 江南大学

    Abstract: 本发明涉及一种以氨基钛为钛源的Al/Ti薄膜原子层沉积方法,包括以下步骤:(1)前处理:选择电阻率0.01~0.04Ωcm的衬底,98%H2SO4和30%H2O2混合液清洗,两者体积比为7.0:2.0~5.0,超纯水漂洗,N2吹干,循环清洗(2)手套箱中称取烷基铝为铝源,氨基钛为钛源,两者摩尔比2.0:0.5~2.0,氮气吹洗沉积系统1~3h,流量140~150mL/min,驱除尽其中的空气和水分(3)将步骤(2)中的烷基铝和氨基钛以及步骤(1)中清洗好的衬底于氮气保护下放入沉积薄膜系统中,总压力维持1.5~3.2×103Pa,氮气流量100~130mL/min,将烷基铝和氨基钛升温至35~60℃,衬底升温至125~140℃,沉积循环次数180~220次,结束沉积,得到Al/Ti薄膜。该方法以氨基钛为钛源,成膜较为均匀和致密,说明氨基钛是一类用于Al/Ti薄膜原子层沉积较为理想的钛源。

    一种制备钛铝合金薄膜的方法

    公开(公告)号:CN106567053B

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201510648669.6

    申请日:2015-10-09

    Abstract: 本发明提供了一种制备TiAl合金薄膜的方法,其中,提供反应腔室,该反应腔室内放置有至少一个衬底;向反应腔室中引入铝前驱物和钛前驱物,所述铝前驱物具有结构式(I)的分子结构;使所述铝前驱物和所述钛前驱物与所述衬底接触,通过气相沉积在所述衬底表面形成钛铝合金薄膜。本发明提供的方法解决了传统PVD在小尺寸器件中的台阶覆盖问题及不完全填充的问题,同时也避免了采用等离子体辅助形成钛铝合金薄膜,使得基底不受等离子体损伤,保证器件性能和/或可靠性不受影响。

    一种以铝的化合物作为添加剂辅助催化合成双酚F的新方法

    公开(公告)号:CN104326877A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410466013.8

    申请日:2014-09-15

    Applicant: 江南大学

    CPC classification number: Y02P20/584

    Abstract: 本发明公开了一种以铝的化合物作为添加剂辅助催化合成双酚F的新方法。其特征在于,按如下步骤进行:(1)将苯酚和磷酸按摩尔比5∶1~4∶1加入到反应容器中,60℃搅拌均匀,加入甲苯作为溶剂(1-2M),同时加入15%的三氯化铝作为辅助催化剂,再缓慢滴加37%的甲醛水溶液,加热反应80-110℃。(2)将步骤(1)得到的反应液分层,有机层即位反应粗产品。将反应所得粗产品,旋蒸回收甲苯、减压蒸馏回收剩余的苯酚,剩余的产品用回甲苯重结晶,就可以纯净的4,4’-二羟基二苯基甲烷(双酚F)。此反应得到单一选择性的双酚F,而且该反应表现出催化活性高、腐蚀性低、易于回收催化剂等特点。

    一种双氧水磷酸作为混合催化剂高效合成双酚F的新方法

    公开(公告)号:CN104326876A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410466012.3

    申请日:2014-09-15

    Applicant: 江南大学

    CPC classification number: Y02P20/52 C07C37/20 B01J27/16 C07C39/16

    Abstract: 本发明公开了一种双氧水磷酸作为混合催化剂高效合成双酚F的新方法。其特征在于,按如下步骤进行:(1)将苯酚、双氧水和磷酸按摩尔比5∶2∶1~4∶2∶1加入到反应容器中,60℃搅拌均匀,加入DMSO作为溶剂(1-2M),再缓慢滴加37%的甲醛水溶液,加热反应80-110℃。(2)将步骤(1)得到的反应液加入甲苯萃取分层,有机层即位反应粗产品。将反应所得粗产品,旋蒸回收甲苯、减压蒸馏回收剩余的苯酚,剩余的产品用回收的甲苯简易重结晶一次,就可以纯净的4,4’-二羟基二苯基甲烷(双酚F)。这种以双氧水磷酸作为混合催化剂的方法能得到单一选择性的双酚F,而且反应温和、催化活性高,易于回收催化剂,后处理简单。

Patent Agency Ranking