一种NNBI正负离子束偏及离子吞噬一体化结构

    公开(公告)号:CN211742659U

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201922153973.X

    申请日:2019-12-05

    Abstract: 本实用新型公开了一种NNBI正负离子束偏及离子吞噬一体化结构,它包括结构框架,二极铁轭电磁体及磁路结构,离子吞噬结构及中性束传输通道,磁路结构,二极磁体励磁线圈,励磁线圈无磁不锈钢密封盒,励磁线圈空心绕线,励磁线圈励磁线进出密封管,离子吞噬器冷却水进水主管,离子吞噬器冷却水出水主管,负离子束吞噬前板,负离子束吞噬底板,负离子束吞噬后板,正离子束吞噬前板,正离子束吞噬顶板,正离子束吞噬后板,束传输通道右侧板,束传输通道左侧板。其有益效果在于:该一体化偏转和吞噬结构简化了高粒子能量的束偏转和吞噬结构制作难度,减小了正负离子偏转磁体和离子吞噬器的束截获率,特别是极大地降低了大型磁体和偏转结构的安装难度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件

    公开(公告)号:CN212967597U

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN202021423071.X

    申请日:2020-07-17

    Abstract: 本实用新型涉及热阴极弧放电离子源技术领域,具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本实用新型包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝;安装法兰上设有两个馈穿孔,每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管,馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境,馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管,馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子,灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本实用新型能够保证离子源能够快速更换灯丝,便于维护和维修。

    一种高功率强流离子源四电极支撑座组件

    公开(公告)号:CN206422037U

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201521137446.5

    申请日:2015-12-31

    Abstract: 本实用新型属于一种高功率离子源技术领域,具体涉及一种高功率强流离子源四电极支撑座组件;该组件主要包括四个大尺寸电极法兰,三个带有数条细缝结构的电极支架,三个PEEK绝缘腔。每两个法兰之间有一个绝缘腔,法兰通过O型氟橡胶密封圈与绝缘腔配合构成两端开口的真空密封绝缘腔。该电极栅支撑座组件采用了将四层电极法兰、绝缘腔以及支撑架通过密封圈密封组装之后,再次对四层支撑面进行平行度修正的方法,可以使每层电极支撑面之间的平行度达到0.04mm以内,有效降低了多个工件装配公差,降低了电极间场强的非均匀性;增大了电极系统的抽口面积,降低了电极栅层与层之间的真空度,降低高功率离子源引出期间的电击穿概率。

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