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公开(公告)号：CN110831950A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201880042110.0
申请日：2018-07-04
Applicant: 株式会社ADEKA
IPC: C07F17/00 , C07F11/00 , C23C16/40 , H01L21/316
Abstract: 本发明提供下述通式(1)表示的钨化合物(式中，X表示卤原子，R1～R5各自独立地表示氢原子或碳数1～5的烷基，R6表示叔丁基或叔戊基，R7表示碳数1～5的烷基；但是，当R1～R5全部为氢原子且R6为叔丁基时、以及当R1～R5全部为甲基且R6为叔丁基时，R7表示碳数1～3或5的烷基)。
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