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公开(公告)号：CN118369853A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202280081186.0
申请日：2022-12-07
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 山根毅
Abstract: 本发明提供能够在空洞部内设置了IDT的结构中使电特性稳定化的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，具有支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，具有位于支承构件(13)侧的第1主面(14a)以及与第1主面(14a)对置的第2主面(14b)；和至少1个IDT(11)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)，具有多个电极指部(多个第1电极指部、第2电极指部(19A、19B))。构成有被支承构件(13)以及压电层(14)包围的空洞部(12a)。至少1个IDT(11)的多个电极指部位于空洞部(12a)内。在压电层(14)设置有贯通孔(14c)，使得到达空洞部(12a)。在至少1个IDT(11)的多个电极指部中，1组电极指部之中与远离贯通孔(14c)的位置的电极指部的至少一部分相比接近贯通孔(14c)的位置的电极指部的至少一部分的厚度薄且宽度宽的尺寸关系在至少1组电极指部中成立。
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公开(公告)号：CN110268629B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN201780085778.9
申请日：2017-11-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 山根毅
Abstract: 提供一种虽然具有由电极指间距决定的波长不同的多个IDT电极但至少能在两个IDT电极间减小温度特性之差的弹性波装置。在所传播的体波的声速与在压电薄膜(5)传播的弹性波的声速相比为高速的高声速构件直接或间接地层叠有压电薄膜(5)。在压电薄膜(5)上层叠有氧化硅膜(6)，在氧化硅膜(6)上层叠有多个IDT电极(11、12)，多个IDT电极(11、12)具有由电极指间距决定的波长不同的多个IDT电极(11、12)。弹性波装置(1)在将多个IDT电极(11、12)中波长最短的IDT电极的波长设为λ，将压电薄膜(5)的膜厚相对于波长λ的比例即波长标准化膜厚(％)设为y，将氧化硅膜(6)的膜厚相对于波长λ的比例即波长标准化膜厚(％)设为x的情况下，y为350％以下，且y＜1.6x(‑0.01)+0.05x(‑0.6)‑1。
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公开(公告)号：CN109560790B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN201811120744.1
申请日：2018-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种在构成有半导体元件的硅基板上设置有弹性波元件且弹性波元件的特性不易劣化的复合元件。复合元件(10)具备：硅基板(3)，具有相互对置的第一主面(3a)以及第二主面(3b)；半导体元件(2)，在硅基板(3)的第一主面(3a)侧以及第二主面(3b)侧中的至少一方构成；以及弹性波元件(1)，具有直接或间接地设置在硅基板(3)的第一主面(3a)上的氧化硅膜(4)、直接设置在氧化硅膜(4)上的压电体层(5)、以及设置在压电体层(5)上的IDT电极(6)。在将由IDT电极(6)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(5)的厚度为2.5λ以下。
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公开(公告)号：CN114467255A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066154.4
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值的弹性波装置。弹性波装置(1)具备包含铌酸锂或者钽酸锂的压电层(2)、和在与压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置的第1电极(3)以及第2电极(4)，第1电极(3)以及所述第2电极(4)彼此为相邻的电极，在将压电层(2)的厚度设为d，将第1电极(3)和第2电极(4)的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。
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公开(公告)号：CN110289826A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910192683.8
申请日：2019-03-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供能够使布线电极对热冲击试验的可靠性提高的弹性波装置。间隔层(5)直接或间接地形成在支承基板(1)上，在从支承基板(1)的厚度方向(D1)俯视的情况下形成在压电膜(2)的外侧。覆盖层(6)形成在间隔层(5)上。贯通电极(7)贯通间隔层(5)和覆盖层(6)，并与布线电极(4)电连接。布线电极(4)具有：第一部分(41)，在从厚度方向(D1)的俯视下与贯通电极(7)重叠；第二部分(42)，在从厚度方向(D1)的俯视下与压电膜(2)重叠；以及台阶部(431)，在第一部分(41)与第二部分(42)之间形成厚度方向(D1)上的台阶。间隔层(5)中的覆盖层(6)侧的端部(52)进入到覆盖层(6)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109560790A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811120744.1
申请日：2018-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种在构成有半导体元件的硅基板上设置有弹性波元件且弹性波元件的特性不易劣化的复合元件。复合元件(10)具备：硅基板(3)，具有相互对置的第一主面(3a)以及第二主面(3b)；半导体元件(2)，在硅基板(3)的第一主面(3a)侧以及第二主面(3b)侧中的至少一方构成；以及弹性波元件(1)，具有直接或间接地设置在硅基板(3)的第一主面(3a)上的氧化硅膜(4)、直接设置在氧化硅膜(4)上的压电体层(5)、以及设置在压电体层(5)上的IDT电极(6)。在将由IDT电极(6)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(5)的厚度为2.5λ以下。
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公开(公告)号：CN102859870B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201180020678.0
申请日：2011-04-20
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H7/463 , H03H9/0576 , H03H9/725
Abstract: 本发明公开了一种具备双工器（110）以及电路基板（10）的电路模块，目的在于，减少在多种信号间产生的不需要的干扰。信号路径（SL1）将外部电极（14a）与外部电极（16a）连接。信号路径（SL2）将外部电极（14b）与外部电极（16b）连接。信号路径（SL3）将外部电极（14c）与外部电极（16c）连接。接地路径（GL1）将外部电极（14e）与外部电极（16d）连接。接地路径（GL2）与外部电极（14d）连接，与信号路径（SL2）电容耦合。
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公开(公告)号：CN118489212A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202380016143.9
申请日：2023-01-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 抑制压电层的裂纹。具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；多个第1电极指，设置在压电层的第1方向上，并且在与第1方向正交的第2方向上延伸；以及多个第2电极指，在与第1方向及第2方向正交的第3方向上与多个第1电极指的任一者对置，并且在第2方向上延伸。在压电层，存在将压电层在第1方向上贯通的贯通孔。在支承构件，存在空间部。多个电极指设置为在第1方向上俯视时至少一部分与空间部重叠。贯通孔设置为在第1方向俯视时至少一部分与空间部重叠。在贯通孔的第2方向上，设置有多个电极指之中的至少1个。在贯通孔的第3方向上，未设置多个电极指。
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公开(公告)号：CN118077147A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202280068010.1
申请日：2022-10-06
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供使贯通过孔在基板(第二基板)的第二面所占的区域小型化的弹性波装置和弹性波装置的制造方法。弹性波装置具有：第一基板；压电层，具有在第一基板的厚度方向上与第一基板对置的一个主面和在厚度方向上朝向与一个主面相反的方向的另一个主面；功能电极，设置于压电层的一个主面和另一个主面中的至少一者；以及第二基板，具有与压电层的另一个主面对置的第一主面、在厚度方向上朝向与第一主面相反的方向的第二主面、以及从第一主面贯通至第二主面的贯通孔，以相对于第二主面的法线为基准，贯通孔的侧面随着从第二主面去往第一主面而倾斜的角度为0°以上且5°以下。
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公开(公告)号：CN118020249A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202280065526.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明抑制压电层的破损。弹性波装置具备弹性波元件和容纳弹性波元件的封装件，弹性波元件具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，层叠于支承构件，具有第1主面和在第1方向上与第1主面相反侧的第2主面；以及功能电极，设置在压电层的第1主面以及第2主面中的至少一者。在支承构件中，在压电层侧并且在第1方向上俯视时至少一部分与功能电极重叠的位置具有第1空间部，在封装件中，在第1空间部的外部具有第2空间部，在压电层具有与第1空间部以及第2空间部连通的贯通孔，第1空间部、第2空间部、以及封装件的外部通过至少一个路径相连。
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