公开(公告)号：CN111683896B

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN201880088213.0

申请日：2018-08-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 梅田圭一 ,  大川忠行 ,  加本拓 ,  后藤雄一 ,  井上义久 ,  岸武彦

IPC: B81B3/00 ,  H03H9/24 ,  B81C3/00 ,  H10N30/87 ,  H10N30/88 ,  H10N30/20 ,  H10N30/40 ,  H10N30/853

Abstract: 本发明具备：压电膜；第一电极以及第二电极，它们夹着该压电膜；保护膜，其设置为覆盖第二电极的至少一部分，具有将第二电极的一部分开口的开口部；第三电极，其设置为至少在开口部与第二电极接触，且覆盖保护膜的至少一部分；以及第一布线层，其具有与第三电极接触的第一接触部。

公开(公告)号：CN111683896A

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201880088213.0

申请日：2018-08-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 梅田圭一 ,  大川忠行 ,  加本拓 ,  后藤雄一 ,  井上义久 ,  岸武彦

IPC: B81B3/00 ,  H03H9/24 ,  B81C3/00 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明具备：压电膜；第一电极以及第二电极，它们夹着该压电膜；保护膜，其设置为覆盖第二电极的至少一部分，具有将第二电极的一部分开口的开口部；第三电极，其设置为至少在开口部与第二电极接触，且覆盖保护膜的至少一部分；以及第一布线层，其具有与第三电极接触的第一接触部。

公开(公告)号：CN106796979A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201580050306.0

申请日：2015-07-21

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 福井勇贵 ,  泉谷淳子 ,  大川忠行

IPC: H01L33/60 ,  H01L33/62

CPC classification number: H01L33/60 ,  H01L23/5384 ,  H01L23/5386 ,  H01L23/5389 ,  H01L25/167 ,  H01L29/866 ,  H01L33/486 ,  H01L33/62 ,  H01L2933/0066 ,  H02H9/045

Abstract: 本发明提供一种安装基板，在安装基板(10)所具备的基材(20)的背面形成有外部连接用电极，在表面形成有安装用电极(71、72)。另外，在基材(20)的厚度方向形成有连接外部连接用电极与安装用电极(71、72)的孔内电极(51、52)。在基材(20)与安装用电极(71、72)之间形成含有Al的反射膜(40)。反射膜(40)被绝缘膜层(41)覆盖，在俯视观察下，在孔内电极(51、52)的形成区域具有开口(40A、40B)。反射膜(40)在俯视观察下具有外周从包括安装用电极(71、72)的导体形成区域(73)分离一定距离的大小。开口(40A、40B)在俯视观察下小于安装用电极(71、72)。由此，防止反射膜的变质，来抑制发光效率降低。

公开(公告)号：CN1254945A

公开(公告)日：2000-05-31

申请号：CN99125827.4

申请日：1999-11-25

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 丰田祐二 ,  越户义弘 ,  藤林桂 ,  高桥亮一郎 ,  大川忠行

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L21/0274 ,  H01L21/0272 ,  H05K3/048

Abstract: 本发明提供了一种形成布线图案的方法,其特征在于包含步骤:在基片上形成具有抑制收缩效应的抗蚀图案;通过烘焙抗蚀图案使气体从抗蚀图案中释放;在基片和抗蚀图案上形成电极材料薄膜,同时将基片的温度保持在低于抗蚀图案的烘焙温度;并通过将抗蚀图案从基片分离,去除抗蚀图案上的电极材料。