成膜方法和电子部件的制造方法

    公开(公告)号:CN113257553A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110175620.9

    申请日:2021-02-09

    Abstract: 本发明涉及一种成膜方法,具备:单元体投入工序,在反应容器内投入单元体;金属醇盐投入工序,在上述反应容器内投入金属醇盐或金属醇盐前体;催化剂投入工序,在上述反应容器内投入促进上述金属醇盐的水解的催化剂;以及,成膜工序,对上述金属醇盐进行水解和脱水缩合,在上述单元体的表面将包含金属氧化物的被膜层进行成膜;并且,上述单元体投入工序在上述金属醇盐投入工序和上述催化剂投入工序中的至少一个工序之先进行。

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