附着物收集装置以及附着物分析系统

    公开(公告)号:CN114096825B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202080050377.1

    申请日:2020-06-17

    Abstract: 为了稳定地回收附着于检查对象物的附着物,特征为具备:向上喷射气体的喷嘴(111);具备喷射气体的开口部的上表面(105);回收向检查对象物(C)喷出的气体的回收口;以及检测检查对象物(C)是否接触了上表面(105)的接触检测传感器(130),通过气体收集附着于检查对象物(C)的附着物,喷嘴(111)的前端的高度与上表面(105)的高度大致相同,或者为上表面(105)的高度以下,在上表面(105)设置有凹部(121),凹部(121)相对于喷嘴(111)的喷射口(112)设置在回收口侧,并且与喷嘴(111)的喷射口(112)相接,或者包含喷嘴(111)的喷射口(112)。

    质量分析计、离子迁移率分析计

    公开(公告)号:CN101335177B

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200810109182.0

    申请日:2008-05-23

    CPC classification number: H01J49/4225 G01N27/622

    Abstract: 本发明提供一种离子阱、质量分析计、离子迁移率分析计,其课题在于提供一种小型、廉价、简便的质量分析单元,其能够应用可以实现无需在以往的质量分析方法中必须的高真空的低真空中的动作、小型且电极个数少并且形状易于加工、进而无需电子倍增管等放大的检测离子电流的离子检测方法。在该真空区域中以往使用离子迁移率分析单元,但通过本方式可以提供新的质量分析手段,可以针对各种应用显著地提高分析精度。使用在本发明中公开的一维离子阱。基于一维离子阱的质量分析单元可以囚禁大量的离子,可以提供能够在低真空中动作的质量分析方式,所以可以实现不使用高真空的质量分析单元。

    附着物收集装置以及附着物分析系统

    公开(公告)号:CN114096825A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202080050377.1

    申请日:2020-06-17

    Abstract: 为了稳定地回收附着于检查对象物的附着物,特征为具备:向上喷射气体的喷嘴(111);具备喷射气体的开口部的上表面(105);回收向检查对象物(C)喷出的气体的回收口;以及检测检查对象物(C)是否接触了上表面(105)的接触检测传感器(130),通过气体收集附着于检查对象物(C)的附着物,喷嘴(111)的前端的高度与上表面(105)的高度大致相同,或者为上表面(105)的高度以下,在上表面(105)设置有凹部(121),凹部(121)相对于喷嘴(111)的喷射口(112)设置在回收口侧,并且与喷嘴(111)的喷射口(112)相接,或者包含喷嘴(111)的喷射口(112)。

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