-
公开(公告)号:CN114096825B
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202080050377.1
申请日:2020-06-17
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01N1/02
Abstract: 为了稳定地回收附着于检查对象物的附着物,特征为具备:向上喷射气体的喷嘴(111);具备喷射气体的开口部的上表面(105);回收向检查对象物(C)喷出的气体的回收口;以及检测检查对象物(C)是否接触了上表面(105)的接触检测传感器(130),通过气体收集附着于检查对象物(C)的附着物,喷嘴(111)的前端的高度与上表面(105)的高度大致相同,或者为上表面(105)的高度以下,在上表面(105)设置有凹部(121),凹部(121)相对于喷嘴(111)的喷射口(112)设置在回收口侧,并且与喷嘴(111)的喷射口(112)相接,或者包含喷嘴(111)的喷射口(112)。
-
公开(公告)号:CN114096825A
公开(公告)日:2022-02-25
申请号:CN202080050377.1
申请日:2020-06-17
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01N1/02
Abstract: 为了稳定地回收附着于检查对象物的附着物,特征为具备:向上喷射气体的喷嘴(111);具备喷射气体的开口部的上表面(105);回收向检查对象物(C)喷出的气体的回收口;以及检测检查对象物(C)是否接触了上表面(105)的接触检测传感器(130),通过气体收集附着于检查对象物(C)的附着物,喷嘴(111)的前端的高度与上表面(105)的高度大致相同,或者为上表面(105)的高度以下,在上表面(105)设置有凹部(121),凹部(121)相对于喷嘴(111)的喷射口(112)设置在回收口侧,并且与喷嘴(111)的喷射口(112)相接,或者包含喷嘴(111)的喷射口(112)。
-
-